產(chǎn)品特點(diǎn)
l ? 氣浮導(dǎo)軌,超高性能精度 ? 重復(fù)定位精度±15nm(Sic版)
l ? 平面式氣浮結(jié)構(gòu),減小系統(tǒng)誤差影響 ? 直線度優(yōu)于1μm
l ? 龍門(mén)式雙驅(qū)結(jié)構(gòu),承載能力強(qiáng) ? Z軸納米級(jí)定位抖動(dòng)
l ? 高速,快速的整定時(shí)間 ? 可選激光尺位置反饋
l ? 可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌 ? 優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域
QFHDS系列三軸超精密運(yùn)動(dòng)臺(tái),XY軸平面式氣浮結(jié)構(gòu),Z軸交叉滾柱結(jié)構(gòu),用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)、微納加工等行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
XY軸運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)共面,兩軸的反饋機(jī)構(gòu)在同一個(gè)水平面,相當(dāng)于單軸運(yùn)動(dòng),不存在因疊層引起的阿貝誤差,此結(jié)構(gòu)提升動(dòng)態(tài)跟蹤誤差,高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性,開(kāi)發(fā)的氣浮軸承補(bǔ)償方法,提高剛性和負(fù)載能力,以滿足高動(dòng)態(tài)響應(yīng)的要求,可實(shí)現(xiàn)快速運(yùn)動(dòng)和極速位置整定。Z軸交叉滾柱導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),安裝到龍門(mén)橫梁上,亞微米級(jí)精度,定位抖動(dòng)優(yōu)于20nm。更高要求可接受定制,瑞邦精控提供系統(tǒng)解決方案,對(duì)環(huán)境要求提供專(zhuān)業(yè)建議。
直驅(qū)設(shè)計(jì)
采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),實(shí)現(xiàn)了超平穩(wěn)的運(yùn)動(dòng)。步進(jìn)軸和掃描軸安裝位置接近于負(fù)載水平面,以提高直線度、平面度和傾角誤差等。
其他
使用高質(zhì)量的電纜,帶屏蔽功能,防止電子信號(hào)的干擾,優(yōu)化管線的彎曲半徑,防止動(dòng)作過(guò)程中線纜的拉伸影響到氣浮臺(tái)的性能。根據(jù)應(yīng)用,可安裝旋轉(zhuǎn)臺(tái),傾角臺(tái)或晶圓裝卸用的夾具等??砂惭b激光尺或激光干涉儀閉環(huán)反饋,提升系統(tǒng)精度性能。
規(guī)格指標(biāo)
型號(hào) | 單位 | QFHDS-300-300-50 | QFHDS-400-400-100 | QFHDS-500-500-200 | ||||||
軸系 | — | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z |
行程 | mm | 300 | 300 | 50 | 400 | 400 | 100 | 500 | 500 | 200 |
補(bǔ)償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.15 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.3 | ||||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.025 | ±0.075 | ±0.05 | ±0.075 | ±0.05 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.1 | ±0.05 | ±0.15 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ||||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.25 | ±0.5 | ±0.35 | ±0.5 | ±0.75 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±2 | ±1 | ±3 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±1 | ±5 | ±1.5 | ±5 | ±1.5 | ±7 | ||||
正交性 | Plus (1) | arc sec | 2 | 5 | 2 | 5 | 2 | 5 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 5 | 10 | 5 | 10 | 5 | 10 | ||||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5(選配) | ||||||||
最大速度 (空載) (4) | m/s | 1 | 0.1 | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | |||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 5,(10, 20, 30 定制) | 5 | 5,(10, 20, 30 定制) | 5 | 5,(10, 20, 30 定制) | 5 | |||
最大負(fù)載 | kg | 20 | 15 | 20 | 15 | 20 | 15 |
注:
以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測(cè)試,溫度20℃±0.5℃,濕度40%~60%RH,振動(dòng)等級(jí)VC-F,測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處,測(cè)試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān),環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化,如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試,請(qǐng)咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo),是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。
2. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標(biāo),最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。