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產(chǎn)品特點(diǎn)
l ? 非接觸閉式氣浮結(jié)構(gòu) ? 行程100~1000mm可選
l ? 亞微米級重復(fù)定位精度 ? 全行程直線度優(yōu)于1μm
? 高柔線纜管理 ? 可定制化設(shè)計(jì)
應(yīng)用領(lǐng)域
QFU系列是一款大行程氣浮運(yùn)動臺，閉式氣浮結(jié)構(gòu)，常規(guī)最大行程1米，直線度優(yōu)于1μm，用于精密加工、測試測量、掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
QFU系列主要采用氣浮導(dǎo)軌、直線電機(jī)和光柵尺組成，閉式氣浮結(jié)構(gòu)，氣浮導(dǎo)軌四面均勻受力，相較于開式氣浮結(jié)構(gòu)，側(cè)向氣浮剛度更大，承載能力更強(qiáng)，模態(tài)更高，系統(tǒng)帶寬更大，相位裕度和幅值裕度余量更大，對于大體積、大負(fù)載及偏心安裝等負(fù)載形式，更能突顯其性能優(yōu)勢。
精度性能
氣浮導(dǎo)軌基于氣體靜壓效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)無摩擦和無振動地平滑移動，與摩擦式導(dǎo)軌相比，氣浮運(yùn)動臺的直線度、平面度可達(dá)亞微米，Pitch Yaw指標(biāo)可達(dá)1角秒內(nèi)，由于非接觸式，系統(tǒng)跟隨誤差有了質(zhì)地提升，定位精度和重復(fù)精度得到了顯著提高，行程100~1000mm可選。
線纜管理
使用高質(zhì)量、高柔性的屏蔽線纜，管線彎曲半徑更小，能夠防止電子信號的干擾，同時防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮運(yùn)動臺的性能。
定制化
可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌，1米行程直線度可優(yōu)于±0.5μm，更大行程也可接受定制。
規(guī)格指標(biāo)
型號 | 單位 | QFU-100 | QFU-200 | QFU-300 | QFU-400 | QFU-500 | |
行程 | mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | |
補(bǔ)償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 | ±0.4 | ||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 | ±0.1 | ±0.1 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.4 | ±0.4 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.5 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.75 | ||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.25 | ±0.4 | ±0.75 | ±0.8 | ±1 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ±2.5 | ||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||||
最大速度 (空載) (4) | m/s | 1 | |||||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 5,（10, 20 定制） | |||||
最大負(fù)載 | kg | 20 | |||||
供氣壓力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
型號 | 單位 | QFU-600 | QFU-700 | QFU-800 | QFU-900 | QFU-1000 | |
行程 | mm | 600 | 700 | 800 | 900 | 1000 | |
補(bǔ)償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.3 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.3 | ±0.3 | ||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.45 | ±0.45 | ±0.45 | ±0.5 | ±0.5 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.75 | ±0.75 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 | ||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.65 | ±0.7 | ±1 | ±1 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ±2 | ||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ±2 |
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±3 | ±3 | ±4 | ±4.5 | ±5 | ||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||||
最大速度 (空載) (4) | m/s | 1 | |||||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 5,（10, 20 定制） | |||||
最大負(fù)載 | kg | 20 | |||||
供氣壓力 (5) | MPa | 0.5±0.05 |
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負(fù)載尺寸及測試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。
5. 為保護(hù)氣浮導(dǎo)軌建議加裝壓力保護(hù)開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點(diǎn)-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。
訂購信息
型號 | QFU | -300 | -PLUS | -AL | -N | -1 | -0 | -C1 | -3 | -Y | -Y |
描述 | 閉式氣浮運(yùn)動臺 | 行程300mm | PLUS高精度版 | 鋁合金氣浮導(dǎo)軌 | 默認(rèn) | 增量式光柵1Vpp反饋 | 零點(diǎn)在行程中心位置 | 高柔排線 | 線纜長度3米 | 有大理石基座 | 有壓力保護(hù)開關(guān) |