德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移臺 型號 P-528.TCD

公司介紹：

北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司是一家從事歐洲工業(yè)產(chǎn)品進(jìn)口貿(mào)易的公司。主要產(chǎn)品有工業(yè)自動化設(shè)備、機(jī)電設(shè)備、液壓設(shè)備、電氣設(shè)備和零部件等產(chǎn)品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內(nèi)一些貿(mào)易商，設(shè)備商及終端客戶提供產(chǎn)品代購服務(wù)。

應(yīng)用領(lǐng)域：

計(jì)量

干涉測量

光子學(xué)/集成光學(xué)

平版印刷術(shù)

納米定位

掃描顯微鏡

樣本對準(zhǔn)

微加工

型號：P-528.TCD

主動軸：Z,θX,θY

集成傳感器：電容式

-20至120伏時Z向上的開環(huán)行程：240微米

θX、θY向上-20至120伏時的開環(huán)偏擺角：±1.2毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程：200微米

θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：±1毫弧度

Z向上的開環(huán)分辨率：0.6納米

θX、θY向上的開環(huán)分辨率：0.06微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率：1納米

θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：0.1微弧度

θX、θY向上的線性誤差：0.03%

Z向上的重復(fù)精度：±10納米

θX、θY向上的重復(fù)精度：±0.1微弧度

θZ向上的串?dāng)_（Z向運(yùn)動）：<20微弧度

θX、θY向上的串?dāng)_（Z向運(yùn)動）：<100微弧度