壓電馬達(dá)一般分為交流壓電馬達(dá)和直流壓電馬達(dá)。運動方式分為旋轉(zhuǎn)和直線運動兩種。壓電馬達(dá)由振動件和運動件兩部分組成,一般體積較輕、薄、小巧。
由于壓電陶瓷在電壓下產(chǎn)生的位移非常精細(xì),在微納米量級,且振動或伸縮的幅值很微小,因而特別適用于制成超高精度的運動馬達(dá),獲得微小的位置調(diào)整。
直線與旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)的原理
壓電馬達(dá)的結(jié)構(gòu)形式很多,但多數(shù)的動作原理相同,都是利用壓電陶瓷在電壓作用下發(fā)生振動,驅(qū)動運動件旋轉(zhuǎn)或直線運動。
直線運動的壓電馬達(dá)是采用粘滑原理,一般采用單個壓電陶瓷或多個壓電陶瓷驅(qū)動。通過壓電陶瓷的振動完成移動平臺的直線運動。采用單個壓電陶瓷的結(jié)構(gòu),通過調(diào)整壓電陶瓷的運動方向及速度來控制。采用多個壓電陶瓷驅(qū)動的結(jié)構(gòu),一般具有兩種壓電陶瓷,一種壓電陶瓷的位移方向與運動方向垂直,控制壓電陶瓷與移動件的接觸與分離;另一種壓電陶瓷的位移方向與運動方向平行,通過壓電陶瓷的振動驅(qū)動運動平臺的直線運動。
旋轉(zhuǎn)型壓電馬達(dá)也是由壓電陶瓷驅(qū)動,壓電陶瓷在電壓作用下產(chǎn)生振動,通過爪桿使棘輪旋轉(zhuǎn),實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)運動。
芯明天壓電馬達(dá)
芯明天可提供直線與旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá),直線馬達(dá)的運動范圍可達(dá)123mm,角度旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)的運動范圍可達(dá)360度。
~10") | |||
滿行程重復(fù)度 |
< 1nm |
掃描分辨率 |
< 1~2µ° |
速率 |
> 20mm/s |
角速度 |
≥15°~≥45°/s |
直線壓電馬達(dá) 部分展示
一維X向運動直線壓電馬達(dá)
直線與角度組合式壓電馬達(dá)
直線與旋轉(zhuǎn)組合式三維壓電馬達(dá)