德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移臺 型號 P-733.3DD
公司介紹:
北京漢達森機械技術(shù)有限公司是一家從事歐洲工業(yè)產(chǎn)品進口貿(mào)易的公司。主要產(chǎn)品有工業(yè)自動化設(shè)備、機電設(shè)備、液壓設(shè)備、電氣設(shè)備和零部件等產(chǎn)品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來,一直以德國公司的身份為國內(nèi)一些貿(mào)易商,設(shè)備商及終端客戶提供產(chǎn)品代購服務(wù)。
應(yīng)用領(lǐng)域:
掃描顯微鏡
共聚焦顯微鏡
掩模/晶圓定位
表面測量技術(shù)
納米壓印
顯微操縱
圖像處理/穩(wěn)定
高運動平面度和直線度的納米定位
型號:P-733.3DD
主動軸:X、Y、Z
集成傳感器:電容式
-20至120伏時的開環(huán)行程:33微米×33微米×14微米
行程,閉環(huán):30微米×30微米×10微米
分辨率,開環(huán):0.1納米
分辨率,閉環(huán):0.1納米
線性誤差(X、Y):0.03%
線性誤差(Z):0.03%
重復(fù)精度(X、Y):<2納米
重復(fù)精度(Z):<1納米
螺距(X、Y):<±5微弧度
偏轉(zhuǎn)角(X、Y):<±10微弧度
Z向運動時的傾斜:<±5微弧度
剛度:4(Z向上為10)牛/微米
諧振頻率,空載:1200(Z向上為1100)赫茲
帶120克負(fù)載時的諧振頻率:–赫茲
帶200克負(fù)載時的諧振頻率:530(Z向上為635)赫茲
運動方向上的推/拉力:50/20牛