德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移臺 型號 P-558.TCD
公司介紹：
北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司是一家從事歐洲工業(yè)產(chǎn)品進(jìn)口貿(mào)易的公司。主要產(chǎn)品有工業(yè)自動化設(shè)備、機(jī)電設(shè)備、液壓設(shè)備、電氣設(shè)備和零部件等產(chǎn)品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內(nèi)一些貿(mào)易商，設(shè)備商及終端客戶提供產(chǎn)品代購服務(wù)。
應(yīng)用領(lǐng)域：
計量
干涉測量
光子學(xué)/集成光學(xué)
平版印刷術(shù)
納米定位
掃描顯微鏡
樣本對準(zhǔn)
微加工
型號：P-558.TCD
主動軸：Z,θX,θY
集成傳感器：電容式
-20至120伏時Z向上的開環(huán)行程：60微米
θX、θY向上-20至120伏時的開環(huán)偏擺角：±0.3毫弧度
Z向上的閉環(huán)行程：50微米
θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角：±0.25毫弧度
Z向上的開環(huán)分辨率：0.2納米
θX、θY向上的開環(huán)分辨率：0.02微弧度
Z向上的閉環(huán)分辨率：0.5納米
θX、θY向上的閉環(huán)分辨率：0.05微弧度
θX、θY向上的線性誤差：0.03%
Z向上的重復(fù)精度：±5納米
θX、θY向上的重復(fù)精度：±0.03微弧度
θZ向上的串?dāng)_（Z向運動）：<10微弧度
θX、θY向上的串?dāng)_（Z向運動）：<50微弧度
