薄膜體聲波諧振器縮寫為FBAR，是近期發(fā)展起來的一種MEMS技術頻率器件，主要用在射頻領域，作為射頻濾波器、雙工器、多任務器和振蕩器等。與傳統(tǒng)聲表面波器件相比，具有頻率高、體積小、承受功率大、效率高、可集成化等優(yōu)勢。
薄膜體聲波諧振器存在的雜質：
主要是去除諧振器的基壓及外殼上的油污，還有塵埃的顆粒。
再則，外殼模板是依靠外殼法蘭邊掛住外殼轉換模板定位孔邊沿來實現(xiàn)定位的，無法翻轉或較大角度傾斜，清洗污垢的話，如直接用氮氣吹外殼內部里面會導致外殼被吹出。
超聲波清洗機的優(yōu)勢之在：
可以最大程度地清除內部污染，從而避免污染影像到產品的性能。
威固特VGT-607FTA超聲波清洗機對薄膜體聲波諧振器的幫助，從以下內容可體現(xiàn)出：
一、概述：
該清洗機是專為晶體行業(yè)類的產品而設計的超聲波清洗設備。整個工藝流程由PLC編程控制，可根據(jù)清洗工藝要求，靈活設置動作參數(shù)。采用全自動化運作過程，清洗效果好，溶劑保持潔凈時間長，實現(xiàn)清洗流程的自動化作業(yè)，降低操作人員勞動強度，提高設備的生產能力和清洗效果。
二、清洗工藝流程：
自動上料——洗凈超聲清洗——純水超聲清洗——純水超聲波漂洗——純水超聲清洗——純水超聲清洗——純水超聲波漂洗——自動下料。
三、各槽的規(guī)格配置：
1、各清洗槽內槽尺寸：（L×W×H）260×310×230mm；
2、所有槽均采用不銹鋼材料制作；
3、所有加熱槽體外側均貼有保溫材料保溫。
四、機械臂結構組成：
多臂型機械臂由機架、機械臂傳動系統(tǒng)、吊臂、電氣控制裝置等組成。
機架：全不銹鋼制作的支撐架結構，焊接在設備底盤上，以保證機械強度及機械臂的穩(wěn)定性。頂部安裝有水平橫移導軌。
橫移傳動系統(tǒng)：采用氣缸配合直線導軌傳動。PLC程序控制動作。保證橫移動作的相對精度和穩(wěn)定性。
