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QFL-FH系列氣浮運動臺
產(chǎn)品特點l?非接觸開式氣浮結(jié)構(gòu)?行程25~150mm可選l?重復(fù)定位精度±50nm ?直線度±0.1μm，平面度±0.15μm l?擺角誤差±0.5a
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2024-04-22 |
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QFU系列單軸氣浮運動臺
產(chǎn)品特點l?非接觸閉式氣浮結(jié)構(gòu) ?行程100~1000mm可選l?亞微米級重復(fù)定位精度 ?全行程直線度優(yōu)于1μm?高柔線纜管理 ?可定制
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2024-04-22 |
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NOTE-AB軸系列氣浮轉(zhuǎn)臺
產(chǎn)品特點l?閉式氣浮軸承結(jié)構(gòu) ?精準(zhǔn)回零點位置l?正交性 2~10arc sec ?直驅(qū)零齒槽效應(yīng)?軸心線重合度 2~10μm?解決氣浮抱死問
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2024-04-22 |
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QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺
產(chǎn)品特點l?閉式氣浮結(jié)構(gòu) ?直驅(qū)零齒槽效應(yīng)l?定位精度±0.5arc sec ?同步跳動誤差10nm?精準(zhǔn)回零誤差 ?高速度穩(wěn)定性?最大承
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2024-04-22 |
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QFL3D系列三軸氣浮運動臺
產(chǎn)品特點l?三軸直驅(qū)氣浮結(jié)構(gòu) ?重復(fù)定位精度±50nml?結(jié)構(gòu)緊湊、精度高?全行程直線度±0.1μm?根據(jù)需求可定制 ?高柔線纜管理
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2024-04-22 |
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QFL-XY-SG系列三軸高精度運動臺
產(chǎn)品特點?XY軸非接觸式氣浮結(jié)構(gòu) ?Z軸平升直驅(qū)結(jié)構(gòu)l?結(jié)構(gòu)緊湊、精度高?亞微米級重復(fù)定位精度?XY直線度±50nm?Z直線度1μm內(nèi)
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2024-04-22 |
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QFU-A系列雙軸氣浮運動臺
產(chǎn)品特點l?非接觸閉式氣浮結(jié)構(gòu)?光柵尺閉環(huán)反饋l?亞微米級重復(fù)定位精度 ?直線度平面度優(yōu)于1μm?優(yōu)化線纜管理 ?可定制化設(shè)計
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2024-04-22 |
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JXRAB系列機(jī)械轉(zhuǎn)臺
產(chǎn)品特點?直驅(qū)結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)臺，閉環(huán)控制 ?結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省安裝空間?高動態(tài)、高扭矩及高精度 ?可選增量或絕對光柵反饋?軸向和徑向跳
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2024-04-22 |
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