產(chǎn)品特點
? 疊層式布局 ? 納米級微動步距
? 緊湊型中空結(jié)構(gòu) ? 高動態(tài)性能,高精度
? 雙直驅(qū)電機驅(qū)動 ? 集成式線纜管理
應用領(lǐng)域
RBZK系列是帶中空結(jié)構(gòu)的精密運動臺,大尺寸通孔、高動態(tài)性能滿足晶圓檢測應用,同時適用于CCD成像、LED封裝檢測等其它高端制造等行業(yè)。
設(shè)計特點
RBZK系列雙軸中空精密運動臺,疊層緊湊的中空外形結(jié)構(gòu),工作點位置降低,光柵反饋位置接近工作表面,在晶圓檢測中至關(guān)重要。高精度滾柱導軌和精密研磨的加工表面,專業(yè)的裝配工藝,獲得直線度±1μm,平面度±2.5μm。
光柵反饋
每軸采用雙光柵尺閉環(huán)反饋,安裝位置接近工作表面,能夠有效地降低系統(tǒng)誤差影響,提升整體精度性能。可選電子分辨率0.3nm或5nm。
雙驅(qū)結(jié)構(gòu)
每軸用雙直線電機驅(qū)動,龍門交叉解耦控制算法,保證雙電機的運行的一致性,提供大推力、速度1m/s和準確的定位,直線電機的溫度控制在室溫,比滾珠絲桿傳動結(jié)構(gòu)的運動臺,性能有了提升。
線纜管理
使用高質(zhì)量無塵拖鏈,優(yōu)化管線彎曲半徑,防止動作過程中影響其性能,同時也適用在潔凈室內(nèi)。
規(guī)格指標
型號 | 單位 | RBZK-150XY | RBZK-250XY | RBZK-300XY | |||
軸系 | 軸系 | X | Y | X | Y | X | Y |
行程 | mm | 150 x 150 | 250 x 250 | 300 x300 | |||
補償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ||
標準值 | ±1 | ±1 | ±1 | ||||
雙向重復定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.25 | ±0.25 | ±0.25 | ||
標準值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.7 | ±0.7 | ±1 | ||
標準值 | ±1 | ±1.5 | ±2.5 | ||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±1.25 | ±1.75 | ±2.5 | ||
標準值 | ±1.25 | ±1.75 | ±2.5 | ||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±3 | ±5 | ±5 | ||
標準值 | ±4 | ±6 | ±7 | ||||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5(選配) | |||||
最大速度 (空載) (4) | m/s | 1 | |||||
最大加速度 (空載) (4) | m/s2 | 5,(10, 20 定制) | |||||
最大負載 | kg | 20 | 30 | 50 |
注:
以上為單軸精度指標,在潔凈間內(nèi)測試,溫度20℃±1℃,濕度40%~60%RH,振動等級VC-E,測試點在負載板上25mm處,測試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關(guān),環(huán)境的變化會導致精度變化,如要求非標準測試,請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標,是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。
4. 空載條件下的精度指標,最大速度和加速度取決于負載大小。