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激光清洗系統(tǒng):專業(yè)的全自動芯片PAD管腳清洗設(shè)備

品牌:
準(zhǔn)源激光
價格:
0.00
起訂:
0
供貨總量:
0
發(fā)貨期限:
自買家付款之日起 60 天內(nèi)發(fā)貨
地址:
河北省廊坊市固安縣東方街24號院內(nèi)
有效期限:
長期有效
最后更新:
2024-08-10
商品詳情

產(chǎn)品型號:ZYJG-2000。

激光清洗系統(tǒng)產(chǎn)品說明:


        Ex-light是新一代準(zhǔn)分子激光清洗系統(tǒng)。采用了德國Mlase超穩(wěn)定的低功率準(zhǔn)分子激光器,通過光束傳導(dǎo)、勻化、投影技術(shù),使激光均勻照射到材料表面,對材料進行紫外激光加工。該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計緊湊,集成度高,光路穩(wěn)定實用,光斑勻化效好,傳輸效率高,增強樣品表面激光能量密度,提高加工質(zhì)量和效率。

準(zhǔn)分子激光器:

       逐層去除、非接觸式、無二次污染、無損耗。

應(yīng)用行業(yè):

        1、微電子行業(yè):晶圓面板激光清洗、電路板清洗;

        2、OLED微型顯示器芯片:芯片管腳PAD焊線前激光清洗、液晶顯示器清洗;

        3、文物藝術(shù)品保護:無損還原;

        4、汽車產(chǎn)業(yè):各種焊接處焊后激光清洗;

        5、其它:材料表面各種雜質(zhì)、氧化物、微小顆粒物、油污去除。

技術(shù)特點:

1、DUV準(zhǔn)分子激光器,短脈寬,高峰值功率;

2、靜態(tài)氣體壽命 >30天;

3、激光器壽命 >20億次脈沖;

4、多種光路方案,可定制;

5、反射/透射照明;

6、X,Y位移臺安裝在剛性花崗巖基座上,線性驅(qū)動,1μm分辨率 ;

7、電動焦點控制(沿Z軸);

8、配有同軸和離軸相機,模式識別軟件可選 ;

9、快速響應(yīng)時間,易于操作的軟件;

10、同軸機器視覺示意圖,所見即所得。


光束傳播特點:

1、能量控制 10-80% ;

2、投影縮倍4x-20x ,可定制;

3、工作距離>25mm;

4、目標(biāo)能量密度 0.25-10J/cm2 ;

5、同軸顯微成像;

6、光斑勻化系統(tǒng)。


光路勻化介紹:微透鏡陣列勻光成像示意圖 
晶圓清洗監(jiān)控界面-所見即所得加工代碼、路線、導(dǎo)航界面

準(zhǔn)分子激光傳輸/照明/機器視覺系統(tǒng)示意圖  




Mlase準(zhǔn)分子激光器:采用德國Mlase準(zhǔn)分子激光器作為光源,能量輸出穩(wěn)定,光束質(zhì)量好,有較短脈沖寬度和較高峰值功率。免維護設(shè)計,使用簡便、安全、穩(wěn)定、高效。



軟件功能:

圖形化加工路徑顯示

晶圓自動聚焦、自動對位

大視野晶圓導(dǎo)航圖

激光參數(shù)設(shè)定及調(diào)試

加工進程控制、中斷自動恢復(fù)

芯片參數(shù)導(dǎo)入

壞點剔除功能


參數(shù):


波長

193nm /248nm

脈沖寬度

5-10 ns

單光斑加工面積

>400um x400um

光學(xué)分辨率

1um

最高能量密度

>10J/cm2

脈沖穩(wěn)定性

≤2%

脈沖重復(fù)頻率

1-1000Hz

系統(tǒng)框架

大理石光學(xué)基座以及金屬框架結(jié)構(gòu)

機器視覺

同軸照明/觀察,所見即所得

投影物鏡

紫外超長工作距離物鏡

掩膜版位移臺

100mm x100mm,定位精度:±1um

Z軸電動平臺

50mm行程,±1μm重復(fù)定位精度

衰減器

電動可調(diào)、調(diào)節(jié)范圍15%-80%

控制軟件LPCPro3D自動加工處理軟件