激光干涉儀是檢定數(shù)控機床、坐標(biāo)測量機位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機床的誤差 修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場使用尤為方便。
激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。
激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大 尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。
激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測量 元件的檢測和刻劃功能，可按預(yù)定的間距自動完成檢測和刻劃定位。
1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好
①使用美國高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達(dá)nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達(dá)到4m/s。
④配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析
③ 可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。
②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。
③向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合國?nèi)用戶的使用習(xí)慣。
4 性價比高
性能達(dá)到了國外儀器的水準(zhǔn)，價格是國內(nèi)儀器的良心價。
三.中圖儀器激光干涉儀技術(shù)參數(shù)
系統(tǒng)性能
² 測量方式：單頻
² 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
² 動態(tài)采集頻率：50 kHz
² 預(yù)熱時間：5-10分鐘
² 工作溫度范圍：0~40℃
² 環(huán)境溫度范圍：0~40℃
² 存儲溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補償示值誤差
² 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
² 大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)
線性測量
² 測量距離：0-40m
² 測量精度：0.5ppm (0-40℃)
² 測量分辨率：1nm
² 測量最大速度：4m/sec
