1. 測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米級(jí)；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
2. 具有實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度等幾何量的檢測(cè)功能?？梢詸z測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線(xiàn)度；并且可滿(mǎn)足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測(cè)量。
3. 可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿(mǎn)足機(jī)床誤差修正的要求。
4. 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量（位移-時(shí)間曲線(xiàn)、速度-時(shí)間曲線(xiàn)、加速度-時(shí)間曲線(xiàn)）及測(cè)量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。
5. 內(nèi)置各種類(lèi)國(guó)標(biāo)（GB）、ISO（國(guó)際）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)?？梢罁?jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測(cè)量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線(xiàn)圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。
6. 可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)?？蛇x擇手動(dòng)或自動(dòng)對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
7. 測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理，可按被測(cè)件類(lèi)型、生產(chǎn)單位、出廠(chǎng)編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢(xún)和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。
8. 安裝方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜。
二.SJ6000激光干涉儀應(yīng)用
1、在數(shù)控機(jī)床檢定中的應(yīng)用
SJ6000激光干涉儀可用于精密機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測(cè)量，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。軟件內(nèi)置10項(xiàng)常用機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。使用激光干涉儀檢測(cè)機(jī)床各項(xiàng)誤差并進(jìn)行修正是傳統(tǒng)測(cè)量手段難以實(shí)現(xiàn)的技術(shù)，是大幅度提高數(shù)控機(jī)床的加工精度的關(guān)鍵措施。
數(shù)控機(jī)床軸定位精度、重復(fù)定位精度的檢測(cè)
2、在三坐標(biāo)檢測(cè)中的應(yīng)用
SJ6000激光干涉儀搭配其鏡組和輔件可檢測(cè)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的位移精度、直線(xiàn)度、垂直度。隨著當(dāng)代制造業(yè)對(duì)加工速度的要求提升，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)各結(jié)構(gòu)件由于高速運(yùn)行產(chǎn)生機(jī)構(gòu)變形，導(dǎo)致的動(dòng)態(tài)誤差不可忽略。使用激光干涉儀對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)進(jìn)行靜態(tài)誤差、動(dòng)態(tài)誤差測(cè)量和補(bǔ)償，對(duì)提升測(cè)量精度具有重要意義。
三坐標(biāo)線(xiàn)性精度、垂直度的檢測(cè)
3、在位移傳感器中的應(yīng)用
利用激光干涉儀對(duì)位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢(shì)，其特點(diǎn)是反應(yīng)速度快、測(cè)量精度高，是位移傳感器實(shí)現(xiàn)高精度校準(zhǔn)的重要手段。
傳感器線(xiàn)性精度的測(cè)量
4、與其他鏡組配合的應(yīng)用
SJ6000激光干涉儀與不同光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)距離、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù)的測(cè)量，具有極高的精度和效率。
測(cè)長(zhǎng)機(jī)線(xiàn)性精度、垂直度的測(cè)量
SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：
技術(shù)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)精度：±0.5ppm(0~40℃)
激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm
分辨率：0.001um
