激光干涉儀可對機床、三測機及各種定位裝置進(jìn)行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標(biāo)準(zhǔn)測量各項參數(shù)，如線形位置精度、重復(fù)定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動螺距誤差補償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)），機床動態(tài)特性測量與評估，回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定，觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能等。
二.SJ6000激光干涉儀測量方法（垂直度測量）
垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸，進(jìn)行垂直度測量就是在同一基準(zhǔn)上對兩個標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進(jìn)行比較，得出兩個軸的垂直度。
共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測量時反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺用于至少一次測量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直，而不動直線度反射鏡。
垂直度測量應(yīng)用
機器軸垂直度誤差測量（數(shù)控機床、坐標(biāo)測量機等）
垂直度測量通過比較直線度值從而確定兩個標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度。垂直度誤差可能是導(dǎo)軌磨損、事故造成導(dǎo)軌損壞或機器地基差或龍門雙驅(qū)動機器上的兩原點傳感器未準(zhǔn)直造成的。垂直度誤差將對機器的定位精度及插補能力產(chǎn)生直接影響。
典型情況下對于超過1.5米長的機器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是唯一的選擇，因為傳統(tǒng)的實物基準(zhǔn)，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內(nèi)。
X,Y軸垂直度對準(zhǔn)
X,Y工作臺和水平面垂直度測量光學(xué)鏡組的設(shè)定如圖所示。不管是什么類型的XY平臺，包括龍門型或者混合型或者其他類型的XY平臺，無論是大型或者小型平臺，重要的是有一個共同的參考基準(zhǔn)，就如圖中所示的直線度反射鏡。測量過程中直線度反射鏡保持不動。
