近期科技部高技術(shù)中心,根據(jù)國家軟科學(xué)研究計(jì)劃項(xiàng)目“世界高技術(shù)發(fā)展趨勢跟蹤研究”的任務(wù)要求,組織信息、材料、能源、先進(jìn)制造、交通及基礎(chǔ)研究等領(lǐng)域,來自863、973計(jì)劃專家組,以及有關(guān)高校、研究院所和重點(diǎn)企業(yè)的總計(jì)230多名專家,采用文獻(xiàn)計(jì)量和定性分析相結(jié)合的方法,通過對相關(guān)領(lǐng)域具有領(lǐng)先優(yōu)勢的國家與企業(yè)的有關(guān)科技計(jì)劃、規(guī)劃、發(fā)展動態(tài)和戰(zhàn)略部署的梳理,以及對相關(guān)核心期刊、國際學(xué)術(shù)會議等的學(xué)術(shù)文獻(xiàn)資料信息的統(tǒng)計(jì)分析,提出了各領(lǐng)域當(dāng)前十個左右共計(jì)61個前沿?zé)狳c(diǎn)。經(jīng)過進(jìn)一步凝練,他們提出了當(dāng)前十大最具備變更潛質(zhì)的前沿技術(shù),分別為:碳基納米材料、半導(dǎo)體納米材料、突破衍射極限的光學(xué)光刻技術(shù)、激光微納制造、光電子集成芯片技術(shù)、后摩爾時代三維互連集成及芯片設(shè)計(jì)、碳化硅電力電子器件技術(shù)、量子通信技術(shù)及與經(jīng)典通信的融合、軌道角動量通信技術(shù)和泛在感知與全分布控制技術(shù)。
激光微納制造是微納制造技術(shù)的重要部分。激光微納制造是通過激光與材料相互作用,改變材料的物態(tài)和性質(zhì),實(shí)現(xiàn)微米至納米尺度或跨尺度的控形與控性。由于激光微納制造在能量密度、作用的空間和時間尺度、制造體吸收能量的可控尺度都可分別趨于極端,而使制造過程所利用的物理效應(yīng)、作用機(jī)理完全不同于傳統(tǒng)制造,其制造復(fù)雜結(jié)構(gòu)的能力與品質(zhì)遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)制造,由此產(chǎn)生了一批新技術(shù)(如光刻、近場納米制造、干涉誘導(dǎo)加工、微焊接等)、一批新產(chǎn)品(如大規(guī)模集成電路、MEMS/NEMS等)、一批產(chǎn)品的高性能化(如航空發(fā)動機(jī)、燃?xì)廨啓C(jī)、太陽能電池等)和相應(yīng)的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)群。
激光微納制造涉及光學(xué)、物理、材料、化學(xué)、生物、信息、控制、機(jī)械、納米科技等學(xué)科,必將推動制造及相關(guān)學(xué)科的深入發(fā)展。并為能源、航空、IC制造、國防、汽車、生物、醫(yī)療等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)跨越式發(fā)展提供重要的制造支撐。