太陽電池制造是產(chǎn)業(yè)中最重要的一環(huán)，對于太陽電池制造商來說，增效降本始終是其追求的目標(biāo)。如何從技術(shù)角度提高太陽電池轉(zhuǎn)換效率，是在電池生產(chǎn)中不斷探求解決方案的過程。
當(dāng)前，PERC太陽電池量產(chǎn)轉(zhuǎn)換效率已達(dá)到21.5%，主要得益于其背表面優(yōu)異的鈍化效果（氧化鋁或氧化硅薄膜等）。對于其下一步提效方向,即降低正表面復(fù)合速率，其中SE結(jié)構(gòu)（Selective Emitter）是達(dá)到此效果的重要技術(shù)。目前，實(shí)現(xiàn)SE結(jié)構(gòu)的技術(shù)手段包括: 掩膜法、印刷磷源法、激光方式、硅墨技術(shù)、反蝕法等。對于PERC電池產(chǎn)線而言，激光PSG摻雜技術(shù)工藝過程最為簡單，工藝流程中只需增加激光摻雜一個步驟；從設(shè)備上說，也只需增加摻雜用激光設(shè)備即可，與常規(guī)產(chǎn)線兼容性強(qiáng)，是行業(yè)研究熱點(diǎn)。因此，PERC太陽電池疊加激光SE技術(shù)，成為當(dāng)下各家光伏大廠提效的主要手段。
深圳市大族太陽能裝備有限公司為滿足客戶需求，研制出高產(chǎn)能、工藝效果佳的激光摻雜設(shè)備，同時根據(jù)客戶現(xiàn)場實(shí)際工藝情況，提供激光SE整體應(yīng)用解決方案，可有效提高太陽電池轉(zhuǎn)換效率。
激光摻雜技術(shù)原理：
激光摻雜技術(shù)是在金屬柵線（電極）與硅片接觸部分進(jìn)行重?fù)诫s，而電極以外位置保持輕摻雜（低濃度摻雜）。通過熱擴(kuò)散方式，在硅片表面進(jìn)行預(yù)擴(kuò)散，形成輕摻雜；同時表面PSG作為局部激光重?fù)诫s源，通過激光局部熱效應(yīng)，PSG中磷原子二次快速擴(kuò)散至硅片內(nèi)部，形成局部重?fù)诫s區(qū)。配合激光高精度圖形化，可實(shí)現(xiàn)與后續(xù)絲網(wǎng)印刷完美套印效果。
激光局部摻雜即SE技術(shù)，主要有以下優(yōu)勢：
1）降低太陽電池串聯(lián)電阻，提升FF；
2）減少表面復(fù)合，提高表面鈍化效果；
3）表面低濃度擴(kuò)散，提高了電池短波響應(yīng)，提高短路電流和開路電壓。
激光摻雜的優(yōu)點(diǎn)：
1）僅需激光圖形化一步即可完成，工藝流程簡單；
2）局部激光熱效應(yīng)，最大限度降低高溫對硅本體熱損傷；
3）激光加工過程簡單、無需化學(xué)處理，無污染。
大族激光摻雜設(shè)備：
大族太陽能裝備自主研發(fā)的激光摻雜機(jī)，采用新一代光束整形技術(shù)（方形光斑、大小可調(diào)），能最大限度降低硅襯底損傷，產(chǎn)能高達(dá)5500pcs/h。設(shè)備內(nèi)整體大理石平臺、高精度CCD視覺定位系統(tǒng)、高速柔性傳輸機(jī)構(gòu)、獨(dú)立除塵系統(tǒng)等配置，保證碎片率低于0.05%。
除了激光摻雜技術(shù)以外，大族太陽能裝備針對太陽能行業(yè)的需求，進(jìn)行全面系統(tǒng)的技術(shù)研發(fā)和設(shè)備開發(fā)工作，致力于為太陽能行業(yè)提供整套成熟的激光解決方案，成為行業(yè)內(nèi)激光加工裝備的領(lǐng)先供應(yīng)商。
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