基于三維石墨烯場(chǎng)效應(yīng)管的高性能光電傳感器示意圖
光電傳感器是光通信、成像、傳感等許多領(lǐng)域的核心元件。石墨烯具有獨(dú)特的零帶隙結(jié)構(gòu)、超快的載流子遷移率等優(yōu)點(diǎn),是制造高性能光電傳感器的理想材料。傳統(tǒng)的石墨烯光電傳感器多采用平面二維(2D)GFET結(jié)構(gòu),具有超寬的帶寬和超快的響應(yīng)速度。但是,由于單層石墨烯對(duì)光的吸收率只有2.3%,導(dǎo)致2D GFET光電傳感器的響應(yīng)度很低(~6.3 mA/W)。雖然將石墨烯與光敏物質(zhì)相結(jié)合可以大幅度提高光電傳感器的響應(yīng)度,但是帶寬和響應(yīng)速度會(huì)嚴(yán)重受損。
該研究提出了一種利用氮化硅應(yīng)力層驅(qū)動(dòng)2D GFET自卷曲為微管式3D GFET結(jié)構(gòu)的方法,首次制造出了卷曲層數(shù)(1-5)和半徑(30 μm-65 μm)精確可控的3D GFET器件陣列。這種3D GFET可用作光電傳感器,工作波長(zhǎng)范圍從紫外光(325 nm)區(qū)域一直延伸至太赫茲(119 μm)區(qū)域,為已經(jīng)報(bào)道的基于石墨烯材料的光電傳感器帶寬之最。同時(shí),這種3D GFET兼具超高的響應(yīng)度和超快的響應(yīng)速度,在紫外光至可見(jiàn)光區(qū)域的響應(yīng)度可達(dá)1 A/W以上,在太赫茲區(qū)域的響應(yīng)度高達(dá)0.23 A/W,響應(yīng)時(shí)間快至265 ns(納秒)。該研究所提出的制造方法不僅為3D石墨烯光電器件與系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)鋪平了道路,還可以推廣至二硫化鉬、黑磷等其他類石墨烯2D晶體材料。審稿人高度評(píng)價(jià)該研究成果,認(rèn)為該研究對(duì)整個(gè)二維材料研究領(lǐng)域具有重要意義。
該論文的第一作者為清華大學(xué)微納電子學(xué)系2015屆畢業(yè)生、現(xiàn)北京交通大學(xué)電子信息工程學(xué)院鄧濤副教授。清華大學(xué)微納電子所劉澤文教授、北京交通大學(xué)電子信息工程學(xué)院鄧濤副教授為該論文的通訊作者。該研究得到了國(guó)家自然科學(xué)基金、北京市自然科學(xué)基金和中央高?;究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)項(xiàng)目的支持。
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