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6月11日，記者了解到，在國(guó)家重大科技專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”等項(xiàng)目支持下，清華大學(xué)長(zhǎng)聘教授、精密儀器系學(xué)術(shù)委員會(huì)主任李巖研究團(tuán)隊(duì)完成的“高測(cè)速多軸高分辨率激光干涉測(cè)量技術(shù)與儀器”項(xiàng)目，突破一系列關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，形成了測(cè)量新方法、系統(tǒng)及儀器。

激光干涉測(cè)量指以激光為光源，以激光波長(zhǎng)或激光頻率為基準(zhǔn)，利用光的干涉原理進(jìn)行精密測(cè)量的方法，具有非接觸測(cè)量、靈敏度高和精確度高的優(yōu)點(diǎn)。激光干涉測(cè)量?jī)x器一般用于位移、長(zhǎng)度、角度、面基、介質(zhì)折射率的變化等方面的測(cè)量，常用的干涉儀有邁克爾遜干涉儀、馬赫-澤德干涉儀、菲索干涉儀、泰曼-格林干涉儀等

激光干涉測(cè)量是實(shí)現(xiàn)超精密測(cè)控和微納尺度測(cè)量的最有效手段之一，在許多領(lǐng)域都有極其重要的作用。

據(jù)李主任介紹，項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)了從干涉儀組件、信號(hào)探測(cè)解調(diào)到多自由度探測(cè)方案設(shè)計(jì)的全鏈條自研開(kāi)發(fā)的高測(cè)速、多軸大量程、高分辨率激光干涉測(cè)量系統(tǒng)。目前，該項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)所研發(fā)的光刻機(jī)用雙頻激光干涉儀系統(tǒng)已經(jīng)應(yīng)用到了我國(guó)自研光刻機(jī)工件臺(tái)樣機(jī)研發(fā)過(guò)程中，累計(jì)應(yīng)用50余臺(tái)套。該研究成果滿足了光刻機(jī)雙工件臺(tái)樣機(jī)的精密測(cè)量需求，減輕了對(duì)國(guó)外高端干涉儀的依賴，降低了其產(chǎn)品對(duì)我國(guó)出口限制所造成的研發(fā)風(fēng)險(xiǎn)，對(duì)保障我國(guó)光刻機(jī)雙工件臺(tái)研發(fā)的順利實(shí)施起到了積極作用。

此外，項(xiàng)目開(kāi)發(fā)的亞納米分辨率可溯源外差干涉儀，也應(yīng)用到了激光多維測(cè)量系統(tǒng)研究與開(kāi)發(fā)的比對(duì)檢定研究中。亞納米分辨率可溯源外差干涉儀能夠找出了激光多維測(cè)量系統(tǒng)非線性誤差原因，并用專門的電路加以校正，提高了相關(guān)單位激光多維測(cè)量系統(tǒng)的性能。開(kāi)發(fā)團(tuán)隊(duì)所提出的可溯源干涉測(cè)量新方法，為摩爾單位采用阿伏伽德羅常數(shù)重新定義作出了貢獻(xiàn)。

值得一提的還有，在過(guò)去，我國(guó)沒(méi)有掌握研發(fā)高端激光干涉測(cè)量?jī)x器的核心技術(shù)，但該項(xiàng)目的成功一舉打破了外國(guó)對(duì)我國(guó)高端激光干涉測(cè)量?jī)x器的限制和壟斷，豐富了我國(guó)激光干涉測(cè)量理論與技術(shù)，這意味著往后我國(guó)高端裝備和儀器的研發(fā)將擁有性能穩(wěn)定且不受制于外國(guó)的測(cè)量及溯源能力?？偠灾?，該研究成果具有非常重要的技術(shù)、經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益。

激光干涉測(cè)量技術(shù)是保障可溯源納米測(cè)量的重要途徑，也是推動(dòng)我國(guó)邁向計(jì)量強(qiáng)國(guó)、制造強(qiáng)國(guó)的關(guān)鍵計(jì)量測(cè)試技術(shù)。相信隨著研發(fā)團(tuán)隊(duì)的繼續(xù)深入研究，我國(guó)的激光干涉測(cè)量技術(shù)還會(huì)不斷進(jìn)步，為我國(guó)帶來(lái)更多的效益。