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性能達到國際先進!專家對國內首臺硅晶圓激光隱形切割機進行鑒定

來源:中芯社2020-06-03 我要評論(0 )   

文 | 三三編輯 | 丁克中芯社獲悉,5月30日,應中國電子鄭州軌道交通信息技術研究院和河南通用智能裝備有限公司的邀請,西安交通大學趙玉龍教授、楊宜康教授、王海容教授...

文 | 三三

編輯 | 丁克

中芯社獲悉,5月30日,應中國電子鄭州軌道交通信息技術研究院和河南通用智能裝備有限公司的邀請,西安交通大學趙玉龍教授、楊宜康教授、王海容教授、高級工程師王久洪及中國兵器工業(yè)第214研究所高級工程師王文婧一行抵達鄭州聯(lián)合創(chuàng)新半導體智能裝備重點實驗室,對國內首臺硅晶圓激光隱形切割機進行內部鑒定。

劉院長陪同專家一行首先參觀了聯(lián)合創(chuàng)新半導體智能裝備重點實驗室,并對硅晶圓切割的關鍵技術指標進行了現場驗證。專家對驗證結果表示非常滿意,認為該設備的性能指標已經達到國際先進水平。

專家一行5人與鄭州研究院、河南通用智能的研發(fā)人員進行了長達數小時的技術討論。專家高度贊賞了鄭州軌道研究院及河南通用智能的研發(fā)水平及研發(fā)人員的專業(yè)技術水平,一致認為,中國電子鄭州軌道交通信息技術研究院和河南通用智能裝備有限公司聯(lián)合研制的硅晶圓激光隱形切割機屬國內首創(chuàng),填補了國內空白,其性能指標和總體水平達到國內領先、國際先進,具有廣闊的市場應用前景。

鑒定活動期間,中國長城副總裁、鄭州軌道交通信息技術研究院院長劉振宇向專家介紹了研究院的發(fā)展情況,并重點介紹了國內首臺硅晶圓激光隱形切割機的情況。該設備由鄭州軌道院與河南通用智能有限公司聯(lián)合研制。研制過程非常艱辛,最終在各級領導的大力支持下、數十位研發(fā)人員夜以繼日的拼搏下,歷時一年多的時間于今年5月8日首臺設備下線,該設備下線標志著國內硅晶圓切割設備打破了全部依賴國外進口的局面。

鄭州軌道交通信息技術研究院自成立以來,圍繞自主安全工業(yè)控制器、高端智能裝備和新一代信息技術突破開展了一系列的科研創(chuàng)新和技術攻堅。尤其在被中國長城收購后,在中國長城的領導下,鄭州軌道院的科研創(chuàng)新和技術攻關能力雙雙進入發(fā)展快車道。


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激光晶圓切割半導體智能裝備
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