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蘇州硅時(shí)代電子科技有限公司（Si－Era），位于國(guó)內(nèi)最的大的MEMS產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)——蘇州納米城。利用MEMS領(lǐng)域近20年的技術(shù)積累，在MEMS傳感器、生物MEMS、光學(xué)MEMS以及射頻MEMS方面都擁有大量的設(shè)計(jì)和工藝經(jīng)驗(yàn)。

微納米加工的圖形化工藝主要分為圖形轉(zhuǎn)移和直接加工兩種技術(shù)，圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)包括三個(gè)部分：薄膜沉積，圖形成像，圖形轉(zhuǎn)移。而直接加工的激光束蝕刻技術(shù)具備直寫能力，避免的圖形轉(zhuǎn)移的多步工藝，通過(guò)控制聚焦的高能激光（短波／脈沖）束直接在刻蝕材料制作微細(xì)結(jié)構(gòu)，具備微米／亞微米的薄膜蝕刻加工精度，適用于多種材料，實(shí)現(xiàn)三維的微結(jié)構(gòu)的制作。

微納制造技術(shù)是指尺度為毫米、微米和納米量級(jí)的零件，以及由這些零件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、加工、組裝、集成與應(yīng)用技術(shù)。傳統(tǒng)“宏”機(jī)械制造技術(shù)已不能滿足這些“微”機(jī)械和“微”系統(tǒng)的高精度制造和裝配加工要求，必須研究和應(yīng)用微納制造的技術(shù)與方法。微納制造技術(shù)是微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎(chǔ)。

微納制造包括微制造和納制造兩個(gè)方面。

（1）微制造 有兩種不同的微制造工藝方式，一種是基于半導(dǎo)體制造工藝的光刻技術(shù)、LIGA技術(shù)、鍵合技術(shù)、封裝技術(shù)等，這些工藝技術(shù)方法較為成熟，但普遍存在加工材料單一、加工設(shè)備昂貴等問題，且只能加工結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的二維或準(zhǔn)三維微機(jī)械零件，無(wú)法進(jìn)行復(fù)雜的三維微機(jī)械零件的加工；另一種是機(jī)械微加工，是指采用機(jī)械加工、特種加工及其他成形技術(shù)等傳統(tǒng)加工技術(shù)形成的微加工技術(shù)，可進(jìn)行三維復(fù)雜曲面零件的加工，加工材料不受限制，包括微細(xì)磨削、微細(xì)車削、微細(xì)銑削、微細(xì)鉆削、微沖壓、微成形等。

（2）納制造 納制造是指具有特定功能的納米尺度的結(jié)構(gòu)、器件和系統(tǒng)的制造技術(shù)，包括納米壓印技術(shù)、刻劃技術(shù)、原子操縱技術(shù)等。