大族激光8月10日在互動平臺表示,公司在研光刻機(jī)項目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等方面的應(yīng)用,目前已接到少量訂單。
光刻機(jī)是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù),把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。而光刻機(jī)是中國芯片發(fā)展的最大障礙。
眾所周知,高端芯片制造所需的光刻機(jī)一直以來被荷蘭ASML公司壟斷,一臺精密光刻機(jī)售價上百億,而我國半導(dǎo)體行業(yè)起步較晚,光刻機(jī)技術(shù)與ASML的差距非常大。
具體地,我國光刻機(jī)最高技術(shù)也就上海微電子所生產(chǎn)的90nm光刻機(jī)。除此之外,目前合肥芯碩半導(dǎo)體公司也具備量產(chǎn)200nm光刻機(jī)的實力,無錫影幻半導(dǎo)體公司也具備200nm光刻機(jī)量產(chǎn)的實力。而ASML則在7nm級別。
簡單來看,這些數(shù)字差距可能看起來不大,但事實上,90nm跟28nm或者是7nm是千差萬別的,光刻機(jī)每上一個臺階技術(shù)難度就會大大增加,可能從90nm升級到65nm并不難,但是從65nm升級到45nm,就是一個技術(shù)節(jié)點了,至于28nm、14nm和7nm,甚至未來有可能出現(xiàn)的3nm,那難度就更大了。也正因為如此,我國的光刻機(jī)的研發(fā)進(jìn)度一直都比較緩慢。
據(jù)有關(guān)媒體報道,光刻機(jī)正成為華為的第四場戰(zhàn)役。據(jù)悉,余承東在一次百人大會上的時候透露過,早在四年前,華為就已經(jīng)為接下來集團(tuán)的布局做好準(zhǔn)備了,他們在2016年的時候就已經(jīng)成立了團(tuán)隊去研發(fā)光刻機(jī),現(xiàn)在已經(jīng)取得了很大的進(jìn)展。
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