Coherent相干公司的準分子激光器因其深紫外波長和高脈沖能量的技術特點,及超高穩(wěn)定性的產品優(yōu)勢,被廣泛應用于平板顯示、精密加工、醫(yī)療、汽車等大規(guī)模工業(yè)化加工當中。
■圖片來源:相干公司
未來顯示,加速技術開發(fā)
當前,準分子激光器在Micro-LED領域具有出色的應用潛力,憑借短波長、短脈寬、高功率、高能量的獨特優(yōu)勢,非常適合加工Micro-LED制造中常用的III-V族材料系統(tǒng)。
Coherent相干公司提供從激光器、子系統(tǒng)到完整加工設備的全套解決方案,支持Micro-LED制程中的剝離、巨量轉移和修復工藝。
Coherent相干公司的準分子激光剝離(LLO)設備可達到每個激光脈沖處理多達上萬顆晶粒,最高精度可達到微米量級。此外,只有準分子激光技術可以滿足透明PI材料的激光剝離工藝要求,在可預見的未來,準分子激光將繼續(xù)引領最先進的激光剝離方案。
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Coherent相干公司開發(fā)出類掩膜的方式對Micro-LED進行巨量轉移(LIFT),轉移速度高達每秒數萬顆LED,配合獨有的高精度光學器件能實現2微米間距的高精準加工。目前,亞洲知名終端廠商已經采用Coherent的巨量轉移設備,并裝機量產。
多元化應用,前景廣闊
除顯示領域,準分子激光器在醫(yī)療、半導體、汽車、新能源、科研等領域同樣大放異彩。從半導體光刻(先進封裝微通孔)、激光原位角膜磨鑲術(LASIK),到脈沖激光沉積、光纖光柵刻寫、準分子激光剝蝕等,準分子激光器已成為各應用領域的重要加工工具。
12月1日,Coherent相干公司全新升級的準分子激光器測試平臺將正式入駐全新升級的Coherent深圳應用實驗室。屆時,公司技術人員將解密準分子激光器在平板顯示行業(yè)的應用拓展、準分子激光器在先進封裝、半導體、醫(yī)療、汽車等領域的應用。
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同時,現場嘉賓還有機會和公司技術人員共同探索用Coherent相干公司先進的超快激光器,挑戰(zhàn)柔性OLED的精細切割任務,開拓各類新材料的超精密加工,打造5G智能智造新時代。
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