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突破!我國雙折射雙頻激光干涉儀實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)

激光制造網(wǎng) 來源:科技日報(bào)2021-03-03 我要評論(0 )   

  3月2日,記者從清華大學(xué)精密儀器系獲悉,該系張書練教授課題組進(jìn)行原理研究并由北京鐳測科技有限公司開發(fā)生產(chǎn)的雙折射雙頻激光干涉儀實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。  雙頻(兩頻...

  3月2日,記者從清華大學(xué)精密儀器系獲悉,該系張書練教授課題組進(jìn)行原理研究并由北京鐳測科技有限公司開發(fā)生產(chǎn)的雙折射雙頻激光干涉儀實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。

  雙頻(兩頻率)激光干涉儀是科學(xué)研究、光刻機(jī)、數(shù)控機(jī)床、航空航天、艦船等行業(yè)都離不開的光學(xué)尺子,用于測量零部件的尺寸,角度,位置,直線性,也是檢定各類數(shù)控機(jī)床、激光加工機(jī)床以及光刻機(jī)臺的精度,進(jìn)行誤差補(bǔ)償?shù)幕緝x器。

  張書練介紹,雙頻激光器是雙頻激光干涉儀的核心部件。國外干涉儀廠家都是自制專用激光器,稱為塞曼雙頻激光器,不對外供應(yīng)。此前我國的雙頻激光干涉儀只能進(jìn)口普通激光器,從中選出可用的,淘汰率高,性能上不去,導(dǎo)致雙頻激光干涉儀國產(chǎn)化困難。

  據(jù)介紹,此次清華大學(xué)精密儀器系發(fā)明的雙折射原理的雙頻激光器比傳統(tǒng)的塞曼雙頻激光器的激光功率高一倍、頻率間隔大一倍或兩三倍、沒有兩個(gè)頻率之間耦合串混。分辨率達(dá)到1納米(十億分之一米),線性測量長度范圍0到70米,非線性誤差小于1納米,測量速度超過2米。

  張書練指出,雙折射雙頻激光器的使用帶動(dòng)了干涉儀整機(jī)的光機(jī)電系統(tǒng)創(chuàng)新設(shè)計(jì),使雙折射雙頻激光干涉儀具有便攜,方便,魯棒等優(yōu)良性能。


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