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企業(yè)新聞

10分鐘看懂大功率半導(dǎo)體激光器關(guān)鍵技術(shù)及發(fā)展!

來源:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所2021-05-13 我要評論(0 )   

本文作者寧永強(qiáng),陳泳屹,張俊,宋悅,雷宇鑫,邱橙,梁磊,賈鵬,秦莉,王立軍,來自中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所發(fā)光學(xué)及應(yīng)用國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,僅供行業(yè)交...

本文作者寧永強(qiáng),陳泳屹,張俊,宋悅,雷宇鑫,邱橙,梁磊,賈鵬,秦莉,王立軍,來自中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所發(fā)光學(xué)及應(yīng)用國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,僅供行業(yè)交流學(xué)習(xí)之用,感謝分享!

1 引言

半導(dǎo)體激光器具有體積小、重量輕、電光轉(zhuǎn)換效率高、可靠性高和壽命長等優(yōu)點(diǎn),在工業(yè)加工、生物醫(yī)療和國家防御等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用[1-10]。1962年,美國科學(xué)家 成 功 研 制 出 了 第 一 代 GaAs同 質(zhì) 結(jié)構(gòu)注入型半導(dǎo)體激 光 器[11-12]。1963年,前蘇聯(lián)科學(xué)院約飛物理研究所的 Alferov等[13-14]宣布成功研制了雙異質(zhì)結(jié)半導(dǎo)體激光器。20世紀(jì)80年代以后,由于引入了能帶工程理論,同時涌現(xiàn)了晶體外延材料生長新工藝[如分子束外延(MBE)和金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)等],量子 阱 激 光 器 登 上 歷 史 舞臺,大大提升了器件性能,實(shí)現(xiàn)了高功率輸出。

大功率半導(dǎo)體激光器主要分為單管與 Bar條兩種結(jié)構(gòu)[15],單管結(jié)構(gòu)多采用寬條大光腔的設(shè)計(jì),并增加了增益區(qū)域,以實(shí)現(xiàn)高功率輸出,減少腔面災(zāi)變損傷;Bar條結(jié)構(gòu)為多個單管激光器的并聯(lián)線陣,多個激光器同時工作,再經(jīng)過合束等手段實(shí)現(xiàn)高功率激光輸出。最初的大功率半導(dǎo)體激光器主要應(yīng)用于泵浦固體激光器和光纖激光器,波段主要為808nm和980nm。隨著近紅外波段高功率半 導(dǎo) 體 激 光 單元技術(shù)的成熟和成本的降低,使得以之為基礎(chǔ)的全固態(tài)激光器和光纖激光器性能不斷提升,單管連續(xù)波(CW)輸出功率從20世紀(jì)90年代的8.1 W 達(dá)到 29.5 W[16] 水 平,bar 條 CW 輸 出 功 率 達(dá) 到1010 W[17]水 平、脈沖輸出功率達(dá)到 2800 W[18]水 平,極大地推動了激光技術(shù)在加工領(lǐng)域的應(yīng)用進(jìn)程。半導(dǎo)體激光器作為泵浦源的成本占固體激光器總成本的1/3~1/2,占光纖激光器 的1/2~2/3。因 此,光纖激光器和全固態(tài)激光器發(fā)展之快,大功率半導(dǎo)體激光器的發(fā)展功不可沒。

隨著半導(dǎo)體激光器性能的不斷提高、成本的不斷降低,其應(yīng)用范圍也越來越廣。如何實(shí)現(xiàn)大功率的半導(dǎo)體激光器一直以來都是研究的前沿和熱點(diǎn)。

實(shí)現(xiàn)大功率的半導(dǎo)體激光芯片,需要從材料、結(jié)構(gòu)和腔面保護(hù)這三個方面考慮:1)材料技 術(shù)???以 從 提 高 增 益 和 防 止 氧 化 兩方面入手,對應(yīng)的技術(shù)包括應(yīng)變量子阱技術(shù)和無鋁量子阱技術(shù)。2)結(jié)構(gòu)技術(shù)。為了防止芯片在高輸出功率下燒毀,通常采用非對稱波導(dǎo)技術(shù)和寬波導(dǎo)大光腔技術(shù)。3)腔面保 護(hù) 技 術(shù)。為了防止災(zāi)變光學(xué)鏡面損傷(COMD),主要技術(shù)包括非吸收腔面技術(shù)、腔 面鈍化技術(shù)和鍍膜技術(shù)。

隨著各行各業(yè)的發(fā)展,無論是作為泵浦源,還是直接應(yīng)用,都對半導(dǎo)體激光光源提出了進(jìn)一步的需求。在需求更高功率的情況下,為了保持高光束質(zhì)量,就必須進(jìn)行激光合束。

半導(dǎo) 體 激 光 合 束 技 術(shù) 主 要 包 括:常 規(guī) 合 束(TBC)、密 集 波 長 合 束 (DWDM)技 術(shù)、光 譜 合 束(SBC)技術(shù)、相 干 合 束(CBC)技術(shù) 等。本 文 主 要 對上述技術(shù)進(jìn)行了概述。

2 實(shí)現(xiàn)大功率激光的重要技術(shù)手段

2.1 邊發(fā)射大功率半導(dǎo)體激光芯片技術(shù)

2.1.1 材料技術(shù)

2.1.1.1 應(yīng)變量子阱技術(shù)

量子阱作為半導(dǎo)體激光器最廣泛采用的有源區(qū),其內(nèi)部表現(xiàn)出量子化的子帶和階梯狀態(tài)密度,將大大提高激光器的閾值電流密度和溫度穩(wěn)定性;通過改變勢阱寬度和勢壘高度,可以改變量子化的能量間隔,實(shí)現(xiàn)激光器的可調(diào)諧特性,與傳統(tǒng)的雙異質(zhì)結(jié)半導(dǎo)體激光器相比,可以有效地降低激光器的閾值電流,提高量子效率與微分增益。而在量子阱中引入應(yīng)變則會顯著地改變其本身的能帶結(jié)構(gòu),通過調(diào)整價(jià)帶中的重、輕空穴帶的位置,從而增加芯片外延結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)參數(shù)和自由度。一 般 來 說,在III-V族三元和四元材料組成的量子阱外延結(jié)構(gòu)中引入壓應(yīng)變,會加劇能帶函數(shù)的變化,從而降低激光器的閾值電流;而引入張應(yīng)變,則會平緩能帶函數(shù),在一定程度上提高材料在大功率下工作狀態(tài)下的增益。應(yīng)變量子阱的出現(xiàn)使得通過調(diào)節(jié)應(yīng)變獲得所需能帶結(jié)構(gòu)并提高增益成為了可能[19-20],使半導(dǎo)體激光器的性能出現(xiàn)了大的飛躍。

1984 年,Laidig 等[21]最 早 報(bào) 道 了 基 于 應(yīng) 變InGaAs/GaAs量子阱的激光器,在較高的閾值電流密度(1.1kA/cm2)下獲 得 了 波 長 為1μm 的 激 光,通過完善工藝將閾值電流密度降低到465A/cm2[22]。1991年 AT & TBell實(shí)驗(yàn)室利用 MBE方法降低了閾值 電 流———低 至 45 A/cm2,基本達(dá)到理論極限[23]。1993年 7 月,日本 的 Hayakawa等[24]利用 GaAs/AlGaAs張 應(yīng) 變 量 子 阱 得 到 了 輸 出 波 長 在780nm 的橫磁(TM)模 CW 激光器。

2.1.1.2 無鋁量子阱技術(shù)

無鋁材料激光器相比有鋁材料激光器具有明顯的優(yōu)勢:1)無鋁材料比含鋁材料具有更高的 COMD 功 率密度。有源區(qū)中的鋁容易氧化和產(chǎn)生暗線缺陷,致使 發(fā) 生 COMD 時的 功 率 密 度 減 小,更 容 易 產(chǎn) 生COMD,從而限制了激光器的功率和壽命。2)同時,相對于含鋁量子阱,無鋁量子阱的電阻更低、熱導(dǎo)率更高,因而表面復(fù)合速率低、表面溫升低、腔面退化速率慢,對暗線缺陷的攀移有抑制作用,且材料內(nèi)部退化速率慢。

在1998年,美國 的 Pendse等[25]最初 提 出,無鋁量子阱激光器具有更高的可靠性。1999年,美國的 Mawsi等[26]對與 GaAs晶格匹配的InGaAsP單 量子阱激光器的可靠性進(jìn)行了研究,證明了無鋁器件的端面溫升比含鋁 的 AlGaAs激光 器 低 得 多,并 在10 ℃工作溫 度 下,獲 得 了3.2 W 的最 大 輸 出 功率。2008年,中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所報(bào)道了無鋁1mm 腔長的準(zhǔn)連續(xù)陣列輸出功率可達(dá)40 W,無鋁1cm 長的 鍍 膜 bar條在180A 工作 電流下,輸出功率大于185 W[27]。2013年,山東大學(xué)報(bào)道了無鋁有源區(qū)在20A 工作電流下,輸出功率達(dá)20.86 W 的激光器[28]。

2.1.2 波導(dǎo)結(jié)構(gòu)技術(shù)

2.1.2.1 非對稱波導(dǎo)技術(shù)

在大光腔結(jié)構(gòu)中,隨著波導(dǎo)尺寸的增加,器件的串聯(lián)電阻也 會 增 加。故 為 降 低 串 聯(lián) 電 阻,通 常 對 p型限制層施以較高的摻雜。實(shí)驗(yàn)研究發(fā)現(xiàn),光吸收正比于摻雜區(qū)的摻雜濃度,并且在 p型材料中被空穴吸收光子的損耗大于在n型材料中被電子吸收光子的損耗[29-32]。這樣,在對稱波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中,p型高摻雜區(qū)載流子的光吸收是形成內(nèi)部損耗、導(dǎo)致效率降低的主要原因??梢酝ㄟ^p型波導(dǎo)和n型波導(dǎo)的厚度非對稱,折射率非對稱等調(diào)節(jié)方式,讓光場分布盡量限制在n型區(qū)域內(nèi)擴(kuò)展,從而降低串聯(lián)電阻和內(nèi)部損耗,獲得較高的效率。

2007年,中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所報(bào)道了無鋁有源區(qū)非對稱波導(dǎo)結(jié)構(gòu)激光器,波 長 為808nm,連 續(xù)工作條件下,輸出功率可達(dá)6 W[33],2009年實(shí)現(xiàn)了980nm 半導(dǎo)體激光,內(nèi)損耗僅有0.78cm-1[34], 2010年,實(shí)現(xiàn)了980nm 半導(dǎo)體激光效率58.4%[35]。2013年,日 本 的 Morita 等[36]實(shí) 現(xiàn) 了 條 寬 為 100μm,腔長為4mm,CW 輸出功率為19.8 W,20 ℃溫 度下轉(zhuǎn)換效率68%的半導(dǎo)體激光器。2020年,芬蘭 的 Ryvkin等[37]通過 對 分 對 稱 波 導(dǎo) 的 折 射 率、限 制因子、載流子濃度、內(nèi)部損耗等方面的模擬分析,最終設(shè)計(jì)了短腔結(jié)構(gòu)計(jì)算出 CW 輸出功率達(dá)40 W 的 半導(dǎo)體激光器。

2.1.2.2 大光腔技術(shù)

為了獲得高輸出功率,提高 COMD 閾值,需 要降低有源區(qū)與限制層的光場能量密度。這就需要增大波導(dǎo)的尺度,增加光斑的尺寸,拓寬光場分布,這就是大光腔技術(shù)。在增加波導(dǎo)尺度的同時,可以優(yōu)化波導(dǎo)結(jié)構(gòu),降低激光器的遠(yuǎn)場快軸光束發(fā)散角。

2005年,德 國 的 Knauer等[38]實(shí) 現(xiàn) 了 808nm大光腔結(jié)構(gòu),獲得了25 ℃溫度下,CW 輸出 功 率 為15 W,快軸 遠(yuǎn) 場 發(fā) 散 角 為 18°。2006 年,Bookham公司采 用InGaAs/AlGaAs材料,設(shè)計(jì)了漸變折射率大光腔芯片,在溫度為16 ℃、電流為20A 時,獲 得了大 于17 W 的 CW 輸出 功 率[39]。2008 年,Xu等[40]采用InAlGaAs/AlGaAs/GaAs材料的漸變折射率新型大光 腔 結(jié) 構(gòu),實(shí) 現(xiàn) 了25 ℃溫度 下 CW 輸 出功率為23 W 的915nm 激光 器。2009年,德國 的 Crump等[41]采用InGaAs/GaAsP材料和芯徑2. 5μm 的大光腔 結(jié) 構(gòu),得 到 了 CW 輸出 功 率 為20 W的975nm 單 管 半 導(dǎo) 體 激 光 器,壽 命 大 于4000h。2015年,北京 工 業(yè) 大 學(xué) 凌 小 涵 等[42]設(shè)計(jì) 了980nm大光腔單發(fā)光條大功率半導(dǎo)體激光器,其 CW 輸出功率達(dá)到12 W,經(jīng)老化實(shí) 驗(yàn) 得 到 器 件 綜 合 成 品 率達(dá)到40%。2019年,長春 理 工 大 學(xué) 的 喬 闖 等[43]設(shè) 計(jì)并制作了非對稱大光腔結(jié)構(gòu),制備了890nm周期的分布式布拉格反射鏡(DBR)光柵,最 終實(shí)現(xiàn)了輸出功率為10.7 W,斜率效率為0.73 W/A 的激 光 輸出。

2.1.3 腔面技術(shù)

2.1.3.1 非吸收腔面技術(shù)

通過增大腔面附近量子阱帶隙寬度,使得腔面處對激射波長透明,這就是非吸收腔面技術(shù)。非吸收腔面可以減少因非輻射復(fù)合和光吸收產(chǎn)生的熱量及光生載流子的數(shù)量,是提高半導(dǎo)體激光器輸出功率和可靠性的有效方法。目前,非吸收腔面的制作方法主要包括:二次外延生長技術(shù)和量子阱混合技術(shù)。二次外延生長是通過刻蝕、再生長一種寬帶隙半導(dǎo)體材料。這種方法技術(shù)難度大、工藝復(fù)雜,難以保證結(jié)合界面的晶體質(zhì)量[44]。量子阱混合技術(shù)通過在外延片上進(jìn)行薄膜淀積或雜質(zhì)注入,再通過高溫快速退火,使各組成元素發(fā)生互擴(kuò)散,導(dǎo)致阱、壘組分發(fā)生變化,從而增大帶隙結(jié)構(gòu)。這種方法操作相對簡單,成本低,效果較為明顯[45],但需要高溫條件下進(jìn)行熱退火,可能會對器件造成一定的損傷。

1984年,英國電信研究實(shí)驗(yàn)室利用選擇性外延生長技術(shù)制備出非吸收腔面的 AlGaAs大光腔激光器,在脈沖輸出(脈寬為100ns)時,得到 的 輸 出 功率是普通激光器的2~3倍[46]。1999年,日本京都大學(xué) 制 備 出 帶 有 非 吸 收 腔 面 的 780nm AlGaAs/GaAs大功率 半 導(dǎo) 體 激 光 器,最 大 輸 出 功 率 是 傳 統(tǒng)激光器的3倍[47]。2000年,英國格拉斯哥大學(xué)制備了具 有 非 吸 收 腔 面 的 GaAs/AlGaAs半 導(dǎo) 體 激 光器,在發(fā)生COMD時的最高輸出功率是普通激光器的2倍[48]。2015年,濱松光電子股份有限公司制備了帶隙差為100 meV 的非 吸 收 腔 面,915nm 波段InGaAs寬 條 半 導(dǎo) 體 激 光 器 的 連 續(xù) 輸 出 功 率 為20 W,可靠工作時間在5000h以上,最大效率超過65%[49]。

2.1.3.2 腔面鈍化技術(shù)

半導(dǎo)體激光器的自然解理面極容易被潮解和氧化,氧化物和沾污易成為非輻射復(fù)合中心,從而加劇腔面結(jié)溫升 高 的 急 劇 上 升,最 終 導(dǎo) 致 COMD,使得器件失效。腔面鈍化能夠有效地去除半導(dǎo)體激光器腔面的沾污和氧化層等雜質(zhì),降低腔面的表面態(tài)密度,從而有效提高器件的熱穩(wěn)定性、抑制 COMD,最 終提升最大輸出功率并提高器件的可靠性,為高性能和穩(wěn)定工作提供保障。

1987年,貝爾 通 訊 研 究 公 司 的 Sandroff等[50] 發(fā)明了腔面硫 化 處 理 技 術(shù)。采 用 Na2S·9H2O 溶 液將 GaAs/AlGaAs異質(zhì) 結(jié) 雙 極 晶 體 管(HBTs)腔 面鈍化,經(jīng)硫化處理后的 HBT 電流增 益 提 高 了60 多倍。1996年,Syrbu等[51]在蒸 鍍 高 反/增 透 膜 前利用原位生長 ZnSe技術(shù),將980nmInGaAs半導(dǎo)體激光 器 腔 面 鈍 化,使 激 光 器 連 續(xù) 輸 出 功 率 提 高50% 。1997年,美國威斯康星大學(xué)的 Mawst等[52] 利用激光輔助化學(xué)氣相沉積法在InGaAs雙量子阱半導(dǎo)體 激 光 器 腔 面 處 形 成 ZnSe 鈍 化 層,將 器 件COD 閾 值 提 高 了 50%。2005 年,德 國 的 Ressel等[53]報(bào)道了腔 面 鈍 化 無 鋁 有 源 區(qū) 大 功 率 半 導(dǎo) 體 激光器,在激光器的老化過程中表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。2016 年,北 京 工 業(yè) 大 學(xué) 利 用 離 子 銑 氮 鈍 化 處 理980nm半導(dǎo)體激光器腔面,得到了 CW 輸出功率為22.5 W,器 件 輸 出 功 率 提 高 了 32.14%[54]。2019年,中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所采用射頻等離子體增強(qiáng)反應(yīng)磁控濺射沉積α-SiNx薄膜對980nm光子晶體激光器進(jìn) 行 腔 面 鈍 化。通 過 優(yōu) 化 氮-氬混 合 等 離子體并采用 快 速 退 火 的 方 法,顯 著 抑 制 了 COMD, 提高了器 件 的 性 能 和 激 光 系 統(tǒng) 的 穩(wěn) 定 性[55]。2019年,中國科學(xué)院半導(dǎo)體所在真空中直接蒸鍍一層厚度為25nm 的ZnSe材料作為鈍化膜,利用 ZnSe薄 膜材料大禁帶寬度的特性作為半導(dǎo)體激光器腔面鈍化膜,有效提高半導(dǎo)體激光器輸出功率和器件損傷閾值,提供腔面保護(hù)[56]。

2.1.3.3 鍍膜技術(shù)

腔面鍍膜技術(shù)是大功率激光器的關(guān)鍵工藝技術(shù)之一,其作用有兩個:1)覆蓋解理腔面,防止有源區(qū)氧化,提高可靠性和穩(wěn)定性;2)改變腔面膜反射率,使得激光器在保持性能的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)單面出光,提高激光器的輸出功率和激光的利用效率。因?yàn)榧す馄鞯那幻媸蔷w的自然解理面(110面),其反 射 率約為31%,在激 光 器 工 作 時,由 于 激 光 器 前 后 腔 面反射率大小一樣,因而造成兩個腔面同時出光。通過腔面鍍膜在激光器的前后腔面分別制備增透膜和高反射膜,高反膜降低了閾值電流,而增透膜提高了器件的量子效率和電-光轉(zhuǎn)換效率。

該技術(shù)主要內(nèi)容有兩個方面:一是膜系材料的選擇。首先要考慮鍍層材料的高純性、長期穩(wěn)定性、附著力、鍍層材料與自然解理面之間的熱匹配和應(yīng)力匹配、鍍層材料之間的晶格匹配等。同時還要易于蒸鍍,不會對激光器的自然解理面產(chǎn)生破壞,能夠防止環(huán)境氣氛擴(kuò)散進(jìn)入器件發(fā)光區(qū)。二是確定高反膜的反射率和增透膜的透射率,基本原則是:通過后腔面發(fā)射的光盡可能少,使激光盡可能由前腔面透過,同時又不引起明顯的腔面附加吸收和附加損耗。對于增透膜,膜系材料可以選擇折射率介于波導(dǎo)層有效折射 率 與 空 氣 折 射 率 之 間 的 材 料。通 常 選 擇Al2O3、SiO2作為低折射率材料,ZrO2、TiO2等作為高折射率材 料。高 反 膜 的 反 射 率 一 般 采 用95%~98%,增透膜的反射率一般采用1%~5% 。

2.2 大功率半導(dǎo)體激光合束技術(shù)

處于近 紅 外 波 段(750~1100nm)的邊 發(fā) 射 結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體激光器發(fā)展最為成熟,是當(dāng)前用于泵浦和加工的大功率半導(dǎo)體激光源主要形式。根據(jù)激光單元數(shù)量,激光芯片可分為單管和線陣,前者為單個激光單元,可連續(xù)輸出幾瓦至數(shù)十瓦功率,后者為多個激光單元在水平方向的集成,可連續(xù)輸出幾十瓦至數(shù)百瓦功率。對于激光線陣,根據(jù)集成單元方向?qū)挾?,?分 為 寬 度 10 mm 的 厘 米 線 陣 和 寬 度 小 于10mm的迷你線陣。將激光芯片在水平或垂直方向進(jìn)行一維或二維的光疊加或物理位置疊加,進(jìn)一步提高輸出功率,如采用微通道封裝的激光線陣在垂直方向物理疊加成疊陣,可輸出上千瓦功率,但也導(dǎo)致其整體光束質(zhì)量惡化。在提升功率時,如何獲得高光束質(zhì)量半導(dǎo)體激光成為關(guān)鍵。激光合束是實(shí)現(xiàn)大功率、高光束質(zhì)量半導(dǎo)體激光的有效技術(shù)途徑之一,它通過幾何或物理光學(xué)手段,將多個單元光束合成一束激光。根據(jù)合束激光單元的相干性,分為相干合束和非相干合束。相干合束要求精確控制合束單元的光譜、相位等特性,技術(shù)較復(fù)雜,且相干合束半導(dǎo)體激光源的性能優(yōu)勢并不明顯,當(dāng)前未實(shí)用化。非相干合束無需考慮單元之間的相干性,技術(shù)相對簡單,是當(dāng)前實(shí)用化大功率半導(dǎo)體激光合束光源的主要實(shí)現(xiàn)方式。非相干合束可分為傳統(tǒng)合束技術(shù)、密集波長合束和光譜合束。下面對非相干合束技術(shù)進(jìn)展進(jìn)行概述。

2.2.1 TBC技術(shù)

常規(guī)合束技術(shù)基于標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體激光芯片,在合束過程中,不影響激光單元腔內(nèi)諧振,僅通過外部光學(xué)元件對激光芯片輸出光束進(jìn)行整形、空間合束、偏振合束和波長合束來提升整體功率、改善整體光束質(zhì)量,是 當(dāng) 前 實(shí) 現(xiàn) 大 功 率 半 導(dǎo) 體 激 光 源 的 主 要方式。

其中,空間合束是利用折射或反射,將多束光在空間上進(jìn)行一維或二維堆疊,增加功率的同時光束質(zhì)量變差;偏振合束利用半導(dǎo)體激光的線偏振特性,將振動方向相互垂直的兩束線偏振光通過偏振合束元件,其中 P偏振光透射、S偏振光 反 射,光 場 實(shí) 現(xiàn)近場和遠(yuǎn)場重疊,功率提升近2倍的同時光束質(zhì)量不變;波長合束是利用激光波長特性,通過波長合束元件,其中波長λ1的光透過(反射),波長λ2光反 射(透過),兩束光實(shí)現(xiàn)近場和遠(yuǎn)場重疊,功率提升的同時光束質(zhì)量不變,通過采用不同的波長合束元件,可以實(shí)現(xiàn)多束不同波長(λ1,λ2,…,λn)的激光合束,考慮到半導(dǎo)體激光器自身譜寬、光譜受溫度及電流影響等因素,常規(guī)波長合束的相鄰波長間隔一般不低于25nm。

根據(jù)不同封裝形式,基于常規(guī)合束技術(shù),目前已發(fā)展出激光單管合束光源、線陣合束光源和疊陣合束光源,實(shí)現(xiàn)了幾十瓦至數(shù)萬瓦級的直接輸出或光纖耦合輸出,應(yīng)用在光纖激光泵浦、激光加工等方面。

單管合束光源直接采用激光單管進(jìn)行合束,由于熱源相對分散,熱流密度相對低,相同熱功率影響下可以采用更高電流驅(qū)動,激光單元可輸出超過十瓦的功率及1 MW/(cm2·sr)量級的 亮 度,合 束 后可從芯徑100~200μm 光 纖中輸出幾十瓦至千瓦的單波長激光,光束質(zhì)量為6~20mm·mrad,具有亮度高、成本低及可靠性好等優(yōu)點(diǎn),應(yīng)用在光纖激光泵浦、激光醫(yī)療、激光照明等領(lǐng)域。尤其是在光纖激光器泵浦需求牽引下,單管合束光源的性能出現(xiàn)了快速提升,而成本也大幅度下降。美國nLight報(bào)道采用多個大功率、高光束質(zhì)量的975nm 激光單管,通過空 間 及 偏 振 合 束 后 進(jìn) 行 光 纖 耦 合,實(shí) 現(xiàn) 芯 徑105μm 的光纖連續(xù)輸出功率363 W,芯徑220μm 的光纖連續(xù)輸出功率1000W,可以用于光纖激光器的泵浦[57]。北京凱普林光電科技有限公司采用156個波長被體布拉格光柵(VBG)鎖定至975.5nm 的 激光 單 管,通 過 空 間 疊 加 和 偏 振 合 束,使 得 芯 徑200μm、數(shù)值孔徑0.22的光纖實(shí)現(xiàn)輸出1037 W 的 穩(wěn)波 長、窄 線 寬 激 光[58],以 增 加 光 纖 激 光 器 泵 浦效率。

線陣合束光源多采用光束質(zhì)量相對較好的迷你線陣(5~10個激光單元)或者填充因子較低的厘米線陣(填充因子<20%),單線陣功率為40~80 W, 合束后功率一般在幾百瓦至數(shù)千瓦,耦合光纖芯徑為200~600μm,光束質(zhì)量為20~60mm·mrad, 主要應(yīng)用在激光焊接等工業(yè)加工領(lǐng)域。由于單管合束光源性能的快速提升,通過多個單管合束光源的組合,已經(jīng)能夠達(dá)到線陣合束光源的性能指標(biāo),考慮到單管合束光源的成本及可靠性等因素,線陣合束光源已有被單管合束光源取代的趨勢。

疊陣合束光源 采 用 微 通 道 封 裝 的 激 光 線 陣 合束,借助微通道熱沉的高效散熱能力以及激光芯片多為高 填 充 因 子 結(jié) 構(gòu),單 層 微 通 道 線 陣 輸 出 功率可達(dá)數(shù) 百 瓦,多層線陣垂直疊加后可輸出數(shù)千瓦至萬瓦 級 功 率,通過波長合束可以將功率提升到更高水平。德國 Laserline研發(fā) 出 系 列 大 功 率 光纖耦 合 產(chǎn) 品,連 續(xù) 輸 出 功 率 從 1.5kW(芯 徑 400μm、數(shù)值孔徑0.1)到45kW(芯徑2000μm、數(shù)值孔徑0.2)[59]。目 前,疊陣合束光源多用于激光熔覆、表面硬化等對 激 光 功 率 要 求 高、光 束 質(zhì) 量 要 求低的工業(yè)加工方面。

2.2.2 DWDM 技術(shù)

相對于常規(guī)合束相鄰波長間隔不低于 25nm而言,密集波長合束可將波長間隔縮小至納米量級,在不改變光束質(zhì)量條件下,數(shù)倍增加激光單元數(shù)量,可以提高合束光源功率和亮度。

密集波長合束關(guān)鍵器件:1)中心波長穩(wěn)定的窄線寬激光單元,可以通過直接在芯片刻蝕光柵或者通過 VBG 外腔反饋調(diào)制光譜實(shí)現(xiàn);2)波 長 間 隔 較小的合束元件,如高波長陡度的二向分色元件、合束VBG 等。

德國弗勞恩霍夫激光技術(shù)(ILT)研究所采用內(nèi)置光柵方式,直接在集成5個激光單元的迷你線陣上刻蝕不同周期光柵,5個激光單元輸出中心波 長間隔為2.5nm 的5束不 同 波 長 激 光[60],再采 用4個二向分色鏡合束,最終耦合進(jìn)35μm 光纖[61]。該 方法實(shí)現(xiàn)的窄線寬單元結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,但是芯片光柵工藝要求非常高,一旦某個單元的光譜和位置關(guān)系出現(xiàn)偏差,則合束效率急劇降低。

VBG 外腔反饋是當(dāng)前實(shí)現(xiàn)窄線寬激光輸出的主要方式,所采用的半導(dǎo)體激光芯片前腔面鍍增透膜,其后 腔 面 與 VBG 構(gòu)成 諧 振 腔,利 用 VBG 衍射光 作 為 種 子 光 調(diào) 控 起 振 光 譜,可實(shí)現(xiàn)譜寬窄至0.1nm、溫度漂移0.01nm/℃的激光輸出?;谠摷夹g(shù),德國 DILAS公司從芯徑100μm、數(shù)值孔徑0. 2的光纖中輸出功率達(dá)410 W[62]。德國ILT 研究所從芯徑100μm、數(shù)值孔徑0.17的光纖 中 輸 出 功 率超過800 W[63];該研究所也以 VBG 作為合束元件,通過精密溫控和角度調(diào)節(jié)4片 VBG,實(shí)現(xiàn)5個中心波 長 間 隔 1.5 nm 的 激 光 合 束[64]。德 國 DirectPhotonicsIndustries 公 司也推出了功率為500~2000 W、光束 質(zhì) 量 為 5 mmmrad、芯徑 為100μm 的光纖 耦 合 半 導(dǎo) 體 激 光 源 產(chǎn) 品[65],應(yīng)用 在金 屬 切 割 領(lǐng) 域。密 集 光 譜 合 束 技 術(shù) 將 芯 徑 為100μm光纖耦合半導(dǎo)體激光源的輸出功率提升到千瓦量級,相對于常規(guī)合束光源,功率和亮度提升了近1個數(shù)量級。

2.2.3 SBC技術(shù)

相對于前面兩種采用多個合束元件實(shí)現(xiàn)多波長激光合束而言,光譜合束技術(shù)僅利用單個色散元件即可實(shí)現(xiàn)多束波長間隔低至0.1nm 的激光合束,進(jìn)一步提高了合束單元的數(shù)量,在相同光束質(zhì)量下,增加了合束功率和亮度。

目前采用的光譜合束結(jié)構(gòu)基本構(gòu)架由美國麻省理工學(xué)院于2000年最先報(bào)道,他們對推動該技術(shù)的發(fā)展做了很多工作[66-68]。該合束基本結(jié)構(gòu)由前腔面增透的半導(dǎo)體激光芯片、變換透鏡、光柵和外腔鏡構(gòu)成,激光芯片輸出的單元光束經(jīng)變換透鏡作用到光柵同一位置,然后經(jīng)光柵和外腔鏡的共同作用,部分光沿原路返回形成種子光,輔助腔內(nèi)諧振,部分光直接輸出。返回的種子光的起振波長嚴(yán)格滿足光柵方程,由于各子光束的光柵入射角不同而衍射角相同,使得各激光單元起振在不同的波長,經(jīng)過外腔鏡輸出的激光在近場和遠(yuǎn)場均重合,因此實(shí)現(xiàn)合束功率為所有單元之和、合束光束質(zhì)量與單個激光單元一致的激光 輸 出。經(jīng) 過 技 術(shù) 轉(zhuǎn) 化,美 國 Teradiode公 司推出了功率為1kW(芯徑為50μm)、2~12kW(芯徑為100μm)光纖 輸 出 系 列 產(chǎn) 品[69],并報(bào) 道 了功 率 為 360 W、2 倍 衍 射 極 限[70]、亮 度 達(dá) 到10GW/(cm2·sr)的半導(dǎo)體激光源,直接將大功率半導(dǎo)體激光的亮度提高2個數(shù)量級,為大功率、高亮度半導(dǎo)體激光器的發(fā)展指明新方向。

表1為12kW 連續(xù)輸出功率下,基于光譜合束的半導(dǎo)體激光器與其他商用激光器的亮度對比,可以看出,半導(dǎo) 體 激 光 器 超 過 了 CO2激光 器、達(dá) 到 了Disk 激 光 器 的 水 平。同 時 光 譜 合 束 也 將 芯 徑100μm光纖耦合 半 導(dǎo) 體 激 光 源 的 功 率 提 升 到 萬 瓦量級,相對于常規(guī)合束技術(shù),其功率和亮度提升了近2個數(shù)量級。

德國 Trumpf提出一種將窄帶濾光片用于外腔反饋波長鎖 定 結(jié) 構(gòu)[71],通過 鍍 膜,使窄帶濾光片具有角度-波長篩選特性,只有同時滿足入射角和波長條件的光才能透過濾光片,這使得激光芯片上不同位置的激光單元起振在不同的波長,實(shí)現(xiàn)了波長調(diào)制。利用該技術(shù),進(jìn)一步結(jié)合光柵 技 術(shù),在200μm 芯徑的光纖中實(shí)現(xiàn)輸出功率超過5kW[72]。

激光合束技術(shù)除了應(yīng)用在上述近紅外波段外,在可見光、中紅外波段也實(shí)現(xiàn)了廣泛應(yīng)用。受激光顯示、汽車大燈及銅、金等金屬加工等應(yīng)用的驅(qū)動,基于 GaN 基的藍(lán)光激光器在近幾年出現(xiàn)了井 噴 式的 發(fā) 展。日 本 Nichia[73]、德 國 OSRAM[74]、日 本 Panasonic[75]等公司相繼推出了 大 功 率 的 藍(lán) 光 激 光器芯片。據(jù) Nichia報(bào)道,條寬45μm、腔長1.2mm的藍(lán)光單管半導(dǎo)體激光器的連續(xù)功率超過6 W,在3A 電流驅(qū)動 下,5.67 W 功率 輸 出 時,電 光 轉(zhuǎn) 換 效率達(dá)到48%以上[76]。德國 OSRAM 研制的激光線陣輸出功率達(dá)到107W[77],并研制出可滿足-40℃~+120 ℃工作 溫 度 的 藍(lán) 光 激 光 器[78]?;?藍(lán) 光芯片,采用與近紅外波段相似的合束技術(shù),德 國Laserline[79]、美國Coherent[80]和美國 NUBURU[81] 等公司相繼報(bào)道了千瓦級的藍(lán)光激光器,用于銅的焊接、三維打印等。其中,美國 NUBURU 報(bào)道芯徑100μm 光纖輸出藍(lán)激光功率高達(dá)1.5kW。意大利Riva等[82]采用波長間隔4nm 的3種藍(lán)光模塊通過密集波長合束,從芯徑50μm 光纖中實(shí)現(xiàn)輸出功率超過100 W。美國 Teradiode公司利用光譜合束技術(shù),實(shí) 現(xiàn) 了 功 率 為 180 W,光 束 質(zhì) 量 僅 為1.26mm·mrad×1.31mm·mrad的藍(lán)激光[83],對 應(yīng)的亮度達(dá)到1.1GW/(cm2·sr),也是當(dāng)前報(bào)道的最高亮度的藍(lán)光激光器。

3 結(jié)束語

本文針對大功率半導(dǎo)體激光的常用技術(shù)進(jìn)行了總結(jié)介紹,主要包括邊大功率發(fā)射半導(dǎo)體激光芯片和大功率半導(dǎo)體激光合束技術(shù)。大功率半導(dǎo)體激光器的應(yīng)用范圍幾乎涵蓋了所有光電子領(lǐng)域。進(jìn)一步發(fā)展大功率半導(dǎo)體激光技術(shù)對于推動我國光電子領(lǐng)域?qū)W科發(fā)展、推動我國激光產(chǎn)業(yè)發(fā)展、推動國民經(jīng)濟(jì)升級轉(zhuǎn)型,有著重要科研、經(jīng)濟(jì)以及戰(zhàn)略意義。

隨著各行各業(yè)對激光光源需求的發(fā)展,半導(dǎo)體激光器對大功率的需求是永無止境的。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域的不同,大功率也不再是唯一的指標(biāo)。對于工業(yè)加工而言,除了進(jìn)一步提升輸出功率以外,還需要對光束質(zhì)量和亮度進(jìn)行進(jìn)一步優(yōu)化;針對不同的材料進(jìn)行加工時,還需要考慮吸收波段,采用不同波長的激光器進(jìn)行合束,這就需要對不同襯底材料體系的大功率激光進(jìn)行研發(fā);為了進(jìn)一步提升合束功率,還要進(jìn)一步增加合束的光譜密度,研究新的合束技術(shù);針對泵浦單模光纖放大器或者通過耦合單模光纖輸出的應(yīng)用領(lǐng)域,保持單模特性,以方便單模光纖耦合為首要目標(biāo),在此基礎(chǔ)上盡可能提升輸出功率;在泵浦原子鐘、泵浦激光陀螺、泵浦堿金屬激光器、分離激光同位素、氣體監(jiān)測、光纖通信、衛(wèi)星激光通信等領(lǐng)域,需要在維持單波長或窄線寬的情況下盡可能提升輸出功率;對泵浦光纖激光器、固體激光器等在一定吸收波段具有高吸收效率的應(yīng)用場景而言,需要盡可能提升有用波段的功率,從而提高泵浦效率,降低廢熱,有必要在提高輸出功率的基礎(chǔ)上進(jìn)行輸出光譜的調(diào)整和適當(dāng)?shù)膬?yōu)化。

因此,大功率半導(dǎo)體激光器根據(jù)行業(yè)需求將變得精細(xì)化、多樣化。針對不同行業(yè)的應(yīng)用進(jìn)行定制化生產(chǎn) 的 大 功 率 半 導(dǎo) 體 激 光 器,將 是 未 來 的 發(fā) 展方向。


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