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據(jù)日經(jīng)中文網(wǎng)，日本公司Gigaphoton將投資50億日元在日本建設(shè)新廠房，生產(chǎn)DUV（深紫外）光刻機(jī)的核心設(shè)備光源，目前工廠建設(shè)正在進(jìn)行中。

Gigaphoton公司是日本最大工程機(jī)械企業(yè)小松的子公司，其在光刻機(jī)光源設(shè)備中占據(jù)高達(dá)50%的市場(chǎng)份額，多年來(lái)一直向ASML供貨。該公司由于掌握DUV光源這一先進(jìn)技術(shù)，營(yíng)業(yè)利潤(rùn)率約20%，甚至超過(guò)了母公司小松，目前公司估值達(dá)到3000億日元。

據(jù)悉，如果Gigaphoton的新廠房在2023年內(nèi)竣工，那么該公司的產(chǎn)能將提高至2020年財(cái)年的將近2倍，進(jìn)一步擴(kuò)大對(duì)荷蘭ASML的供貨。目前ASML獨(dú)占EUV極紫外光刻機(jī)市場(chǎng)，但Gigaphoton認(rèn)為DUV深紫外光刻機(jī)產(chǎn)品仍有增長(zhǎng)空間，后者常用于7nm以上制程工藝。

Gigaphoton公司營(yíng)業(yè)收入在2022財(cái)年為585億日元，在DUV光源領(lǐng)域，該公司與ASML旗下的美國(guó)公司Cymer平分市場(chǎng)。Gigaphoton計(jì)劃到2030年，獲得DUV光源60%的市場(chǎng)份額，營(yíng)業(yè)收入達(dá)到1000億日元，營(yíng)業(yè)利潤(rùn)率25%。