據(jù)科技新報(bào)報(bào)道,臺(tái)積電供應(yīng)商之一的極光先進(jìn)激光股份有限公司,8月15日上午11時(shí)傳出氟氣鋼瓶泄露事件。氟氣是3級(jí)管制有毒氣體,整個(gè)廠區(qū)立刻疏散,300多人撤離。
報(bào)道稱,消防局收到消息后派人員處理,確認(rèn)極光先進(jìn)激光公司發(fā)生總量6540克的鋼瓶氟氣外泄事件,由于氟氣有毒,消防局立即協(xié)助廠區(qū)疏散清空,并進(jìn)行止閥冷卻。
消防局表示,進(jìn)一步處理之后,氣體泄露事件已經(jīng)解決。在廠內(nèi)泄露的氣體偵測(cè)值已降為0,并且消防人員目前確認(rèn)閥體、鋼瓶沒有其他泄漏狀況,公司員工也沒有人員受困或傷亡的情況。
至于鋼瓶氟氣泄露原因,需進(jìn)一步調(diào)查。
公開資料顯示,極光先進(jìn)提供作為半導(dǎo)體曝光設(shè)備用的激光,為世界上生產(chǎn)曝光用Excimer激光制造大廠之一,產(chǎn)品覆蓋亞洲市場(chǎng)如中國(guó)、日本、韓國(guó)等大部分的半導(dǎo)體制造廠,在歐美市場(chǎng)使用率較高。
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