隨著工業(yè)智能化趨勢、精密化加工趨勢,精密3C產(chǎn)業(yè)、機(jī)械設(shè)備、新能源汽車等行業(yè)領(lǐng)域?qū)す饩芗庸さ男枨笱该桶l(fā)展,使得激光加工技術(shù)在工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用得到更全面的推廣。
由于光學(xué)和掃描儀之間固有的非線性特性,使得振鏡在掃描過程中存在著圖形失真,作為“工業(yè)激光3D動態(tài)聚焦系統(tǒng)領(lǐng)跑者”,F(xiàn)EELTEK設(shè)計(jì)了一套全新的在線補(bǔ)償算法來消除光學(xué)畸變等問題。
高精度激光聯(lián)動平臺
振鏡平臺聯(lián)動
本方案整合了振鏡的高加速優(yōu)勢和平臺的尺寸拓展的方向進(jìn)行研發(fā)。將2D振鏡(G-X,G-Y)以及使用直線電機(jī)的XY平臺(Stage-X,Stage-Y)混合進(jìn)同一坐標(biāo)系,進(jìn)行聯(lián)動控制。變相的將基于2D振鏡的精細(xì)微加工區(qū)進(jìn)行拓展,同時優(yōu)化急轉(zhuǎn)角或小特征的能量堆積現(xiàn)象,減少或消除同一位置的二次加工造成的疤痕或誤差,使加工效率提升、節(jié)拍縮短、良品率突破性地提升。
聯(lián)動算法優(yōu)化
振鏡移動速度快,平臺移動范圍廣,鏡臺聯(lián)動時動作被分解到振鏡+平臺的運(yùn)動,需要節(jié)拍最快精度+速度二者兼顧。采用分頻控制算法,又稱運(yùn)動矢量分解,使振鏡發(fā)揮最大的作用,分擔(dān)平臺的工作,使平臺工作量減到最?。煌瑫r優(yōu)化算法使振鏡能夠在恰當(dāng)?shù)牡胤桨l(fā)揮作用。
PWM控制
通過控制器產(chǎn)生PWM脈沖,經(jīng)過伺服放大器后,之際額踴躍Motor的電流環(huán)控制。同時光柵尺信號直接反饋到控制器,進(jìn)而構(gòu)成全閉環(huán)的控制。獲取到更高的控制權(quán)和實(shí)時性,縮短控制周期。
應(yīng)用領(lǐng)域(該方案可適用于但不限于以下應(yīng)用領(lǐng)域)
面板行業(yè)的大尺寸PI薄膜切割、面板切割、PCB制版及鉆孔,精密模具的表面紋理加工、蝕刻模板的精細(xì)劃線等。
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當(dāng)激光從一種工具變成一種創(chuàng)新工具,有工藝內(nèi)涵的動態(tài)聚焦系統(tǒng)位居功臣之列,專業(yè)開發(fā)動態(tài)聚焦系統(tǒng)的團(tuán)隊(duì)和企業(yè)被賦予了更多的期待。菲鐳泰克立足以工業(yè)激光3D動態(tài)聚焦系統(tǒng)領(lǐng)跑者為戰(zhàn)略,深耕動態(tài)聚焦系統(tǒng)的應(yīng)用工藝,先后推出基于激光器輸出光束的前聚焦動態(tài)聚焦系統(tǒng)、后聚焦的動態(tài)聚焦系統(tǒng)以及可靈活定制的動態(tài)聚焦單元DFM(Dynamic Focus Module)。
未來,菲鐳泰克將持續(xù)加強(qiáng)與裝備集成商的協(xié)作,為實(shí)現(xiàn)加工工藝的完整落地和關(guān)鍵指標(biāo)的工藝驗(yàn)證付諸更多的行動,為更多行業(yè)集成商提供完善的閉環(huán)裝備工藝方案。
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