短波長(zhǎng)（<300nm）、短脈寬（<1ps）激光在與物質(zhì)作用過(guò)程中，以其很小的熱影響作用特性，成為精密激光加工、極端科學(xué)研究的先進(jìn)工具，例如在有機(jī)材料冷剝蝕、超快光譜學(xué)研究、極紫外光源產(chǎn)生、光參量放大器泵浦等領(lǐng)域有著廣泛的用途。
不同于常見(jiàn)的355nm皮秒、納秒紫外激光器，從1030nm紅外激光的四次諧波轉(zhuǎn)換而來(lái)的257nm深紫外飛秒激光，具備更高的空間分辨率和時(shí)間分辨率潛質(zhì)，能夠推動(dòng)物質(zhì)結(jié)構(gòu)深層次研究和特種微納材料制造，但其產(chǎn)生過(guò)程存在著諧波轉(zhuǎn)換效率低、非線(xiàn)性晶體和鍍膜易損傷等難題，一定程度制約了這種深紫外激光功率的提升和推廣應(yīng)用。
奧創(chuàng)光子在前一代10W平均功率257nm波長(zhǎng)飛秒激光器的產(chǎn)品基礎(chǔ)之上，通過(guò)一系列技術(shù)手段，將平均功率提升到了15W，并且顯著改善了激光光束質(zhì)量，為高精度絕熱激光微加工升級(jí)了光源。基頻光光源來(lái)自?shī)W創(chuàng)型號(hào)為OR-200-IR的激光器，中心波長(zhǎng)1030nm，輸出功率≥200W，重頻800KHz，單脈沖能量≥250μJ，脈寬約600fs，可用激光器內(nèi)置的AOM控制入射到諧波發(fā)生器的基頻光功率。考慮到峰值功率較高，為了避免晶體損傷并增加后續(xù)光學(xué)元件的使用壽命，用擴(kuò)束系統(tǒng)將紅外光斑直徑擴(kuò)大至3mm(1/e^2)。SHG晶體選用尺寸為12×12×5mm3的LBO非線(xiàn)性晶體，通光面為12×12mm2，足夠接收擴(kuò)束后的基頻光束，并鍍1030nm和515nm的增透膜；該LBO晶體切割角θ=90°，φ=0°，為非臨界相位匹配，通過(guò)嚴(yán)格控溫約195℃來(lái)滿(mǎn)足相位匹配條件。選擇LBO的原因是在眾多SHG晶體中其具有最高的損傷閾值，非臨界相位匹配避免了空間走離現(xiàn)象，非線(xiàn)性轉(zhuǎn)換效率通常更高，適用于飛秒激光的諧波轉(zhuǎn)換。
圖1. 基頻紅外光源的基本指標(biāo)測(cè)量
（光譜，脈寬，功率穩(wěn)定性）在上述的光路布局下，照射到LBO晶體的最大基頻光峰值功率密度達(dá)6GW/c㎡，有效產(chǎn)生了諧波轉(zhuǎn)換。經(jīng)過(guò)多次微調(diào)LBO加熱爐的溫控來(lái)優(yōu)化倍頻效率，在最大注入基頻光時(shí)，二倍頻光經(jīng)過(guò)兩片515nmHR/1030nmAR鍍膜的雙色鏡，從殘余的基頻光中分離出來(lái)后進(jìn)入后續(xù)的高次諧波發(fā)生系統(tǒng)，最高綠光功率達(dá)到85.10W。測(cè)量得到的綠光光束質(zhì)量和光斑形貌見(jiàn)圖2，顯然二次諧波過(guò)程并未對(duì)二倍頻光束造成空間分布的影響，這就保障了后續(xù)四倍頻具有良好的注入光光束質(zhì)量，利于提升四倍頻效率并減小光束質(zhì)量的劣化。
圖2. 二倍頻綠光光束質(zhì)量及光斑測(cè)量
在工程實(shí)踐中，我們的二倍頻模塊對(duì)倍頻效率和中低功率的相位匹配條件做了保留，重點(diǎn)關(guān)注高功率注入下的綠光性能，這也符合后面四倍頻模塊有效諧波轉(zhuǎn)換的要求。處于系統(tǒng)穩(wěn)定性的考慮，對(duì)二倍頻激光功率穩(wěn)定性做了長(zhǎng)時(shí)間的監(jiān)測(cè)，從實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)看，其功率穩(wěn)定性?xún)?yōu)于0.22%，8小時(shí)連續(xù)測(cè)量功率平均值84.6W（圖3）。
圖3. 二倍頻激光功率穩(wěn)定性測(cè)量
在四次諧波發(fā)生（FHG）模塊中，除了兼顧諧波轉(zhuǎn)換的相位匹配條件，工程化方面重點(diǎn)解決四倍頻晶體的有效散熱，緩解倍頻晶體內(nèi)部的熱透鏡效應(yīng)。FHG晶體選用尺寸為10x10x0.4mm3的BBO，10×10m㎡的兩通光面鍍515nm和257nm的增透膜，切割角θ=50°，φ=0°，為一類(lèi)相位匹配，無(wú)需加熱，控制在常溫300K即可。選擇BBO的原因是在眾多FHG晶體中CLBO和BBO具有更高的轉(zhuǎn)換效率，盡管CLBO比BBO有更大的可接受帶寬和更小的空間走離，但其易潮解，不是工程應(yīng)用領(lǐng)域的最佳選項(xiàng)。考慮到高峰值功率的深紫外激光在倍頻晶體中存在雙光子吸收(TPA)和自相位調(diào)制等非線(xiàn)性效應(yīng)，因而限制了晶體長(zhǎng)度，對(duì)于飛秒脈沖宜使用<1mm厚度的BBO晶體。如此薄的倍頻晶體在高功率基頻光輸入和有效的深紫外激光轉(zhuǎn)換下，晶體的線(xiàn)性和非線(xiàn)性吸收依然會(huì)引起晶體內(nèi)部升溫，造成的熱透鏡效應(yīng)直接影響深紫外激光光束質(zhì)量。為了有效散熱，我們?cè)趯?duì)BBO晶體的工程化封裝中采取了夾層設(shè)計(jì)，使BBO晶體緊密貼在同樣薄片狀的兩片鈦寶石玻璃之間；鈦寶石玻璃的熱導(dǎo)率比BBO晶體高近乎兩個(gè)數(shù)量級(jí)，能夠有效傳導(dǎo)散熱，給BBO晶體降溫。BBO前放置一半波片(λ/2@515nm)用來(lái)調(diào)整綠光的偏振態(tài)，BBO及鈦寶石玻璃夾層結(jié)構(gòu)放置于一個(gè)可以精細(xì)調(diào)節(jié)傾角的裝置中，最后用兩片257nmHR/515nmAR鍍膜的雙色鏡將257nm的深紫外激光導(dǎo)出（圖4）。
圖4. 四倍頻光路圖
對(duì)于由綠光倍頻產(chǎn)生257nm的BBO晶體，走離角
，深紫外波長(zhǎng)CDG=464.7（fs2/mm）的群延遲色散，有效非線(xiàn)性系數(shù)deff=1.7pm/V；由于選用了0.4mm長(zhǎng)的晶體，晶體角容差=4.5mrad，可接受溫度范圍=136.75k，可接受角度=9mard，可接受光譜帶寬=3963.5GHz。實(shí)際調(diào)試過(guò)程中，F(xiàn)HG的效率會(huì)隨著注入515nm激光的功率而變化，因而在逐漸增加515nm激光強(qiáng)度的同時(shí)，適時(shí)對(duì)BBO晶體的受光角度進(jìn)行微調(diào)，直至在最大綠光注入功率下保持可接受的紫外倍頻效率。產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)并不以追求極致的單一技術(shù)指標(biāo)為重點(diǎn)，而是強(qiáng)調(diào)激光器的整體性能指標(biāo)；所以在微調(diào)BBO晶體角度來(lái)優(yōu)化相位匹配程度的同時(shí)，檢測(cè)了深紫外激光束的遠(yuǎn)場(chǎng)光斑分布，選取合適的受光角度來(lái)平衡倍頻效率和光束質(zhì)量的要求。直接輸出的深紫外激光遠(yuǎn)場(chǎng)光斑如（圖5a），光斑圓度74%，此時(shí)倍頻效率（綠光-深紫外）17.7%；而后采取了柱透鏡整形的措施，將遠(yuǎn)場(chǎng)光斑圓度提升至87%（圖5b）。測(cè)得的257nm深紫外激光平均功率14.9W，6小時(shí)功率穩(wěn)定性見(jiàn)圖6。
圖5. 四倍頻產(chǎn)生的深紫外激光遠(yuǎn)場(chǎng)光斑：a.光束整形前; b. 光束整形后
圖6. 四倍頻深紫外激光功率穩(wěn)定性測(cè)量
功率的緩慢衰減通過(guò)微調(diào)BBO晶體角度亦可恢復(fù)，這是由于晶體和鈦寶石玻璃的溫度場(chǎng)起伏造成的相位匹配偏移，而非倍頻晶體的損傷引起。后續(xù)通過(guò)改善倍頻晶體及其夾層結(jié)構(gòu)的水冷模塊設(shè)計(jì)，輔以改進(jìn)溫控程序算法，預(yù)期可保持更好的功率穩(wěn)定性。奧創(chuàng)光子升級(jí)的這款高平均功率深紫外飛秒激光器FLASH-DUV，平均功率近15W，單脈沖能量18.7μJ，估算峰值功率62MW?？蓾M(mǎn)足激光光譜學(xué)、生物光子學(xué)等物質(zhì)檢測(cè)和生物大分子檢測(cè)應(yīng)用中對(duì)短波超短脈沖激發(fā)光源的要求。
奧創(chuàng)光子技術(shù)有限公司是一家專(zhuān)業(yè)從事工業(yè)級(jí)飛秒激光器及其核心器件研發(fā)、生產(chǎn)與應(yīng)用的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)?？偛孔溆谡憬『贾菔校壳皳碛屑s10000平方米光學(xué)潔凈室和辦公區(qū)。公司創(chuàng)始核心團(tuán)隊(duì)由中科院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室核心隊(duì)伍及海歸超快激光器工程化專(zhuān)家共同組成，其中包括國(guó)家萬(wàn)人計(jì)劃專(zhuān)家、國(guó)際知名超快激光器企業(yè)首席設(shè)計(jì)師等，是目前國(guó)內(nèi)超快激光領(lǐng)域的先行者和引領(lǐng)者。
自2018年創(chuàng)立以來(lái)，公司已申請(qǐng)150余項(xiàng)專(zhuān)利，已擁有核心技術(shù)包括NALM全光纖長(zhǎng)壽命鎖模種子源量產(chǎn)工藝、高階色散可調(diào)控CFBG制作工藝、拋物脈沖高保真光纖CPA技術(shù)、高增益innoslab放大器封裝工藝及技術(shù)等，結(jié)合100%自主設(shè)計(jì)的超快種子源、溫度調(diào)諧式啁啾光纖光柵等核心器件，已成功推出千瓦級(jí)、毫焦級(jí)、超短脈寬等系列化飛秒激光器產(chǎn)品，并在國(guó)內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)工業(yè)領(lǐng)域批量出貨，年量產(chǎn)出貨超過(guò)500臺(tái)，打破了該領(lǐng)域被國(guó)外產(chǎn)品長(zhǎng)期壟斷的局面。
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