距離正式落戶江陰不到半年時(shí)間,位于霞客灣創(chuàng)智園的江蘇通用半導(dǎo)體有限公司就迎來了技術(shù)新突破——自研設(shè)備8英寸碳化硅晶錠激光剝離設(shè)備正式交付碳化硅襯底生產(chǎn)頭部企業(yè)廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司,并投入生產(chǎn)?!芭c傳統(tǒng)的線切割工藝相比,大幅降低了產(chǎn)品損耗,而設(shè)備售價(jià)僅僅是國(guó)外同類產(chǎn)品的三分之一,屬于國(guó)內(nèi)首套?!倍麻L(zhǎng)陶為銀介紹。
??以激光為“刀”,向內(nèi)“刻”出新質(zhì)生產(chǎn)力。通用半導(dǎo)體的發(fā)展歷程由一場(chǎng)又一場(chǎng)激光微納加工領(lǐng)域的技術(shù)升維戰(zhàn)串聯(lián)而成:2020年,企業(yè)研發(fā)出國(guó)內(nèi)首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形切割機(jī);2022年,成功推出國(guó)內(nèi)首臺(tái)18納米及以下SDBG激光隱切設(shè)備;2023年,成功研發(fā)國(guó)內(nèi)首臺(tái)8英寸全自動(dòng)SiC晶錠激光剝離產(chǎn)線;2024年,研制成功SDTT激光隱切設(shè)備……
??“這個(gè)就是射頻芯片,切割要求是在6微米以內(nèi),相當(dāng)于人類頭發(fā)絲的二十分之一?!痹谡箯d內(nèi),陶為銀亮出了利用企業(yè)最新技術(shù)切割出的產(chǎn)品,并用手機(jī)放大后細(xì)細(xì)介紹,“傳統(tǒng)砂輪切割的‘刀’是砂輪,最薄也只能做到40微米,激光切割的‘刀’是光斑,通用可以做到0.5微米,完全可以輕松駕馭6微米以內(nèi)的精度要求?!蹦壳?,江蘇通用的激光隱形切割設(shè)備已獲發(fā)明專利56件,實(shí)用新型專利226件。
??碳化硅功率器件因其獨(dú)特的性能成為大功率半導(dǎo)體市場(chǎng)的“香餑餑”。然而,由于其硬度高、脆性高,使用傳統(tǒng)線切工藝切割、剝離碳化硅晶錠時(shí),效率過低、損耗過高,導(dǎo)致襯底產(chǎn)能嚴(yán)重不足,生產(chǎn)成本居高不下。陶為銀介紹,早在一年多前,企業(yè)就把目光投向該領(lǐng)域,終于在今年7月,利用自主研發(fā)的碳化硅晶錠激光剝離設(shè)備,成功剝離出厚度僅為130微米的超薄碳化硅晶圓片。
??向技術(shù)工藝高峰不斷攀登讓江蘇通用向“新”而行?!芭c線切一片需要2個(gè)多小時(shí)相比,我們的速度和良品率有了飛躍,極大地降低碳化硅襯底的生產(chǎn)成本?!钡諡殂y并未止步于此,而是在設(shè)備的自動(dòng)化上下功夫,碳化硅晶錠激光剝離設(shè)備實(shí)現(xiàn)了6英寸和8英寸晶錠的全自動(dòng)分片,“晶錠上料、晶錠研磨、激光切割、晶片分離和晶片收集都由機(jī)器完成,去年我們剝離一片是30分鐘,今年是20分鐘?!?/p>
??隨著一個(gè)接一個(gè)自研新設(shè)備陸續(xù)推向市場(chǎng),通用半導(dǎo)體到明年的訂單都已飽和?!翱偛堪岬浇幒?,占比近40%的研發(fā)人員也轉(zhuǎn)戰(zhàn)江陰。”陶為銀介紹,創(chuàng)智園內(nèi)的全部產(chǎn)線投入生產(chǎn)并把設(shè)備推向市場(chǎng)后,預(yù)計(jì)每年可剝離碳化硅襯底2萬片。就在距離園區(qū)數(shù)百米處,一片50畝熟地已準(zhǔn)備就緒。陶為銀透露,通用半導(dǎo)體將進(jìn)一步加快產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。(唐蕓蕓)
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