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鍍膜

電漿技術(shù)在表面技術(shù)上的應(yīng)用有那些

星之球激光 來源:光電社區(qū)2011-08-06 我要評(píng)論(0 )   

(1)濺漿沉積:濺鍍是利用高速的離子撞擊固體靶材,使表面分子濺離并射到基材鍍成一層薄膜,濺射 離子的起始動(dòng)能約在100eV。常用的電漿氣體為氬氣,質(zhì)量適當(dāng)而且沒有化學(xué)...

(1)濺漿沉積:濺鍍是利用高速的離子撞擊固體靶材,使表面分子濺離并射到基材鍍成一層薄膜,濺射
離子的起始動(dòng)能約在100eV。常用的電漿氣體為氬氣,質(zhì)量適當(dāng)而且沒有化學(xué)反應(yīng)。


(2)電漿輔助化沉積:氣相化學(xué)沉積的化學(xué)反應(yīng)是在高溫基材上進(jìn)行,如此才能使氣體前置物獲得足夠
的能量反應(yīng)。


(3)電漿聚合:聚合物或塑料薄膜最簡(jiǎn)單的披覆技術(shù)就是將其溶劑中,然后涂布于基板上。電漿聚合涂
布法系將分子單體激發(fā)成電漿,經(jīng)化學(xué)反應(yīng)后形成一致密的聚合體并披覆在基板上,由于基材受到電
漿的撞擊,其附著性也很強(qiáng)。


(4)電漿蝕刻:濕式堿性蝕刻,這是最簡(jiǎn)單而且便宜的方法,它的缺點(diǎn)是堿性蝕刻具晶面方向性,而且
會(huì)產(chǎn)生下蝕的問題。


(5)電漿噴覆:在高溫下運(yùn)轉(zhuǎn)的金屬組件須要有陶瓷物披覆,以防止高溫腐蝕的發(fā)生

 

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