星之球激光 來源：激光網(wǎng)2012-02-12
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利用Nd∶KGW激光器，采用光束掃描寬化技術(shù)和掩模微縮成像方法研制了用于微打標(biāo)及微型零件雕刻成形的激光掩模微加工系統(tǒng)。系統(tǒng)采用計算機打印的塑料膠片或液晶作掩模，光...
利用Nd∶KGW激光器，采用光束掃描寬化技術(shù)和掩模微縮成像方法研制了用于微打標(biāo)及微型零件雕刻成形的激光掩模微加工系統(tǒng)。系統(tǒng)采用計算機打印的塑料膠片或液晶作掩模，光束掃描面積為(有效掩模面積)30 mm×30 mm。微縮成像系統(tǒng)的縮小倍率分別為8～10倍(f=100 mm透鏡)和15～20倍(f=50 mm透鏡)。對該系統(tǒng)的加工尺寸和加工精度進行了分析。實驗結(jié)果表明：系統(tǒng)達到的最小標(biāo)刻寬度和加工圖形精度均為10 μm，與分析結(jié)果一致。系統(tǒng)的單次加工深度為007～01 μm，最大加工深度為200 μm，可滿足工業(yè)微加工技術(shù)的基本要求。
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