選擇何種傳感器？
這部分內(nèi)容將介紹哪些類型的傳感器可用于測(cè)量功率，哪些可用于測(cè)量能量，以及它們的測(cè)量范圍。用于測(cè)量功率的熱電堆探測(cè)器往往面積較大，具有較高的損傷閾值，功率測(cè)量范圍從毫瓦到千瓦。基于半導(dǎo)體的光電二極管探測(cè)器不但體積較小，而且靈敏度高，功率測(cè)量范圍從皮瓦到毫瓦。
這三種類型的探測(cè)器都可用于測(cè)量能量。熱電堆探測(cè)器是毫秒（ms）量級(jí)單脈沖測(cè)量、或者每個(gè)脈沖能量達(dá)幾焦耳的高能量光束測(cè)量的理想選擇。熱釋電探測(cè)器最適合短脈沖（脈寬從fs到ms）和寬能量范圍（從50nJ到焦耳量級(jí)）的測(cè)量。光電探測(cè)器則適合測(cè)量低能量（從fJ到mJ量級(jí)）的短脈沖（脈寬從fs到ms）。每個(gè)探頭和儀器模塊的關(guān)鍵指標(biāo)的性能范圍有較大差異，用戶在選擇之前，最好要提前與產(chǎn)品專家了解具體情況。
光電二極管探測(cè)器可與積分球一起使用，以獲得對(duì)光源的均勻和準(zhǔn)確測(cè)量。Lasermet公司帶有積分球的光電二極管探頭，通常能夠測(cè)量的功率小至1μW；緊湊型探頭能夠測(cè)量的功率小至1nW，光束可以直接照射到這種光電二極管上（見圖2）。熱探頭通常可以測(cè)量的功率低至1mW。
圖2：Lasermet公司的手持式ADM1000數(shù)字式測(cè)量儀，通過熱探頭和光電二極管探頭，能在較寬的波長范圍內(nèi)測(cè)量功率和能量，并可以選擇是否配備積分球。配備的加速電路可在700ns內(nèi)獲得最終讀數(shù)10％以內(nèi)的響應(yīng)度。ADM1000可用于測(cè)量、顯示高達(dá)400kHz的脈沖波形。
對(duì)于高功率光源，Lasermet公司的光電二極管探頭通?？梢詼y(cè)量的最大功率為1W，如果采用濾光片截止掉90％或者99％的光束（盡管這將引起反射并且會(huì)影響測(cè)量的準(zhǔn)確度），則可以測(cè)量更高的功率。熱探頭可以測(cè)量的功率高達(dá)20W，特制的熱探頭可以測(cè)量功率高達(dá)100W甚至幾千瓦的激光。
光電二極管擁有最快的響應(yīng)速度。Lasermet公司的IPDH-10S和IPDH-10C光電二極管與ADM1000一起使用時(shí)，頻率響應(yīng)可達(dá)到400kHz，這比市場(chǎng)上其他任何探測(cè)器的響應(yīng)速度大約快1000倍。這樣的響應(yīng)速度能夠分離和顯示單脈沖波形，并且可以測(cè)量出單脈沖的能量。
光電二極管也提供了更高的熱穩(wěn)定性，而熱探測(cè)器則容易受到熱干擾和熱漂移的影響，因此更難準(zhǔn)確使用。目前市場(chǎng)上已經(jīng)有一些熱探測(cè)器結(jié)合了溫度穩(wěn)定技術(shù)，從而大大減少了熱漂移。
#p#分頁標(biāo)題#e# 關(guān)鍵指標(biāo)
選擇PEM時(shí)首先要考慮的指標(biāo)是傳感器的波長范圍以及對(duì)功率和能量的測(cè)量范圍。測(cè)量儀應(yīng)該能夠在未飽和的狀態(tài)下給出測(cè)量值。通常飽和電流在10mA量級(jí)（峰值響應(yīng)處的功率約為10mW）。高功率的測(cè)量通常采用積分球或光衰減器來降低飽和。系統(tǒng)的另一個(gè)重要指標(biāo)是最低可測(cè)量的功率/能量水平處的信噪比。典型的噪聲水平在幾mW量級(jí)，高靈敏度模塊可測(cè)量的功率低至1μW。
在挑選了合適的探頭來測(cè)量激光或寬帶光源后，下一個(gè)要考慮的問題是破壞閾值。用戶需要了解被測(cè)量的功率和能量密度，以免探頭被破壞。這需要了解光斑尺寸以及能量分布。高斯光束在光束頂部具有非常高的功率/能量密度。
脈寬是測(cè)量脈沖激光時(shí)需要考慮的一個(gè)關(guān)鍵因素。大多數(shù)傳感器具有不同的基于峰值功率的破壞閾值；當(dāng)脈沖能量相同時(shí)，短脈沖相比較而言將具有高得多的峰值功率，更容易破壞傳感器。對(duì)于高于破壞閾值的應(yīng)用，用戶可采用的衰減手段包括分光器、漫反射和中性濾光片等。
另一個(gè)重要的指標(biāo)是不確定度，這關(guān)系到準(zhǔn)確性和一致性。大多數(shù)公司根據(jù)美國標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)協(xié)會(huì)（NIST）制定的標(biāo)準(zhǔn)對(duì)其儀器進(jìn)行校準(zhǔn)，這些標(biāo)準(zhǔn)提供了基于標(biāo)準(zhǔn)物理常數(shù)的不確定度，例如水中的溫升。準(zhǔn)確度的誤差應(yīng)以百分比的形式對(duì)每個(gè)傳感器和顯示器進(jìn)行標(biāo)注（見圖3）。
圖3：OSI公司的Juno是一種多功能緊湊型PEM，其與OSI公司的所有“智能型”熱釋電、熱電堆和光電二極管傳感器兼容。Juno的波長測(cè)量范圍從紫外到遠(yuǎn)紅外，能量測(cè)量范圍從100fJ到幾百焦，功率測(cè)量范圍從10pW到10kW，光源的重復(fù)頻率可高達(dá)10kHz。Juno通過USB接口將筆記本或臺(tái)式電腦轉(zhuǎn)換成一個(gè)激光PEM，是現(xiàn)場(chǎng)和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的理想選擇，另外其也可作為內(nèi)置的OEM傳感器。
每種型號(hào)的探頭和測(cè)量儀器的關(guān)鍵指標(biāo)的工作范圍相差巨大。選擇的關(guān)鍵是要使激光器或光源的輸出參數(shù)與探測(cè)器和儀器的指標(biāo)相匹配，即測(cè)量儀器的指標(biāo)應(yīng)該覆蓋激光器的輸出參數(shù)。
權(quán)衡與取舍
選擇PEM時(shí)需要進(jìn)行許多權(quán)衡與取舍。例如，如果用戶需要測(cè)量光束直徑小的高功率激光，就需要具有高損傷閾值的探頭。但是具有高損傷閾值的PEM的靈敏度并不高，所以無法用同一個(gè)探頭讀取極高和極低的功率。用于更高讀數(shù)的能量探測(cè)器也會(huì)碰到同樣的情況。此外，某些特定產(chǎn)品可以測(cè)量單個(gè)脈沖的高能量，但是它們只能在低重復(fù)頻率下工作，不能在高功率下應(yīng)用。因此，在實(shí)際應(yīng)用中，用戶需要根據(jù)具體情況進(jìn)行一定的權(quán)衡。#p#分頁標(biāo)題#e#
雖然PEM已經(jīng)出現(xiàn)了很長一段時(shí)間，但激光和太赫茲源技術(shù)的新進(jìn)展，已經(jīng)為光源測(cè)量創(chuàng)造了新的挑戰(zhàn)，這些測(cè)量需要獨(dú)特的傳感器和儀器。自從高重復(fù)頻率DPSS和光纖激光器出現(xiàn)以來，測(cè)量和控制重復(fù)頻率為100kHz甚至更高頻率的脈沖激光器的輸出，曾一度讓人們面臨很大的困難。Gentec-EO公司宣稱其Mach 5是一款能夠很好解決上述需求的數(shù)字焦耳計(jì)，希望廣大用戶真正能從中受益
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