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光學(xué)設(shè)計(jì)軟件

大直徑平凸透鏡面形的陰影檢驗(yàn)法(二)

星之球激光 來源:計(jì)量網(wǎng)2013-01-10 我要評(píng)論(0 )   

2 檢驗(yàn)結(jié)果 當(dāng)?shù)犊趦x恰好切在計(jì)算出的位置時(shí),會(huì)出現(xiàn)如下現(xiàn)象。 (1)當(dāng)?shù)犊谧杂蚁蜃笄懈罟馐鴷r(shí)(我國(guó)刀口儀普遍自右向左切割),紅黑交界處,相應(yīng)鏡面上有高或低的頂點(diǎn)(與...

       2 檢驗(yàn)結(jié)果

  當(dāng)?shù)犊趦x恰好切在計(jì)算出的位置時(shí),會(huì)出現(xiàn)如下現(xiàn)象。

  (1)當(dāng)?shù)犊谧杂蚁蜃笄懈罟馐鴷r(shí)(我國(guó)刀口儀普遍自右向左切割),紅黑交界處,相應(yīng)鏡面上有高或低的頂點(diǎn)(與球心在刀口的球面波相比較),形成高帶。

  (2)當(dāng)光束由凸面反射時(shí),由于是內(nèi)反射檢驗(yàn),刀口切割的是經(jīng)透鏡會(huì)聚后的光束,此時(shí)對(duì)于高低點(diǎn)的判斷原則與利用刀口儀對(duì)凹面鏡鏡型反射檢驗(yàn)的判斷原則是完全相反的即鏡面右黑左紅的交界處為高,右紅左黑處交界處為低。

  (3)透射檢驗(yàn)的陰影圖除反映光學(xué)元件

  表面加工情況外還可進(jìn)一步反映玻璃的材料的內(nèi)部均勻性。

  根據(jù)以上計(jì)算結(jié)果進(jìn)行實(shí)際操作檢驗(yàn),使用刀口儀的時(shí)特別值得注意的是由于透射會(huì)產(chǎn)生色散需在刀口儀的觀測(cè)處加一塊單色玻璃(ZEMAX中選定的計(jì)算波長(zhǎng)應(yīng)與此單色光源波長(zhǎng)一致),這樣可以消除色散給觀測(cè)帶來干擾有助于提高檢驗(yàn)精度。

  刀口儀檢驗(yàn)的像質(zhì)評(píng)價(jià)如圖 3~6 所示。

  圖 4 給出了系統(tǒng)的波前像差,圖 5 給出了傳遞函數(shù)圖。

       由像質(zhì)評(píng)價(jià)圖可見,利用刀口儀對(duì)凸透鏡進(jìn)行透射檢驗(yàn)精度較高,光線完全可自準(zhǔn)回來,從而可以用刀口儀對(duì)凸透鏡進(jìn)行透射檢驗(yàn)。

  3 結(jié)語

  對(duì)于凸透鏡的檢驗(yàn),本文提出了刀口儀陰影法檢驗(yàn)凸透鏡的方法,陰影法檢驗(yàn)凸透鏡有如下優(yōu)點(diǎn)。

  (1)所需設(shè)備簡(jiǎn)單,不被檢驗(yàn)面口徑大小限制,可直接檢驗(yàn)凸透鏡表面及光學(xué)材料內(nèi)部均勻性。

  (2)檢驗(yàn)精度高,可發(fā)現(xiàn)小于λ /10 的波面缺陷。

  (3)檢驗(yàn)時(shí)刀口儀不需與鏡面接觸,所以不會(huì)劃傷鏡面。這對(duì)保證鏡面光潔度十分有利 。

  ( 4 ) 檢驗(yàn)速度快,刀口儀放好后,進(jìn)行切割立刻發(fā)現(xiàn)鏡面缺陷及所在部位。

  (5)為提高檢驗(yàn)精度,可以用 CCD 接收陰影圖。

 

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