(l)只需加工激光頭和反光鏡的安裝位置而無須加工整個尺所在的面,節(jié)省了加工的費用;
(2) 速度快(最高可達4耐s),測量距離遠(最遠可達l00m);
(3)激光尺安裝時可以盡可能與運動方向一致,最大可能消除因測量位置和實際位置不一致所產(chǎn)生的阿貝誤差;
(4)高精度(1μm/m),高分辨率(亞納米級);
(5)兩點對光,安裝方便省事,與常規(guī)反饋元件相比節(jié)省大約80%以上的時間;
(6)閉環(huán)控制可以獲得更高的增益;
(7)激光尺運行過程中相互不接觸,不會產(chǎn)生磨損;
(8)激光尺在可測量范圍內(nèi),成本與測量距離無關(guān)。
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