2014年3月25日,中科院長(zhǎng)春光機(jī)所投資公司奧普光電加工完成BZPMJ700標(biāo)準(zhǔn)平面鏡,面型精度PV為0.187λ、rms為0.018λ、power為0.003λ,這標(biāo)志著奧普公司在大口徑平面鏡光學(xué)加工技術(shù)上取得重大突破。
該BZPMJ700標(biāo)準(zhǔn)平面鏡由平面反射鏡和精密二維支撐架兩部分組成。經(jīng)過(guò)技術(shù)攻堅(jiān),已經(jīng)加工出高精度面形平面反射鏡。直徑700mm的平面反射鏡有效口徑范圍面形精度達(dá)到PV=0.187λ、rms=0.018λ、power=0.003λ(λ=632.8nm),為該所自制同尺寸平面鏡最高精度。此項(xiàng)技術(shù)的突破標(biāo)志著奧普光電具備了直徑800mm以內(nèi)大口徑高精度平面鏡加工能力,單鏡加工周期為半年左右,加工工藝具備定型條件,并能夠延伸開(kāi)發(fā)制作不同尺寸和種類的標(biāo)準(zhǔn)平面鏡系列產(chǎn)品。此項(xiàng)技術(shù)突破為奧普光電創(chuàng)造了新的技術(shù)發(fā)展點(diǎn)和經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。
據(jù)悉,奧普光電也已具備了大尺寸元件的加工能力,成功加工完成了直徑580mm、直徑700mm的離軸拋物鏡,直徑1230mm的球面鏡的加工。
Φ700mm平面標(biāo)準(zhǔn)鏡在所檢測(cè)中心用32英寸ZYGO平面干涉儀檢測(cè)
Φ700mm平面標(biāo)準(zhǔn)鏡面形干涉圖及檢測(cè)數(shù)據(jù)
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