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DOE光束整形器在激光加工及材料處理領(lǐng)域的應(yīng)用

來源:先鋒科技2020-03-31 我要評論(0 )   

自1960年首臺激光器問世以來,經(jīng)過近70年的發(fā)展,激光技術(shù)已經(jīng)形成了龐大的產(chǎn)業(yè)規(guī)模,廣泛應(yīng)用于工業(yè)加工、醫(yī)療美容、商業(yè)、科研、信息和軍事等多個領(lǐng)域。眾所周知,不...

自1960年首臺激光器問世以來,經(jīng)過近70年的發(fā)展,激光技術(shù)已經(jīng)形成了龐大的產(chǎn)業(yè)規(guī)模,廣泛應(yīng)用于工業(yè)加工、醫(yī)療美容、商業(yè)、科研、信息和軍事等多個領(lǐng)域。眾所周知,不同的應(yīng)用場景對激光的功率、波長、光斑形狀等有著不同的要求,而要實現(xiàn)光斑形狀的改變,則離不開光束整形器。

采用衍射光學(xué)元件(Difractive Optical Element,DOE)進(jìn)行光束整形是近年發(fā)展起來的非常方便、靈活、功能強(qiáng)大的光束整形方式。DOE可適用于多種類型的輸入激光(如單模高斯激光、多模激光等),在激光焦面上形成指定的光斑形狀和光強(qiáng)分布,還可以實現(xiàn)在激光傳播方向特定的光強(qiáng)分布。典型的功能包括:產(chǎn)生平頂分布圓光斑或矩形光斑;產(chǎn)生線形分布光斑;將非均勻多模激光進(jìn)行勻化;產(chǎn)生環(huán)形以及多環(huán)等光斑分布;產(chǎn)生一維、二維多束激光分布;在傳輸方向上形成多焦點以及長焦深分布等。今天我們主要討論在激光加工與材料處理領(lǐng)域DOE光束整形器的應(yīng)用。

熔蝕與構(gòu)造

激光熔蝕是指通過激光輻照從材料(通常是固體)表面去除材料。熔蝕通常采用小區(qū)域高能量脈沖實現(xiàn)。激光溶蝕具有多種用途,如納米材料制備,金屬或介電薄膜沉積,超導(dǎo)結(jié)構(gòu)制備,金屬部件常規(guī)焊接與邦定,MEMS結(jié)構(gòu)加工等。

采用平頂發(fā)生器或渦旋位相板可以產(chǎn)生邊界銳利的光斑構(gòu)型,在溶蝕過程中確保精確的材料移除范圍。而當(dāng)激光器能量較高時,可采用多點分束器來實現(xiàn)多個區(qū)域并行處理,提升產(chǎn)率。

激光溶蝕(上)與表面構(gòu)型(下)

相關(guān)DOE產(chǎn)品:平頂光發(fā)生器,渦旋位相板,分束器

焊接

采用激光可將多個金屬或塑料機(jī)件連接在一起。激光光束提供一個集中的熱源,實現(xiàn)高速率、大深度、窄縫寬焊接。激光焊接通常在大規(guī)模制造中自動化進(jìn)行。與切割技術(shù)協(xié)同,激光焊接可用于多種焊接類型(點焊,直/曲線焊,釬焊等)。

能量分布均勻的激光有助于焊接溫度的均勻分布,生成高質(zhì)量焊縫。采用分束器產(chǎn)生的多焦點焊接,可提升加工速率。

激光焊接(左)與平頂光斑(右)

相關(guān)DOE產(chǎn)品:平頂發(fā)生器,勻化器,分束器,C型發(fā)生器,高效率雙焦DOE

釬焊

在釬焊過程中,激光燒熔焊條并將兩塊金屬焊接在一起,這種工藝廣泛使用在汽車工業(yè)中。在焊條熔融之前,如能夠?qū)⒑附咏饘傧刃星逑?、預(yù)熱,焊接效果將顯著提高。

專門為這種工藝訂制的勻化器,可以在主焊的平頂光斑前端兩側(cè)產(chǎn)生兩個小光斑用于待焊金屬的清洗和加熱,提升釬焊的強(qiáng)度和焊縫的整潔度。

激光釬焊(左)與訂制光斑(右)

相關(guān)DOE產(chǎn)品:訂制光束勻化器

激光微孔

激光微孔加工是指利用激光在薄料上打小孔,通常用于薄片或薄膜,如香煙卷紙、食品包裝紙(延長保質(zhì)期和新鮮度)。這類應(yīng)用需要精密的、等間距的微孔,而通常不需要很高的激光功率。分束型DOE能夠產(chǎn)生大量的、間距精確的二維陣列焦點,非常適合此類材料上高速打孔。

食品包裝紙微孔(左)與多點光斑

相關(guān)DOE產(chǎn)品:分束器(多點DOE)

金屬及玻璃切割

激光切割通過將高功率激光引導(dǎo)并聚焦到工件表面,通過運動機(jī)構(gòu)掃描并按指定路線切割工件。激光切割為工業(yè)制造的重要手段;常常需要在不使用長焦透鏡的情況下延長焦點的焦深,以減少切割區(qū)域的崩邊、熔邊,提升切割質(zhì)量。

金屬切割利用激光聚焦產(chǎn)生的局部熱量加熱材料,達(dá)到熔點以切斷樣品。融化的金屬被氣流帶走。

而玻璃切割通常使用紅外波段的高功率脈沖激光器。因為玻璃吸收較低,因此需要更高功率的激光;使用DOE可增加焦深,使得能量在玻璃的內(nèi)部沉積,實現(xiàn)單次切割,而不需要調(diào)整焦點位置后再次掃描。這種方式對于隱裂切割特別有用:透明材料內(nèi)部的局部受熱使得切縫變脆而不是熔融,后續(xù)再采用機(jī)械方式沿切縫分離,形成理想的斷縫。

金屬切割與環(huán)形光斑(上),玻璃切割與貝塞爾焦斑(下)

相關(guān)DOE產(chǎn)品:

金屬切割:渦旋位相板、平頂發(fā)生器;

玻璃切割:DeepCleave;貝塞爾DOE;多焦點DOE。

鉆孔

激光鉆孔利用聚焦的重復(fù)脈沖激光器汽化金屬,形成通孔。脈沖能量越大則汽化的金屬越多。作為激光加工領(lǐng)域主流應(yīng)用之一,多年來發(fā)展了各種打孔技術(shù):單脈沖,叩擊,旋轉(zhuǎn)打孔,螺旋打孔等。除金屬外,激光打孔也在多種場景應(yīng)用,如橡膠、硅襯底等。

配合打能量激光器,分束(多點)DOE可用于提升鉆孔產(chǎn)率;平頂型光斑有利于提升孔壁的垂直度和邊緣銳度;渦旋濾光片可用于環(huán)形孔。

激光鉆孔工藝(左),金屬管打孔(右)

相關(guān)DOE產(chǎn)品:多點分束器,平頂發(fā)生器,渦旋濾光片

激光剝離

激光剝離(Laser Lift Off,LLO)是一種選擇性的分離兩種材料的技術(shù)。激光投射到襯底與鍍層材料(如藍(lán)寶石襯底上的GaN)中間的粘結(jié)層上。激光剝離可以處理大尺寸器件并達(dá)到要求的精度與可重復(fù)性。因此,激光玻璃在LED工業(yè)中剝離發(fā)光薄膜中廣泛使用,同時也用于顯示、移動終端等制程。

LeanLine?為專門為LLO開發(fā)的DOE,將圓形多模光斑變換成為細(xì)線分布,適用于紫外及綠色激光(343,355,532nm)。這種解決方案基于專有的衍射光學(xué)光束成型技術(shù),可以很容易的擴(kuò)展至任意波長(193nm - 1600nm)。采用這種方案,用戶可以使用成本較低的多模激光器實現(xiàn)高功率密度的線光源。

LeanLine?線聚焦(左)與柔性材料剝離(右)

相關(guān)DOE產(chǎn)品:線光斑發(fā)生器

表面處理(硬化與熔覆)

激光表面處理的原理基于高功率密度的相關(guān)激光與表面在特定氣氛(真空,保護(hù)氣,過程氣)下的相互作用導(dǎo)致的表面改性。典型的應(yīng)用包括表面硬化與表面熔覆。

表面硬化是一種熱處理,通過將材料在短時間內(nèi)加熱至臨界溫度以上并迅速冷卻,金屬晶格將不能恢復(fù)初始結(jié)構(gòu)并達(dá)到很高的硬度。

表面熔覆是另一種熱處理過程。元件表面被加熱至熔點,熔融物固化并結(jié)晶,而其化學(xué)成份不便。

在這兩種熱處理過程中,激光功率密度的均勻性都非常重要。平頂光發(fā)生器和光束勻化器有助于產(chǎn)生均勻的、邊界清晰的光強(qiáng)分布。

激光熱處理

相關(guān)DOE產(chǎn)品:勻化器,平頂發(fā)生器。


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光束整形器激光加工
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