近日，中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室金春水研究團(tuán)隊(duì)在極紫外多層膜膜厚分布超高精度控制研究方面取得新進(jìn)展：通過采用遺傳算法，實(shí)現(xiàn)了Φ200mm曲面基底上極紫外多層膜膜厚分布控制精度優(yōu)于±0.1%，鍍膜引起的不可補(bǔ)償面形誤差小于0.1nmRMS，相關(guān)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。相關(guān)結(jié)果在線發(fā)表于近期的Optics Letters(dx.doi.org/10.1364/OL.40.003958)上。
極紫外多層膜反射鏡是極紫外光刻系統(tǒng)的核心光學(xué)元件。極紫外光刻系統(tǒng)需要高性能的極紫外多層膜，包括高反射率，低應(yīng)力，高穩(wěn)定性和高均勻性。對(duì)于極紫外光刻系統(tǒng)中的投影物鏡，必須對(duì)鍍制在其上的極紫外多層膜進(jìn)行超高精度的膜厚分布控制，以便實(shí)現(xiàn)波長匹配和減小鍍膜引起的面形誤差。
該研究團(tuán)隊(duì)采用遺傳算法，完成了磁控濺射濺射源特性參數(shù)的反演和用于控制膜厚分布的公轉(zhuǎn)調(diào)速曲線的反演，避免了直接測量磁控濺射速率空間分布的繁瑣過程，減少了極紫外多層膜膜厚控制工藝的迭代次數(shù)，大大降低了獲得超高膜厚分布精度極紫外多層膜反射鏡的工藝成本。
該工作得到了“國家科技重大專項(xiàng)-02專項(xiàng)”項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)的支持。
長春光機(jī)所極紫外多層膜膜厚分布超高精度控制研究獲進(jìn)展
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