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我國大力發(fā)展半導體材料 為激光微加工帶來機遇

激光制造網 來源:廣州特域機電有限公司2020-06-29 我要評論(0 )   

  近日,華為的話題又再掀起波瀾,一方面是美國商務部發(fā)布針對華為半導體業(yè)務發(fā)展的禁令,可視為是升級版的芯片禁令;另一方面是華為創(chuàng)始人女兒孟晚舟在加拿大法院裁...

  近日,華為的話題又再掀起波瀾,一方面是美國商務部發(fā)布針對華為半導體業(yè)務發(fā)展的禁令,可視為是升級版的芯片禁令;另一方面是華為創(chuàng)始人女兒孟晚舟在加拿大法院裁決不能釋放。


  美國芯片制裁迫使中國自主發(fā)展


  隨著中國國力上升和科技創(chuàng)新,與美國的現有利益沖突只會越來越多,從2018年美國制裁中興事件就已經警醒國人,再到去年以來一系列針對華為措施繼而挑起兩國貿易戰(zhàn)。中國政府絕無屈服從而迫使美國回到談判桌上。貿易戰(zhàn)激起了各行各業(yè)一股勵精圖治、自主研發(fā)、自力更生的創(chuàng)新浪潮。


  美國當前的領先科技,以半導體、化學材料、軟件服務、軍工、航空航天、生物醫(yī)學等幾個最為突出。而世界的半導體材料產業(yè)發(fā)展路線,是從美國發(fā)端,也就是人們熟知的“硅谷”,再延伸到日本和中國臺灣,再到韓國。


  中國在很長一段時間沒有重視半導體材料和芯片的發(fā)展,導致如今每年花費上萬億元進口芯片。如今我國已經有中長期的規(guī)劃大力推動半導體集成電路產業(yè)自主發(fā)展,保守估計未來幾年將有數千億的資金支持芯片產業(yè)研發(fā)。具備科技含量產品的芯片在行業(yè)中具備舉足輕重的作用,手機、電腦、家電、導航儀器等都具備芯片,芯片最核心的工藝設備——光刻機,目前基本被外國壟斷。


  半導體材料的幾種應用


  光刻機屬于一種掩膜曝光系統,需要采用激光源,在晶圓表面保護膜造成刻蝕,最終形成電路,實現數據儲存的功能。光刻機采用量較大的是準分子激光器,能產生深紫外激光束,主要供應商是全球領先的準分子激光器供應商 Cymer,現已被ASML收購。而最新的一代光刻機則是極紫外光刻機(EUV),已經可以實現10 nm以下的制程,目前仍然被外國壟斷。


  可以預期的是,中國在各種芯片上的技術將逐漸取得突破,實現自產和量產,國產光刻機也是可以期待的,屆時精密激光源的應用需求必然會增加。


  半導體材料的另一個大量應用是光伏電池產業(yè),是目前世界上增長最快、發(fā)展最好的清潔能源市場。太陽能電池分為晶體硅太陽能電池、薄膜電池以及III-V族化合物電池,其中以硅晶圓材料為基礎應用最為廣泛。光伏電池恰恰與激光器相反,它是把光轉換為電的一種設備,而這個光電轉化率是判斷電池優(yōu)劣的最重要標準,這其中采用的材料和制作工藝是最為關鍵的。


  在硅晶圓的切割方面,以往傳統的刀具切割精度不足、效率低下,而且會產生較多的不良產品,因此在歐洲、韓國、美國早已采用了精密激光制造技術。我國光伏電池產能占據全球超過一半,隨著國家扶持新能源發(fā)展,過去四年光伏產業(yè)重回上升軌道,并且大量采用新技術工藝,其中激光加工就是重要工藝之一。目前激光在光伏電池實現了晶圓切割、劃片、消融,PERC電池的激光開槽。PERC電池是一種鈍化發(fā)射極和局部背接觸的新型太陽能電池,其優(yōu)勢在于高達20%及以上的光電轉換效率。


  武漢的帝爾激光是目前國內光伏電池激光制造設備的領導者,原來從事消費電子精密加工,后來專注于光伏電池激光加工設備,迎來2016年光伏產業(yè)快速復蘇以及工藝改進。帝爾激光得到足夠的機遇,過去三年幾乎是每年業(yè)績翻一倍,并成功上市。這說明光伏產業(yè)的激光制造需求空間仍然巨大。


圖:我國首臺半導體激光隱形晶圓切割機問世


  半導體材料的第三個重要應用是線路板,也包括柔性線路板。線路板采用了大量的半導體材料,也是所有電子產品的基礎,是至關重要的部件。近年來隨著線路板的精度和集成度越來越高,更加小型迷你的線路板讓大型設備和接觸式加工難以適應,激光技術開始有了用武之地。


  打標應該是線路板上最簡單的工藝,目前常常采用的紫外激光器的在材料表面的標刻。鉆孔是線路板上常用的工藝,激光鉆孔能達到微米級,能打出機械刀無法做到的微細小孔,并且速度極快。線路板上應用的銅材切割、固定熔焊等均可以采用激光技術。而錫膏的激光微焊也是近年來值得關注的重要技術。


  激光進入微加工時代 特域適時推出超精密冷水機


  回顧這些年激光技術的發(fā)展,激光在大部件的金屬切割、焊接發(fā)展比較充分,然而精密激光制造的應用規(guī)模相對滯后,其中比較重要的原因是前者是粗加工,精密激光加工精度、定制化要求高,還有工藝開發(fā)難度大,周期長。目前激光精密加工主要圍繞消費電子展開,其中又以智能手機為主,這兩年的屏幕和OLED面板的激光切割也備受關注。


  未來十年,半導體材料將會成為我國最為重視發(fā)展的產業(yè),帶動激光微加工大爆發(fā)的極有可能是半導體材料加工。激光微加工主要采用短脈沖或者超短脈沖激光器,也就是超快激光器。因此未來在人工智能、5G,和國家大力投資半導體材料國產化的趨勢下,激光精密加工必然有較大的需求,超快激光器的大批量應用是一個重要趨勢。


  但是這種超快激光精密設備,要求極高,目前國內成熟的激光設備廠商大約5家,還有十幾家正在進入和開發(fā)產品。超快激光設備要求配備具有高精度的、精密溫控、穩(wěn)定可控的冷卻設備。


  為適應國內精密激光制造發(fā)展的趨勢和市場預期需求,廣州特域機電首推CWUP系列超精密激光冷水機,突破了我國冷卻設備溫控技術的瓶頸,溫控精度升級到±0.1℃。適用于皮秒、飛秒、等超快固體激光器冷卻等多樣化的應用場景。為半導體材料、消費電子元器件等精密激光加工的穩(wěn)定性提供了保障。


  此款產品經過與國內外多個光源品牌測試,除水溫精度以外的流量、壓力、電磁量,輸入輸出和系統信息交換對接等都已無縫兼容。可適應在市場上的任何光源品牌。為節(jié)省用戶成本,特域機電為產品賦能,推出了不同功率的應用,可滿足低、中、高瓦數激光設備所需的精密水冷解決方案。


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