9月9日,德國(guó)聯(lián)邦總統(tǒng)辦公室在慕尼黑德意志博物館榮譽(yù)殿堂宣布了2020年德國(guó)未來(lái)獎(jiǎng)提名人。聯(lián)邦總統(tǒng)技術(shù)與創(chuàng)新獎(jiǎng)最后一輪項(xiàng)目是通快、蔡司和弗勞恩霍夫應(yīng)用光學(xué)與精密機(jī)械研究所的專家團(tuán)隊(duì)的項(xiàng)目“EUV光刻-數(shù)字時(shí)代的新光”。
世界上唯一的EUV光刻機(jī)制造商是荷蘭ASML公司,該公司作為集成商設(shè)計(jì)了整個(gè)系統(tǒng)的體系結(jié)構(gòu),尤其是EUV源。這些機(jī)器的關(guān)鍵部件是通快的EUV光源高性能激光器和蔡司的光學(xué)系統(tǒng)。EUV代表“極紫外線”,即具有極短波長(zhǎng)的光。借助這項(xiàng)技術(shù),可以生產(chǎn)出比以往任何時(shí)候都更強(qiáng)大、更節(jié)能和更具成本效益的微芯片。如果不繼續(xù)保持強(qiáng)勁的計(jì)算能力,就不會(huì)成功實(shí)現(xiàn)數(shù)字化。最新一代芯片的制造過(guò)程是基于EUV燈的使用,它克服了以前在技術(shù)上可行的限制。從光源到真空中的光學(xué)系統(tǒng)再到所用反射鏡的表面涂層,實(shí)際上,整個(gè)曝光技術(shù)都必須從頭開(kāi)始開(kāi)發(fā)。
來(lái)自三家機(jī)構(gòu)的三名候選人為EUV技術(shù)的開(kāi)發(fā)和工業(yè)批量生產(chǎn)做出了重大貢獻(xiàn),獲得了2000多項(xiàng)專利保護(hù)的未來(lái)技術(shù)。
通快副總裁兼首席技術(shù)官Peter Leibinger:“對(duì)于德國(guó)未來(lái)獎(jiǎng)的提名,我們感到非常高興。這再次證實(shí)了EUV技術(shù)的全球潛力。得益于與蔡司、弗勞恩霍夫和荷蘭技術(shù)集團(tuán)ASML的合作,我們得以在這項(xiàng)未來(lái)技術(shù)上與來(lái)自日本和美國(guó)的德國(guó)和歐洲競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手競(jìng)爭(zhēng)。世界上最好的制造微芯片的機(jī)器來(lái)自歐洲,這是我們共同撰寫的非凡故事。這種獨(dú)特合作成功的關(guān)鍵是相互信任和毅力?!?/p>
借助世界上最強(qiáng)大的脈沖工業(yè)激光器,通快為每個(gè)現(xiàn)代智能手機(jī)中使用的最現(xiàn)代微芯片的曝光提供了關(guān)鍵組件。除了產(chǎn)生雷射平版印刷術(shù)所需的光之外,沒(méi)有其他經(jīng)濟(jì)的替代方法。Leibinger:“只有通快可以制造EUV光刻所需的激光器。沒(méi)有這些激光器,諸如人工智能或自動(dòng)駕駛之類的未來(lái)技術(shù)將無(wú)法實(shí)現(xiàn),因?yàn)樗鼈冃枰罅康挠?jì)算能力。激光60周年的德國(guó)未來(lái)獎(jiǎng)提名再次強(qiáng)調(diào)了這種工具對(duì)于德國(guó)作為工業(yè)基地的重要性。”
“與我們的合作伙伴一起,我們對(duì)提名感到非常高興,該提名表彰了一項(xiàng)極其復(fù)雜的開(kāi)發(fā)工作,并將其轉(zhuǎn)化為主導(dǎo)世界市場(chǎng)的技術(shù)。” 蔡司集團(tuán)執(zhí)行董事會(huì)成員兼半導(dǎo)體制造技術(shù)部門負(fù)責(zé)人Markus Weber說(shuō),“蔡司代表最高的光學(xué)性能和精度。這在芯片生產(chǎn)中一直很重要。EUV技術(shù)及其在真空中操作的反射鏡光學(xué)器件是一項(xiàng)飛躍性的創(chuàng)新,需要同等的創(chuàng)造力和持久性,才能從構(gòu)思到今天的系列使用。照明系統(tǒng)的質(zhì)量和形狀以及投影光學(xué)系統(tǒng)的分辨率決定了微芯片上的微小結(jié)構(gòu)。EUV繼續(xù)推動(dòng)商業(yè)和社會(huì)數(shù)字化領(lǐng)域的巨大進(jìn)步。”
由于即使最小的不規(guī)則性也會(huì)導(dǎo)致圖像錯(cuò)誤,弗勞恩霍夫(Fraunhofer)是鏡子精密鍍膜技術(shù)的重要研究伙伴,為EUV光刻技術(shù)開(kāi)發(fā)了世界上“最精確”的反射鏡?!癋raunhofer是半導(dǎo)體技術(shù)的先驅(qū)之一。我們?cè)谖覀兊难芯克驮O(shè)施中研究EUV光刻技術(shù)已有三十年了”。Fraunhofer-Gesellschaft總裁Reimund Neugebauer教授解釋說(shuō),“我們的研究人員在首批EUV反射鏡和光束源的開(kāi)發(fā)中發(fā)揮了關(guān)鍵作用,從而為該技術(shù)的突破奠定了基礎(chǔ)。由于科學(xué)與工業(yè)之間的長(zhǎng)期緊密合作,現(xiàn)已在全球范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了在這一創(chuàng)新領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用的飛躍。EUV光刻技術(shù)是通過(guò)合作、研究精神和可持續(xù)承諾實(shí)現(xiàn)技術(shù)和經(jīng)濟(jì)附加值的杰出例子。”
自1997年以來(lái),每年都會(huì)頒發(fā)“德國(guó)未來(lái)獎(jiǎng)”,這是德國(guó)最重要的科學(xué)獎(jiǎng)項(xiàng)之一。它表彰可產(chǎn)生現(xiàn)成產(chǎn)品的杰出技術(shù)、工程和科學(xué)成就。在一個(gè)多階段的過(guò)程中,德國(guó)未來(lái)獎(jiǎng)的頂級(jí)評(píng)審團(tuán)從眾多項(xiàng)目中選出了三個(gè)研究團(tuán)隊(duì)及其創(chuàng)新,以作為最后一輪“最佳圈子”獎(jiǎng)。除創(chuàng)新表現(xiàn)外,評(píng)審團(tuán)還評(píng)估發(fā)展的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)潛力。
關(guān)鍵詞:德國(guó)未來(lái)獎(jiǎng);通快;弗勞恩霍夫
原文鏈接:https://www.fraunhofer.de/de/presse/presseinformationen/2020/september/deutscher-zukunftspreis-euv.html
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