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近日，中科院上海光學(xué)機(jī)密機(jī)械研究所薄膜光學(xué)實(shí)驗(yàn)室發(fā)布了最新研究成果：通過優(yōu)化SU-8光刻膠中的溶劑含量來細(xì)化多光子聚合（Multiphoton polymerization, MPP）特征尺寸。

研究過使用負(fù)性環(huán)氧光致抗蝕劑SU-8，并設(shè)置各種預(yù)烘烤時(shí)間以獲得不同的溶劑含量來探討溶劑含量對多光子聚合中聚合特征尺寸的影響。

研究發(fā)現(xiàn)了一種便捷的方法：利用長焦距和單脈沖下曝光，以評估溶劑的影響。通過在顯微鏡下測量聚合物尺寸，結(jié)果表明，溶劑含量僅損失4％的情況下，聚合物直徑減少了約40％。由于較少的溶劑，光離子誘導(dǎo)的H+陽離子從高濃度區(qū)到低濃度區(qū)的遷移率受到抑制，從而導(dǎo)致了聚合物特征尺寸細(xì)化。

綜上所述，蒸發(fā)溶劑含量可以改善SU-8 2075光刻膠中MPP的特征尺寸。通過將溶劑含量減少約4％，可將聚合物直徑減少約40％。

溶劑含量的調(diào)整顯示出其在不影響聚合度的情況下細(xì)化多光子聚合的特征尺寸的潛力，為優(yōu)化多光子聚合加工精度提供了新思路。

論文鏈接：

https://doi.org/10.1016/j.optmat.2021.110800