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大族顯視與半導(dǎo)體榮獲2021“紅光獎”—激光微加工系統(tǒng)創(chuàng)新貢獻獎

來源:大族激光顯視與半導(dǎo)體2021-09-30 我要評論(0 )   

9月27日,2021“紅光獎”第四屆中國激光行業(yè)創(chuàng)新貢獻獎頒獎典禮在深圳落下帷幕。大族顯視與半導(dǎo)體憑借創(chuàng)新研發(fā)和專業(yè)服務(wù),經(jīng)過網(wǎng)絡(luò)投票及專家評委評審后,成功入圍并一...

9月27日,2021“紅光獎”第四屆中國激光行業(yè)創(chuàng)新貢獻獎頒獎典禮在深圳落下帷幕。大族顯視與半導(dǎo)體憑借創(chuàng)新研發(fā)和專業(yè)服務(wù),經(jīng)過網(wǎng)絡(luò)投票及專家評委評審后,成功入圍并一舉榮獲激光微加工系統(tǒng)創(chuàng)新貢獻獎。


激光微加工系統(tǒng)創(chuàng)新貢獻獎



獲獎產(chǎn)品


全自動晶圓激光開槽設(shè)備



產(chǎn)品概述:


用于帶Low-K材料或金屬鍍層的晶圓,在晶圓表層開槽,以便于后續(xù)切割。


產(chǎn)品特點:
1.采用超短脈寬激光加工,有效提升開槽效果;


2.整合多種激光微加工技術(shù),切割效率和工藝窗口兼?zhèn)洌?/p>


3.采用復(fù)合多光路加工模組,多種切割功能任意組合切換;


4.具備自動上下料功能,無人值守全自動運行,批量化生產(chǎn);


5.高精度視覺檢測系統(tǒng),保障劃痕位置。


創(chuàng)新與突破:
1.自主研發(fā)的先進光路整形系統(tǒng),極大提升整體工藝效果,達到同類設(shè)備領(lǐng)先水平;


2. 突破性的使用綠光皮秒激光器,成功打破國外品牌的技術(shù)壁壘;


3. 精確的軟件開關(guān)光控制系統(tǒng),可以實現(xiàn)多種芯片晶圓(MPW)的一次性切割;


4. 在當(dāng)前同類設(shè)備無國產(chǎn)替代,進口設(shè)備壟斷整個行業(yè)的情況下,通過自主研發(fā),成功于2018年推出的首臺國產(chǎn)自主開發(fā)low k晶圓開槽設(shè)備,填補了國內(nèi)此類設(shè)備的空白。


大族顯視與半導(dǎo)體將繼續(xù)秉持“創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展,制造崛起未來”的理念,深耕行業(yè),緊隨市場,在高質(zhì)量發(fā)展的道路上加速前行!

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大族顯視半導(dǎo)體紅光獎激光微加工系統(tǒng)
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