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飛秒激光在脈沖模式下對(duì)玻璃進(jìn)行自上而下的沖擊鉆孔。

據(jù)《激光制造網(wǎng)》了解，近日，法國(guó)波爾多大學(xué)強(qiáng)激光與應(yīng)用研究所（CELIA）激光與物質(zhì)相互作用研究小組開發(fā)出了一種使用“千兆赫茲脈沖”模式的飛秒激光進(jìn)行玻璃微孔鉆孔的新方法。

在《International Journal of Extreme Manufacturing（國(guó)際極限制造雜志）》中有描述，該工藝使用Amplitude的飛秒激光器，在千兆赫脈沖范圍內(nèi)運(yùn)行，以研究一種新的玻璃微加工方法，該方法允許鉆出無錐度的細(xì)長(zhǎng)孔，內(nèi)壁光滑，無任何裂紋玻璃。

通常，使用標(biāo)準(zhǔn)單飛秒脈沖的激光鉆孔會(huì)產(chǎn)生長(zhǎng)度非常有限且內(nèi)表面粗糙的錐形孔。

無需化學(xué)蝕刻

這種新的激光與物質(zhì)相互作用機(jī)制允許在一個(gè)步驟中直接鉆出高縱橫比的孔，而無需任何化學(xué)蝕刻。激光脈沖串參數(shù)的選擇對(duì)于實(shí)現(xiàn)加工結(jié)構(gòu)的出色微加工質(zhì)量非常重要。

飛秒激光 GHz-burst 模式可以為新應(yīng)用鋪平道路，例如微電子，在這些應(yīng)用中，硅中介層可能會(huì)被玻璃中介層取代。

飛秒激光以千兆赫茲脈沖而不是重復(fù)的單脈沖運(yùn)行，能夠與玻璃材料相互作用，結(jié)合兩個(gè)優(yōu)點(diǎn)：材料中的激光能量沉積分布在更長(zhǎng)的時(shí)間內(nèi)，從而產(chǎn)生高效、可控的累積狀態(tài)，而飛秒激光脈沖出色的微加工質(zhì)量得以保留。由此產(chǎn)生的自上而下的沖擊鉆孔可提供無錐度、細(xì)長(zhǎng)且無裂紋且內(nèi)壁光滑的孔。

CELIA簡(jiǎn)介

CELIA 是激光及其與物質(zhì)相互作用的卓越中心。對(duì)激光開發(fā)、超短強(qiáng)激光物質(zhì)相互作用和應(yīng)用進(jìn)行研究，從熱致密等離子體的物理學(xué)到激光-分子或激光-原子相互作用。三個(gè)基于 Ti:sapphire 和 Yb:fiber 的最先進(jìn)激光驅(qū)動(dòng)器為九個(gè)設(shè)備齊全的終端站供電，包括二次 XUV 和 X 射線源。