晶飛半導(dǎo)體完成天使輪數(shù)千萬融資
專注于半導(dǎo)體激光領(lǐng)域的初創(chuàng)公司晶飛半導(dǎo)體成功完成了數(shù)千萬元的天使輪融資。本次融資由無限基金SEE Fund領(lǐng)投,德聯(lián)資本和中科神光跟投。
本輪融資主要用于公司的技術(shù)研發(fā)、市場拓展以及團隊建設(shè)。這一投資將進一步加速晶飛在半導(dǎo)體領(lǐng)域的創(chuàng)新步伐,為推動公司技術(shù)和產(chǎn)品的不斷升級提供了有力支持。
德聯(lián)資本康乾熙表示:新能源革命的大背景下,碳化硅功率器件市場潛力巨大,但成本是制約其滲透率的關(guān)鍵因素。在器件層面,碳化硅襯底成本占比高達47%,且由于其材料物理特性,在切片環(huán)節(jié)中近一半的材質(zhì)被無謂損耗;激光剝片這一新技術(shù)的出現(xiàn)可以顯著降低襯底成本,是推動碳化硅器件滲透的重要手段。晶飛團隊具有豐富的激光加工經(jīng)驗,在激光器和激光物質(zhì)底層理論研究方面具有較強的技術(shù)積累,在激光剝片工藝層面也有多年的經(jīng)驗沉積。憑借團隊極強的技術(shù)攻關(guān)能力,公司已獲國內(nèi)多家頭部碳化硅襯底廠認可,有望在切片設(shè)備領(lǐng)域完成工藝迭代,成為領(lǐng)先的供應(yīng)商,為新能源革命做出積極貢獻。創(chuàng)新引入激光垂直剝離技術(shù)
貢獻行業(yè)降本新選項
半導(dǎo)體材料是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展的基石,21世紀初至今,第三代半導(dǎo)體材料顯示出了優(yōu)于傳統(tǒng)硅基材料的特性,其中又以碳化硅為代表的第三代半導(dǎo)體材料功率器件逐漸進入產(chǎn)業(yè)化加速放量階段,市場景氣度持續(xù)提升。這是由于碳化硅具有大帶隙、大載流子漂移速率和大熱導(dǎo)率這三大特性,做成的器件有高功率密度、高頻率、高溫和高電壓這“四高”性能,因此是高壓功率器件的演進方向,在新能源汽車、光伏、軌道交通等各類場景下?lián)碛袕V泛的使用前景。在這一背景下,晶飛半導(dǎo)體的創(chuàng)業(yè)契機正源于對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的深刻理解以及對第三代半導(dǎo)體材料加工中存在問題的洞察。制約碳化硅在功率器件滲透率的核心要素便是成本,從成本結(jié)構(gòu)來看,襯底成本占比在SiC器件中高達47%,傳統(tǒng)硅基器件僅有7%;因此碳化硅襯底降本是實現(xiàn)SiC快速滲透的重要途徑。當前,第三代半導(dǎo)體材料如碳化硅、氮化鎵等在硬度和脆性方面存在挑戰(zhàn),而傳統(tǒng)金剛線切割方法在生產(chǎn)晶圓時導(dǎo)致切割損耗嚴重、切割速度慢等問題,從而推高了晶圓的價格。傳統(tǒng)線切VS激光剝離(數(shù)據(jù)來源:elektroniknet.de)晶飛半導(dǎo)體成立的契機在于致力于解決這些難題。通過引入激光垂直剝離技術(shù),公司能夠?qū)崿F(xiàn)對第三代半導(dǎo)體材料的高效、精準剝離,相對于傳統(tǒng)金剛線切割工藝,不僅提高了加工速度,還減少了損耗,降低了生產(chǎn)成本。此技術(shù)創(chuàng)新為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來了新的可能性,使得高質(zhì)量、低成本的第三代半導(dǎo)體材料的生產(chǎn)變得更為可行。自主研發(fā) 國內(nèi)首創(chuàng)
“打磨”出更高效解決方案
晶飛專注于激光垂直剝離技術(shù)研究,旨在實現(xiàn)對第三代半導(dǎo)體材料的精準剝離,以有效降低碳化硅襯底的生產(chǎn)成本。在6英寸和8英寸碳化硅襯底激光垂直剝離技術(shù)的研發(fā)方面,公司近5年連續(xù)獲得“北京市科技計劃項目”支持,并正與國內(nèi)頭部的襯底企業(yè)展開合作工藝開發(fā)。公司的技術(shù)源自中科院半導(dǎo)體所的科技成果轉(zhuǎn)化,創(chuàng)始團隊深耕于激光精細微加工領(lǐng)域,利用超快激光技術(shù),為各種超薄、超硬、脆性材料提供激光解決方案,積極推動激光精細加工在制造業(yè)的國產(chǎn)化和傳統(tǒng)工藝替代。公司目前研發(fā)人員占比80%, 其中40%以上的人員具備博士學位,通過將高度多元化的專業(yè)團隊——包括機械、電氣、軟件和光學專業(yè)融合在一起,致力于技術(shù)創(chuàng)新。相較于傳統(tǒng)金剛線切割工藝,激光垂直剝離技術(shù)可完成高效、精準的材料剝離,同時減少了碳化硅晶圓的損傷,從而解決了加工速度低、損耗大、成本高等問題。從具體數(shù)據(jù)提升上來看,激光垂直剝離相比于金剛線剝離優(yōu)點在于:金剛線剝離的線損為200μm,研磨和拋光的損失為100μm;激光垂直剝離晶圓的線損為0,脈沖激光在晶錠內(nèi)部形成爆破層,在分離后由于裂紋延伸的存在,在后續(xù)拋光加工后材料損失可控制在80~100μm。相比于金剛線剝離損失的1/3,這大大節(jié)約了剝離損失;對于厚度為 2 cm的晶錠,使用金剛線切割晶圓產(chǎn)出量約為 30 片,然而采用激光剝離技術(shù)晶圓產(chǎn)出量約為 45 片,增加了約 50 %。目前,晶飛的第一代樣機已完成組裝與調(diào)試,正在與頭部企業(yè)客戶進行合作驗證和工藝開發(fā),加之團隊此前已經(jīng)做了大量的知識產(chǎn)權(quán)儲備,使公司能夠在多個領(lǐng)域提供創(chuàng)新解決方案,通過與客戶的緊密合作以確保他們夠充分利用公司的設(shè)備和技術(shù),讓公司的創(chuàng)新成果在半導(dǎo)體材料加工中具有巨大潛力,為客戶提供更高效、更精確的加工解決方案。適應(yīng)下游迭代趨勢
為系統(tǒng)變革帶來更多創(chuàng)新性的可能
業(yè)內(nèi)人士表示,晶飛的升級發(fā)展將對整個行業(yè)起到持續(xù)的推動作用。過去碳化硅襯底受制于成本,行業(yè)的滲透一直存在挑戰(zhàn),而通過在切片加工新技術(shù)的部署,可以大幅降低碳化硅襯底成本從而完成下游,如新能源汽車、軌道交通、光伏等行業(yè)的進一步滲透,降低損耗,推動未來能源系統(tǒng)變革。
值得關(guān)注的是,當前國內(nèi)主流碳化硅襯底企業(yè)主要生產(chǎn)6英寸晶圓,許多頭部企業(yè)和研究機構(gòu)已完成8英寸晶圓開發(fā)并推進量產(chǎn)進程。未來8英寸襯底替代6英寸襯底的演進方向同樣決定線切方式存在極大挑戰(zhàn),晶飛的激光垂直剝離技術(shù)將迎來更剛性的需求增長,加快滲透步伐。從另一個角度來看,晶飛的激光垂直剝離設(shè)備不受碳化硅晶錠尺寸限制,能夠為碳化硅襯底企業(yè)提供更靈活的晶圓切片解決方案,從而顯著提高切片效率和晶圓產(chǎn)出率。這一技術(shù)優(yōu)勢為碳化硅晶圓的制造提供了更高度的可定制性和效率優(yōu)勢,為行業(yè)的晶圓生產(chǎn)帶來了創(chuàng)新的可能性。