精密光學(xué)平臺(tái)的應(yīng)用選擇和要求
精密光學(xué)平臺(tái)分為兩大類(lèi):氣蘘減振及機(jī)械阻尼減振,氣蘘減振可獲得較低的頻率(0.7-3)Hz,機(jī)械阻尼減振效果稍遜(3-6)Hz所采用不同的方法減振效果也不同,在選擇光學(xué)平臺(tái)的時(shí)候要考慮所要求的光學(xué)平臺(tái)其減振性能與實(shí)驗(yàn)采集數(shù)據(jù)的精密性相適應(yīng),儀器器件調(diào)試精密度與穩(wěn)定性能也直接影響數(shù)據(jù)的正常采集.光學(xué)平臺(tái)在整個(gè)實(shí)驗(yàn)儀器器件中承擔(dān)的角色是承載、固定、排除減弱外界振源對(duì)儀器器件干擾,光學(xué)平臺(tái)的用途廣泛:以作為在光全息技術(shù),光譜實(shí)驗(yàn)技術(shù),激光聚變技術(shù),現(xiàn)代光學(xué)技術(shù),精密檢測(cè)技術(shù),集成電子技術(shù),光纖通訊及醫(yī)療生物等現(xiàn)代科學(xué)研究工程中的基礎(chǔ)設(shè)備.鑒于光學(xué)平臺(tái)在實(shí)驗(yàn)中的作用,因此要求制造的光學(xué)平臺(tái)具有剛度強(qiáng)、形變量小、承載能力大、減振效果好、對(duì)儀器器件的固定和保護(hù)還要求光學(xué)平臺(tái)的表面具有光潔、防腐、防銹、平整、方便固定器件.在材料選擇上采用強(qiáng)度較高的中碳鋼,平臺(tái)的表面則選用防腐、防銹的導(dǎo)磁不銹鋼.但在要求防電磁場(chǎng)干擾的情況下也全部采用不導(dǎo)磁不銹鋼。當(dāng)光學(xué)平臺(tái)作為科學(xué)研究的基礎(chǔ)設(shè)備時(shí)需要相對(duì)長(zhǎng)的時(shí)間穩(wěn)定和瞬時(shí)快速采集數(shù)據(jù)所要求振動(dòng)振幅,頻率(Hz).提高光學(xué)平臺(tái)所有技術(shù)指標(biāo)并不是唯一的選擇.外部壞境對(duì)光學(xué)平臺(tái)影響也是不可忽視的因素.
光學(xué)平臺(tái)種類(lèi)
光學(xué)平臺(tái)的部件由主要兩部分組成:上部分光學(xué)平臺(tái)箱體、下部分連接光學(xué)平臺(tái)箱體的起調(diào)節(jié)、支撐和穩(wěn)定作用的腳.
從隔振方法上分
- 氣蘘隔振:有內(nèi)置式與外露式;
內(nèi)置式是將氣蘘裝置在支撐腳內(nèi),外置式是氣蘘裸露在外.
- 機(jī)械隔振:有機(jī)械彈簧隔振,氣動(dòng)彈簧隔振;
- 阻尼隔振:利用不同阻尼材料隔振;
從性能效果形式上分
- 簡(jiǎn)易型(又稱(chēng)普通型)
- 精密隔振型
- 自動(dòng)充氣型(又稱(chēng)自動(dòng)平衡)
- 電動(dòng)平移臺(tái)
光學(xué)平臺(tái)箱體
光學(xué)平臺(tái)的箱體要求制造精密、并要消除內(nèi)應(yīng)力已防止因應(yīng)力而產(chǎn)生形變,面板用高導(dǎo)磁不銹鋼材料,臺(tái)板精密制作,平面粗糙度0.4-0﹒8um并且光澤柔和。平面度<0.05mm/㎡。面板的厚度6mm-12mm。M6.螺孔25×25等距制孔。箱體具有足夠的剛度。
支撐腳
支撐腳外形有方形和圓形,功能沒(méi)有區(qū)別,支撐腳內(nèi)置氣蘘。氣蘘與氣室之間有一小孔起阻尼作用,當(dāng)振源干擾平臺(tái)時(shí)氣蘘發(fā)生變形氣體通過(guò)小孔進(jìn)入氣室。使振動(dòng)頻率降低。氣蘘內(nèi)壓大與小可影響振動(dòng)頻率單位大小。支撐腳還承擔(dān)承載箱體儀器器件的重量并調(diào)節(jié)平臺(tái)的水平度。
特殊形狀的光學(xué)平臺(tái)
1.T字型
2.L字型
3.工字型
4.升降式型
5.雙層移動(dòng)型
6.拼接型
普通光學(xué)平臺(tái)的技術(shù)指標(biāo)
1、平面度:0.02mm/㎡-0.05mm/㎡
2、粗糙度:0.4-0.8um
3、固有頻率:4Hz-6Hz
4、振幅:0.1um-0.5um
5、螺孔: M6
6、螺孔矩陣:25×25 50×50
7、高度:800mm
8、規(guī)格:(見(jiàn)例表)
氣墊隔振光學(xué)平臺(tái)技術(shù)指標(biāo)
1、平面度:0.02mm/㎡-0.05mm/㎡
2、粗糙度:0.4-0.8um
3、固有頻率:1.1Hz-2.8Hz
4、振幅:0.01um-0.1um
5、螺孔: M6
6、螺孔矩陣:25×25 50×50
7、高度:800mm
8、規(guī)格:(見(jiàn)例表)
自動(dòng)平衡光學(xué)平臺(tái)技術(shù)指標(biāo)
1、平面度:0.02mm/㎡-0.05mm/㎡
2、粗糙度:0.4-0.8um
3、固有頻率:1.1Hz-2.8Hz
4、振幅:0.01um-0.1um
5、螺孔: M6
6、螺孔矩陣:25×25 50×50
7、高度:800mm
8、規(guī)格:(見(jiàn)例表)
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