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光學(xué)平臺(tái)

超高精度位移平臺(tái)

星之球激光 來源:美國(guó)萊特太平洋公司2011-08-18 我要評(píng)論(0 )   

CVI Melles Griot公司17MAX600系列6維精密位移平臺(tái)(X, Y, Z, x, y, z)及17MAX300系列3維精密位移平臺(tái)(X,Y,Z)集超高的調(diào)節(jié)精度及穩(wěn)定性于一身。專利設(shè)計(jì)parallel-fle...

       CVI  Melles Griot公司17MAX600系列6維精密位移平臺(tái)(X, Y, Z, θx, θy, θz)及17MAX300系列3維精密位移平臺(tái)(X,Y,Z)集超高的調(diào)節(jié)精度及穩(wěn)定性于一身。專利設(shè)計(jì)parallel-flexure技術(shù),使17MAX系列精密位移平臺(tái)擁有明顯優(yōu)于同類產(chǎn)品的可靠性。

    17 MAX 300及17 MAX 600 系列精密定位平臺(tái)可配合Melles Griot公司各種手動(dòng)差分驅(qū)動(dòng)器(17DRV002)、步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器(17DRV001)、及壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(17DRV120)一起使用。

 

    17 MAX 系列精密定位平臺(tái)中有幾款已經(jīng)裝有內(nèi)置,但通過增加外置的17DRV120 壓電驅(qū)動(dòng)器還可以進(jìn)一步提高壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的行程。下圖 即為17 MAX 301維精密位移平臺(tái)(含內(nèi)置PZT驅(qū)動(dòng)器)+17DRV120壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器+17DRV002手動(dòng)差分驅(qū)動(dòng)器的組合,這樣既利用了差分驅(qū)動(dòng)器的較長(zhǎng)的行程,又得到了雙倍PZT行程。

 

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