相關(guān)產(chǎn)品:準分子激光氣體
在準分子激光器全球的醫(yī)療、半導體、光纖、平板顯示、材料研究等高端行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用,但作為專業(yè)的準分子激光氣體的重要廠商,我們同時也發(fā)現(xiàn)在準分子激光器的使用上,還存在著一些隱憂,筆者想通過這篇文章,以引起相關(guān)操作人員的重視。
準分子激光氣體的主要成分:
氟化氬(ArF) 193 nm :F2、Ar、He、Ne;
氟化氪(KrF) 248 nm :F2、Ar、He、Ne;
氯化氙(XeCl)308 nm :HCl、H2、Xe、Ne
氟化氙(XeF) 351 nm:F2、#p#分頁標題#e#Xe、He、Ne
顯而易見,準分子激光氣體成份中,Ar、He、Ne、Kr、Xe都是無色、無味、無毒、不可燃的惰性稀有氣體,除非大量釋放到密閉空間會引起窒息外,對人體的危害是有限的,排除惰性稀有氣體的危害最主要的做法還是通風,增強室內(nèi)空氣的對流。
除了稀有氣體之外,準分子激光氣中的F2是我們采取防范措施的重中之重。很多情況下,準分子激光氣體都是以預(yù)混的形式進行供應(yīng),這些預(yù)混氣的F2濃度都在1%以下,但足以對人體健康構(gòu)成威脅,尤其是一些工業(yè)和科研應(yīng)用的準分子激光氣,使用的是5%F2+95%He,這類型的氣體對人體的危害更為嚴重。
氟氣,化學式F2,是一種淡黃色、極具腐蝕性的雙原子分子氣體,密度(標準狀態(tài)下):
物質(zhì)狀態(tài): |
氣體 |
形狀: |
透明氣體 |
|
氣味: |
辛辣、臭味 |
|
顏色: |
透明無色 |
沸點/沸點范圍: |
|
PH值: |
N/A |
閃火點: |
無 |
分解溫度: |
無 |
測試方法: |
○開杯 ○閉杯 |
自燃溫度: |
無 |
爆炸界限: |
爆炸下限(LEL) / 爆炸上限(UEL):…/… |
蒸氣壓: |
756.4 psig |
蒸氣密度: |
1.312 (空氣=1) |
密度: |
|
溶解度: |
完全互溶 |
理化性質(zhì)#p#分頁標題#e#
化學分子式: F2
分子量: 37.9968
熔點(101.325kPa):
沸點(101.325kPa):
液體密度(-
氣體密度(
相對密度(氣體,空氣=1#p#分頁標題#e#,
比容(
臨界溫度:
臨界壓力: 5215kPa
臨界密度:
熔化熱(-
氣化熱(-
比熱容(氣體,
Cv=609.65J/(mol.K)
比熱比(氣體,
蒸氣壓(53.56K): 0.223kPa
(77.17K): 37.383kPa
(89.40K): 162.638kPa
粘度(氣體,
(液體,
表面張力(-
導熱系數(shù)(氣體,
(液體,
折射率(氣體,
(液體,
毒性級別: 4
易燃性級別: 0
易爆性級別: 3
火災(zāi)危險度: 極大
氟是電負度最強的元素,也是很強的氧化劑。在常溫下,氟幾乎能和所有的元素化合,并產(chǎn)生大量的熱能,在所有元素中,氟是最活潑的。在-
毒性
人吸入TCLo:25ppm,5分鐘,對眼有刺激性
最高容許濃度:0.1 ppm (0.2mg/m3)
氟是劇毒性氣體,能刺激眼、皮膚、呼吸道粘膜。由于它立即與水反應(yīng)生成氟化氫HF,所以在大多數(shù)情況下顯出與氟化氫同樣的毒性。輕微吸入會影響肺、鼻、喉嚨等呼吸道黏膜,導致咳嗽及呼吸困難,過度吸入有可能產(chǎn)生組織破壞或肺水腫。
當氟濃度為5~10ppm時,對眼、鼻、咽喉等粘膜開始有刺激作用,作用時間長時也可引起肺水腫。與皮膚接觸可引起毛發(fā)的燃燒,接觸部位凝固性壞死、上皮組織碳化等。慢性接觸可引起骨硬化癥和韌帶鈣化。氟物質(zhì)會與水或空氣中之濕氣反應(yīng)成氟化氫或氫氟酸,如果超過20%氟化氫或氫氟酸污染致人體可能導致血鈣過少。吸入氟的患者應(yīng)立即轉(zhuǎn)移至無污染的安全地方安置休息,并保持溫暖舒適。眼睛或皮膚受刺激時迅速用水沖洗之后就醫(yī)診治。氟物質(zhì)亦會與水或空氣中之濕氣反應(yīng)成氟化氫或氫氟酸。水中生物部分,如混合氣體大量的在河邊或水中外泄,會導致魚類或水中生物死亡。
安全防護
工作場所要通風保持空氣新鮮干燥。要用特種鋼瓶貯裝。鋼瓶存放時必須與其它物料隔離,特別是與能和氟反應(yīng)的物料隔絕,要遠離易起火地點。
著火時消防人員須在防爆掩蔽處操作,切不可將水直接噴射漏氣處,否則會助長火勢。滅火可用二氧化碳、干粉、砂土、廢氣可用水吸收。
個人防護設(shè)備: |
呼吸防護:當氟物質(zhì)超過暴露標準,或是緊急處理程序時,必須使用呼吸防護具。 眼部:頭盔附護目鏡 (不可戴隱形眼鏡) 手套:橡膠手套 其它:全套防化學污染之衣物 |
衛(wèi)生措施: |
使用時禁止吸煙或進食,并需注意環(huán)境整潔及個人衛(wèi)生。 |
安全與運輸
氟氣是一種毒性極高的強腐蝕性氣體,在濕空氣中易形成氟化氫或二氟化氫。氟的腐蝕性突出表 現(xiàn)為強烈的酸性刺激性,其性質(zhì)同氟化氫相似。與水、水蒸氣反應(yīng),產(chǎn)生有毒腐蝕性煙氣,并放出熱。
氟氣對皮膚的灼傷速度比氫氟酸快許多,眼睛是氟中毒的敏感部位,它對眼睛的刺激程度也大大超過 氫氟酸。呼吸到低含量的氟氣不會產(chǎn)生明顯的生理病變,但經(jīng)過呼吸系統(tǒng)進入人體的骨組織內(nèi),引起化 學反應(yīng)導致骨質(zhì)松軟。氟氣屬有毒壓縮氣體,宜儲存于陰涼、通風倉內(nèi),,并應(yīng)遠離火種、熱源。氟氣應(yīng)與易燃或可燃物、金屬粉末等分開存放。
工程控制: |
工作場地需為通風良好場所,建議鋼瓶放置在安全的通風處如毒氣柜,操作時應(yīng)有監(jiān)控系統(tǒng)以降低員工暴露危險 |
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控制參數(shù) |
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八小時日時量平均容許濃度 TWA |
短時間時量平均容許濃度 STEL |
最高容許濃度 Ceiling |
生物標準 BEI(ACGIH) |
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0.1 ppm |
2.0 ppm |
10 ppm |
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生物指標 |
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LD50(測試動物吸收途徑) |
LC50(測試動物吸收途徑) |
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測試動物( - )吸收途徑 |
測試動物(185ppm)吸收途徑 |
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生態(tài)資料
可能之環(huán)境影響/環(huán)境流布:氪氣、氖氣為大氣中自然產(chǎn)生之氣體成分之一,不會造成環(huán)境影響。在自然水中,包含了鈣及其它含堿之化學物質(zhì),與氟物質(zhì)接觸后會產(chǎn)生氟化鈣及其它的氟化鹽物質(zhì)等中和現(xiàn)象。此外,氟物質(zhì)亦會與水或空氣中之濕氣反應(yīng)成氟化氫或氫氟酸,所有作業(yè)操作必須以降低環(huán)境中污染物為目標。 |
植物或動物影響:因為混合氣體中的毒性物質(zhì),動物暴露在混合氣體下會造持細胞組織破壞、燃燒并有可能導致死亡。植物如受到此混合氣體污染,可能遭致有害影響或破壞 |
水中生物:混合氣體中的氟物質(zhì),會對水中生物產(chǎn)生不利的影響,如果混合氣體大量的在河邊或水中外泄,會導致魚類或水中生物死亡。 |
臭氧消耗影響:此混合氣體的成分不為第一級或第二級臭氧消耗的化學成分 |
廢棄處置方法
廢棄處置方法:以慢速通過蘇打 (碳酸鈉) 吸收過濾之 |
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