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8、花瓣形

圖3所示的誤差隨時間和間隔不斷增加使線出現(xiàn)花瓣形。導(dǎo)致花瓣形的可能原因有：(1)在材料溫度傳感器定位不正確或者膨脹系數(shù)不正確。(2)滾珠絲杠在測試期間溫度進步、機床溫度改變。

圖3 花瓣形誤差曲線

為保證測試的精確度，建議在開始校準(zhǔn)之前要讓機床完全預(yù)熱。在圖3中，安裝滾珠絲杠的端部可能正好與行程起始點重合，并且可在另一端產(chǎn)生軸向浮動。假如滾珠絲杠在對端受到限制，圖形將顯示負(fù)坡度。

9、三角形

三角形曲線是指誤差呈線性增加，誤差在行程最遠(yuǎn)端機床反轉(zhuǎn)時出現(xiàn)躍升，然后在回程測試回到與軸線起始點時回到同樣位置上。出現(xiàn)三角形的可能原因是在軸線外端部因?qū)к壞p而出現(xiàn)偏轉(zhuǎn)。應(yīng)當(dāng)留意的是，反向反射鏡的位置對顯示的誤差有明顯影響。建議使用角度光學(xué)鏡組直接丈量偏轉(zhuǎn)角，以便對偏轉(zhuǎn)題目的嚴(yán)重程度有充分的了解。

10、臺階形

圖4顯示的或上或下臺階沿軸線長度按一定的間隔出現(xiàn)。出現(xiàn)臺階形的可能原因在機床方面：大機床上各齒條段對準(zhǔn)不佳或裝配不佳或線性編碼器或感應(yīng)式丈量器分段對準(zhǔn)不佳或裝配不佳。

圖4 臺階形誤差曲線

在裝備有齒條和齒輪傳動機構(gòu)的大型機床上，齒條由很多分別裝配在機床上的單獨分段組成，必須確保每段都正確地與其它段對準(zhǔn)，保證齒輪能夠平滑地從一段轉(zhuǎn)到下一段。假如齒條段未正確對準(zhǔn)，傳動齒輪在經(jīng)過對準(zhǔn)不佳的接合點時可能發(fā)生偏轉(zhuǎn)。這種偏轉(zhuǎn)會導(dǎo)致丈量值出現(xiàn)突躍臺階。這種題目可以通過檢查每個齒條段的長度和相對位置，并與圖形數(shù)據(jù)比較來查明。

綜上分析可以看出，除機床本身精度不佳會帶來上述各種誤差，激光干涉儀操縱不當(dāng)(包括精度不夠穩(wěn)定或采用自身對溫度影響比較敏感的激光干涉儀系統(tǒng))也會帶來較大誤差。