用于CO2激光器的典型工作氣體內(nèi)含有:二氧化碳、氮、氦和氙。氮氣和氦氣有利于放電的均勻性。氙氣對RF放電激光器的功率和效率具有積極影響。添加5%氙氣可使功率提高24%。
通常單模結(jié)構(gòu)器件,單位長度注入的連續(xù)(射頻)激勵功率限于2~6W/cm,轉(zhuǎn)換效率為10%~20%,對激光電源的一般要求為:穩(wěn)定可靠、維修方便、效率高、尺寸小、成本低。
具體技術(shù)條件如下:
1、調(diào)制器:脈沖調(diào)制頻率0~100kHz方波連續(xù)可調(diào);占空比連續(xù)可調(diào);幅度調(diào)制度100%。
2、RF電源:輸入功率160W;工作頻率40MHz;輸出波形正弦波;帶寬△f±3MHz;效率70%。
3、輸入?yún)?shù):交流輸入電壓220V;交流輸入電流1.5A;開關(guān)電源輸出直流電壓30V;開關(guān)電源輸出電流8A。
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