隨著光纖激光器技術(shù)的成熟和成本快速下降,傳統(tǒng)加工系統(tǒng)設(shè)備越來越多地轉(zhuǎn)向采用光纖激光器。因此,在去年國內(nèi)不少風(fēng)投、相關(guān)企業(yè)扎堆進入了光纖激光器的研發(fā)與生產(chǎn),國內(nèi)光纖激光器產(chǎn)業(yè)一時間成為了最熱門的投資領(lǐng)域。
國神光電這家于2011年初剛剛成立的新企業(yè),也專注于光纖激光器研發(fā),并在2011年年底推出了適用于半導(dǎo)體、液晶顯示器等超精密切割加工的中國第一臺商用化飛少光纖激光器。國神光電總經(jīng)理周士安博士對光纖在線的編輯說,國內(nèi)光纖激光器的市場競爭太激烈了,他們選擇從10ns以下的用于超精密加工市場的超短脈沖光纖激光器著手,差異化專注于小眾市場。
超短脈沖光纖激光技術(shù)已有20多年的發(fā)展歷程,直到近幾年才開始在工業(yè)界應(yīng)用。主要原因在于研發(fā)飛秒、皮秒光纖激光器需要深厚的理論知識背景(尤其是非線性光學(xué)知識)和相關(guān)的實驗背景積累。因此,國神光電科技的研發(fā)團隊中,超過50%的研發(fā)人員來自于積累多年激光器開發(fā)研究的外企及留學(xué)生背景,公司采取全員股份制,注重團隊的力量。
周博士介紹說選擇從超精密加工市場入手,是因為看到國內(nèi)光纖激光器的市場異常地?zé)狒[,國神光電科技還是一個注重研發(fā)的小型企業(yè),通過走量不適合他們,所以聚焦于小眾的市場更符合他們的現(xiàn)狀。雖然國內(nèi)的天大,和一些光機所已經(jīng)在早些年間著手于超短脈沖(飛秒)光纖激光器的研究,但仍處于實驗試階段,無真正意義上的商用。而國神光電于2011年底推出的高功率飛秒光纖激光器,成為中國第一臺商業(yè)化的產(chǎn)品。
他舉例說超短脈沖(飛秒)光纖激光器在芯片加工領(lǐng)域的應(yīng)用。雖然目前激光晶圓切割技術(shù)中,紫外(UV)納秒激光器仍占據(jù)主導(dǎo)地位,但由于紫外納秒激光切割時,所產(chǎn)生的熱效應(yīng)對晶圓產(chǎn)生壓力和張力,使得切割端面較為粗糙,從而降低了器件的壽命和可靠性。所以國神光電科技利用超短脈沖(飛秒)光纖激光器切割晶圓,在納秒時間內(nèi)對熱量沉積進行有效控制,并且選擇合適的工藝參數(shù),以避免為增加產(chǎn)量提高激光重復(fù)頻率所導(dǎo)致的熱累積效應(yīng)。從而可以消除納秒激光脈沖在切割區(qū)域外所產(chǎn)生的熱擴散。
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