傳統(tǒng)的光電轉(zhuǎn)換技術(shù)一般采用LED等發(fā)光器件。這種發(fā)光器件多采用邊緣發(fā)射,體積大,因此比較難以和半導(dǎo)體技術(shù)結(jié)合。20世紀(jì)90年代垂直腔表面發(fā)射激光VCSEL技術(shù)成熟后,解決了發(fā)光器件和半導(dǎo)體技術(shù)結(jié)合的問題,因此迅速得到普及。
晶圓光學(xué)鏡片中間的兩面發(fā)射垂直腔面發(fā)射體激光器(VCSEL)
近年來,智能手機領(lǐng)域相關(guān)技術(shù)更新迭代十分迅速,由于人們的日常需求逐漸提高,手機的拍照,感應(yīng),識別等功能尤其受到關(guān)注,故手機攝像頭用量提升的趨勢仍處于加速態(tài)勢,特別是3D攝像頭等新創(chuàng)新的使用也將為手機攝像頭領(lǐng)域提供增益,尤其以VCSEL激光器為核心關(guān)鍵元器件的3D Sensing攝像頭在手機上的應(yīng)用,帶動相關(guān)市場迎來一輪爆發(fā)。
3D Sensing攝像頭
3D Sensing攝像頭相比于傳統(tǒng)攝像頭除了能夠獲取平面圖像以外,還可以獲得拍攝對象的深度信息,即三維的位置及尺寸信息,其通常由多個攝像頭+深度傳感器組成。3D 攝像頭實現(xiàn)實時三維信息采集,為消費電子終端加上了物體感知功能,從而引入多個“痛點型應(yīng)用場景”,包括人機交互、人臉識別、三維建模、安防和輔助駕駛等多個領(lǐng)域,3D Sensing攝像頭讓交互方式從平面變成了立體。而3D Sensing攝像頭產(chǎn)業(yè)鏈與傳統(tǒng)攝像頭產(chǎn)業(yè)鏈相比主要新增加紅外光源+光學(xué)組件+紅外傳感器等部分,其中最關(guān)鍵的部分就是紅外光源。
因特爾公司研發(fā)的RealSense 3D攝像頭架構(gòu)
目前,可以提供800-1000nm波段的近紅外光源主要有三種:紅外LED、紅外LD-EEL(邊發(fā)射激光二極管)和VCSEL(垂直腔面發(fā)射激光器)。早期3D傳感系統(tǒng)一般都使用LED作為紅外光源,但是隨著VCSEL技術(shù)的成熟,性價比已經(jīng)接近紅外LED,除此之外,在技術(shù)方面,由于LED不具有諧振腔,導(dǎo)致光束更加發(fā)散,在耦合性方面很差,而VCSEL在精確度、小型化、低功耗、可靠性全方面占優(yōu)的情況下,現(xiàn)在常見的3D攝像頭系統(tǒng)一般都采用VCSEL作為紅外光源。而與傳統(tǒng)邊發(fā)射激光器相比,VCSEL 在光束質(zhì)量、與光纖耦合效率、腔面反射率上都具有較大優(yōu)勢,且因為VCSEL發(fā)射光線垂直于襯底而邊發(fā)射激光器發(fā)射光線平行于襯底,因此 VCSEL 能夠?qū)崿F(xiàn)二維陣列而邊發(fā)射激光器不行。
VCSEL技術(shù)
深度解讀(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,簡稱VCSEL,又譯垂直共振腔面射型雷射)是一種半導(dǎo)體,其激光垂直于頂面射出,與一般用切開的獨立芯片制成,激光由邊緣射出的邊射型激光有所不同。
VCSEL是很有發(fā)展前景的新型光電器件,也是光通信中革命性的光發(fā)射器件。顧名思義,邊發(fā)射激光器是沿平行于襯底表面、垂直于解理面的方向出射,而面發(fā)射激光器其出光方向垂直于襯底表面,如下圖:
邊發(fā)射激光器(a)與面發(fā)射激光器(b)示意圖
它優(yōu)于邊發(fā)射激光器的表現(xiàn)在于:易于實現(xiàn)二維平面和光電集成;圓形光束易于實現(xiàn)與光纖的有效耦合;可以實現(xiàn)高速調(diào)制,能夠應(yīng)用于長距離、高速率的光纖通信系統(tǒng);有源區(qū)尺寸極小,可實現(xiàn)高封裝密度和低閾值電流;芯片生長后無須解理,封裝后即可進行在片實驗;在很寬的溫度和電流范圍內(nèi)都以單縱模工作;價格低。
VCSEL的優(yōu)異性能已引起廣泛關(guān)注,成為國際上研究的熱點。這十多年來,VCSEL在結(jié)構(gòu)、材料、波長和應(yīng)用領(lǐng)域都得到飛速發(fā)展,部分產(chǎn)品已進入市場。
VCSEL 基本結(jié)構(gòu)
VCSEL 的結(jié)構(gòu)示意圖如下圖所示。它是在由高、低折射率介質(zhì)材料交替生長成的分布布喇格反射器(DBR)之間連續(xù)生長單個或多個量子阱有源區(qū)所構(gòu)成。典型的量子阱數(shù)目為 3~5 個,它們被置于駐波場的最大處附近,以便獲得最大的受激輻射效率而進入振蕩場。在底部還鍍有金屬層以加強下面 DBR 的光反饋作用,激光束從頂部透明窗口輸出。
實際上,要完成低閾值電流工作,和一般的條型半導(dǎo)體激光器一樣,必須使用很強的電流收斂結(jié)構(gòu),同時進行光約束和截流子約束。由上圖可見,VCSEL的半導(dǎo)體多層模反射鏡 DBR 是由 GaAs/AlAs 構(gòu)成的,經(jīng)蝕刻使之成為 air-post(臺面)結(jié)構(gòu)。在高溫水蒸汽中將 AlAs 層氧化,變?yōu)橛薪^緣性的 AlxOy 層,其折射率也大大降低,因而成為把光、載流子限制在垂直方向的結(jié)構(gòu)。對 VCSEL 的設(shè)計集中在高反射率、低損耗的 DBR 和有源區(qū)在腔內(nèi)的位置。
VCSEL激光器的特點
由于VCSEL與邊發(fā)射激光器有著不同的結(jié)構(gòu),這就決定了兩者之間有不同的特點和性能,下表中列出了兩種激光器的基本參數(shù)。
從表中我們可以看出,VCSEL有源區(qū)的體積小、腔短,這就決定了它容易實現(xiàn)單縱模、低閾值(亞毫安級)電流工作,但是為了得到足夠高的增益,其腔鏡的反射率必須達到99%。VCSEL具有較高的弛豫振蕩頻率,從而在高速數(shù)據(jù)傳輸以及光通信中,預(yù)計將有著廣泛的應(yīng)用。VCSEL出光方向與襯底表面垂直,可以實現(xiàn)很好的橫向光場限制,進行整片測試,得到圓形光束,易與制作二維陣列,外延晶片可以在整個工藝完成前,節(jié)約了生產(chǎn)成本。
VCSEL的優(yōu)點主要有:
1、出射光束為圓形,發(fā)散角小,很容易與光纖及其他光學(xué)元件耦合且效率高。
2、可以實現(xiàn)高速調(diào)制,能夠應(yīng)用于長距離、高速率的光纖通信系統(tǒng)。
3、有源區(qū)體積小,容易實現(xiàn)單縱模、低閾值的工作。
4、電光轉(zhuǎn)換效率可大于50%,可期待得到較長的器件壽命。
5、容易實現(xiàn)二維陣列,應(yīng)用于平行光學(xué)邏輯處理系統(tǒng),實現(xiàn)高速、大容量數(shù)據(jù)處理,并可應(yīng)用于高功率器件。
6、器件在封裝前就可以對芯片進行檢測,進行產(chǎn)品篩選,極大降低了產(chǎn)品的成本。
7、可以應(yīng)用到層疊式光集成電路上,可采用微機械等技術(shù)。
VCSEL的發(fā)展史
VCSEL的歷史,也是在諸多學(xué)者機構(gòu)的努力下,其性能不斷優(yōu)化的歷史,在這幾十年的歷史中,IGA及其帶領(lǐng)的團隊起到了不可磨滅的作用,可以堪稱IGA教授為VCSEL之父。
隨著VCSEL的諸多優(yōu)點,其應(yīng)用也越來越廣泛。并且為了適合這些應(yīng)用,VCSEL也朝著多個方向在各自發(fā)展,如圖所示,為其主要應(yīng)用:
不同波長VCSEL應(yīng)用領(lǐng)域
由于目前VCSEL最主要應(yīng)用在光傳輸方面,基于1979年Soda等人的VCSEL為開端,VCSEL的發(fā)展,主要經(jīng)歷了2個階段:
第一階段:從VCSEL誕生到20世紀(jì)末,蠻荒發(fā)展階段。
在這個階段,各個組織機構(gòu)都提出以及嘗試了各種不同結(jié)構(gòu)類型的VCSEL,最終氧化物限制型VCSEL由于其諸多優(yōu)點而勝出。
1994年,Huffaker等人率先采用在臺面結(jié)構(gòu)(Mesa)下本征氧化AlGaAs,生成掩埋高阻層Al氧化物的方式,來對電流進行進一步的限制。利用這種結(jié)構(gòu),閾值電流可以降低到225uA。而這種結(jié)構(gòu)就是目前普遍采用的氧化物限制型(Oxide-confined)結(jié)構(gòu)的原型;
首個氧化物限制型VCSEL
2013年,Iga對VCSEL的關(guān)鍵指標(biāo)如閾值電流、調(diào)制帶寬與有源區(qū)的關(guān)系給出了簡單的關(guān)系公式。
VCSEL的閾值電流同其他半導(dǎo)體激光器一樣,與有源區(qū)體積有如下關(guān)系式:
由公式可以看出,為了降低閾值電流,就需要不斷減小有源區(qū)體積。比較當(dāng)前的VCSEL與條狀激光器的有源區(qū)體積,可以發(fā)現(xiàn),VCSEL的V=0.06um3,條狀激光器依然在V=60um3,這就是為什么條狀激光器的閾值電流典型值仍舊在幾十mA的級別,而VCSEL的閾值電流已經(jīng)達到了亞毫安級別。
第二階段:逐漸發(fā)展成熟階段及優(yōu)化階段。
由于氧化物限制型的VCSEL具有低閾值電流等很多優(yōu)點,這種結(jié)構(gòu)的VCSEL被很快運用到了光通信中。
由于高的工作電流可以帶來更好的調(diào)制特性,但同時也會相應(yīng)的增加功耗,進而帶來溫度的上升,會對可靠性帶來影響。調(diào)制速率與功耗成了VCSEL在光傳輸領(lǐng)域中重要的挑戰(zhàn)。2007年,Y-C.Chang等人采取增加深氧化層層數(shù)到5層以及增加p型摻雜濃度來降低串聯(lián)阻抗的方式,在0.9mA電流下實現(xiàn)的15GHz調(diào)制帶寬,相應(yīng)的功耗只有1.2mW,帶寬/功耗比只有12.5GHz/mW,是當(dāng)時最先進水平。VCSEL截面結(jié)構(gòu)如圖所示:
深氧化層氧化物限制型VCSEL
利用相同的VCSEL結(jié)構(gòu),同年,Y-C.Chang等人又實現(xiàn)了35Gbps的無誤碼傳輸。
2011年,Petter Westbergh等人研究了850nm氧化物限制型VCSEL光子壽命與諧振頻率及調(diào)制速率的關(guān)系,并指出在高諧振頻率以及低阻尼震蕩中取得一個折衷來提高速率:當(dāng)光子壽命接近3ps時,可以使VCSEL的調(diào)制帶寬達到23GHz,同時可以得到40Gb/s的無誤碼傳輸。
近年來,各個興趣小組對于高速率、低功耗的VCSEL研究依然興趣不減,圖10是截止到2015年,各機構(gòu)的研究成果??梢钥闯?,如果采用預(yù)加重的方式,目前VCSEL背靠背傳輸可以達到71Gbit/s。
短波長VCSEL光互聯(lián)領(lǐng)域發(fā)展近況
VCSEL廠商情況
VCSEL國外廠商主要有Broadcom、Lumentum、Finisar、II-VI、Philips Photonics、ams、Osram等,國內(nèi)主要有江蘇華芯、武漢光迅科技,其他還有山東太平洋、深圳源國、國星光電、華工科技、三安光電、乾照光電、華燦光電以及睿熙科技等公司。可以看出,基本上都是來自于光通信芯片的龍頭企業(yè);也正是VCSEL有了在光通信領(lǐng)域的經(jīng)驗,消費級應(yīng)用變得順理成章,兩者產(chǎn)品具備很強的技術(shù)延展性。
1、Broadcom
Broadcom是VCSEL芯片的主要供應(yīng)商之一。2016年2月,Avago收購了博通,成立了新博通。博通在光學(xué)數(shù)據(jù)通訊市場產(chǎn)品供應(yīng)豐富,包括光纖接收器、嵌入式光學(xué)模組以及自適應(yīng)光纜等。博通憑借近期VCSEL出貨量的升級,該公司已經(jīng)出貨100萬件25G VCSEL器件,使其市場領(lǐng)導(dǎo)領(lǐng)域擴展至光學(xué)網(wǎng)絡(luò)市場。
2、Lumentum
Lumentum是2015年從JDSU分拆出來的公司,主要生產(chǎn)和銷售光纖相關(guān)產(chǎn)品,銷售給全球光纖網(wǎng)絡(luò)及商用激光客戶,公司分2個部門來運作:光通信、商用激光器。Lumentum是蘋果公司的第一家VCSEL供應(yīng)商,芯片代工在臺灣穩(wěn)懋。
2018年3月,Lumentum宣布溢價27%收購Oclaro,交易金額約18億美元。通過收購,Lumentum將獲得Oclaro的磷化銦、光電積體整合電路技術(shù)。
3、Finisar
Finisar是蘋果公司的第二家VCSEL供應(yīng)商。2017年12月,蘋果對Finisar投資3.9億美元,用于增加VCSEL的研發(fā)和生產(chǎn)。Finisar將使用這筆資金把德克薩斯州謝爾曼一家面積70萬平方英尺的已關(guān)閉制造廠,改造成開發(fā)VCSEL芯片的工廠,未來將用于蘋果產(chǎn)品。所有的蘋果訂單的加工將使用100%的可再生能源,預(yù)計新工廠將于2018年下半年投入運營。
4、II-VI
II-VI公司成立于1987年,業(yè)務(wù)主要分為紅外光學(xué)、近紅外光學(xué)、軍事和材料、先進產(chǎn)品部四大部門。
II-VI公司重金投入2017年8月以8000萬美元從Kaiam收購的6英寸VCSEL制造廠。Kaiam位于英國牛頓艾克利夫占地30萬平方英尺的工廠擁有10萬平方英尺的潔凈室,專為大規(guī)模制造GaAs、SiC以及InP化合物半導(dǎo)體器件而設(shè)計。
2018年3月,II-VI公司宣布8500萬美元收購波長選擇開關(guān)(WSS)供應(yīng)商CoAdna。2018年9月,交易完成。CoAdna將并入II-VI Photonics部門此項交易將強化II-VI公司ROADMs產(chǎn)品垂直整合能力。
5、Philips Photonics
Philips Photonics是飛利浦全資子公司,生產(chǎn)760nm-948nm VCSEL傳感類用的單模激光管,VCSEL技術(shù)具有20多年研發(fā)經(jīng)驗,是原德國Ulm Photonics公司,2006年P(guān)hilips收購Ulm Photonics。760nm-948nm VCSEL單模激光器主要應(yīng)用于,激光吸收光譜TDLAS測量氧氣和水分子、紅外傅里葉變換光譜、原子鐘、干涉儀、編碼器以及運動控制等傳感方面應(yīng)用。
6、ams
ams通過收購快速轉(zhuǎn)型,成為聚焦在光學(xué)傳感器領(lǐng)域的主要供應(yīng)商。在總部奧地利的工廠負責(zé)前端晶圓制造,新加坡廠則負責(zé)光學(xué)傳感器生產(chǎn)和封裝以及VCSEL制造,測試/傳感器校準(zhǔn)工作則在奧地利和菲律賓的廠內(nèi)進行。2017年,ams對其位于新加坡的6吋晶圓廠(2000 wspm)產(chǎn)能(主要生產(chǎn)VCSEL芯片)進行擴充投資,針對最新具有人臉識別技術(shù)的高端手機所需器件進行投產(chǎn),增加員工也大部分集中于此,以支持3D和光學(xué)傳感領(lǐng)域的迅速增長,預(yù)計在2019年實現(xiàn)量產(chǎn)。
ams在成像和光學(xué)方面陸續(xù)收購了Heptagon、Princeton Optronics、CMOSIS、KeyLemon、Mazet這幾家公司。其中,KeyLemon公司具備領(lǐng)先的3D人臉識別知識產(chǎn)權(quán)庫。Princeton Optronics公司可以提供VCSEL光源發(fā)射器。
7、Osram
2018年5月,Osram收購美國Vixar公司。Osram是紅外LED和紅外激光二極管的技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者,通過引入Vixar在VCSEL方面的專業(yè)技術(shù),Osram將在該領(lǐng)域擁有更強的技術(shù)能力和產(chǎn)品組合。
Vixar公司成立于 2005 年,為生物醫(yī)學(xué)、工業(yè)、辦公產(chǎn)品、汽車和消費品行業(yè)的傳感器等應(yīng)用制造波長在650~1000 nm 之間的 VCSEL。
8、江蘇華芯
江蘇華芯成立于2015年底,是目前國內(nèi)唯一一家能夠自主完成VCSEL和藍光半導(dǎo)體激光器芯片外延及芯片工藝制造,并實現(xiàn)量產(chǎn)的公司。2017年11月,10G VCSEL芯片量產(chǎn)并批量出貨。2018年3月,940nm 100mW VCSEL產(chǎn)品定型。
目前年產(chǎn)能為5000萬顆單管光通訊VCSEL芯片、2500萬顆VCSEL面列陣芯片、500萬顆藍光芯片。預(yù)計到2018年底,將形成5000萬顆3D傳感VCSEL芯片的年產(chǎn)能。
華芯半導(dǎo)體提供真正可靠的國產(chǎn)VCSEL芯片
9、武漢光迅科技
武漢光迅科技是國內(nèi)光通信光模塊器件最大的公司,公司牽頭組建了“國家信息光電子創(chuàng)新中心”,短期來看可以幫助公司節(jié)約研發(fā)支出,長期來看有利于公司充分發(fā)揮產(chǎn)業(yè)協(xié)同優(yōu)勢,完善技術(shù)前瞻布局。光迅科技近年來積極開展波長為850nm/940nm VCSEL 芯片的研發(fā),應(yīng)用于光通信、3D傳感等領(lǐng)域。
光迅科技光芯片平臺能力
VCSEL應(yīng)用領(lǐng)域
在應(yīng)用領(lǐng)域方面,VCSEL從誕生起就作為新一代光存儲和光通信應(yīng)用的核心器件,應(yīng)用在光并行處理、光識別、光互聯(lián)系統(tǒng)、光存儲等領(lǐng)域。隨著工藝、材料技術(shù)改進,VCSEL器件在功耗、制造成本、集成、散熱等領(lǐng)域的優(yōu)勢開始顯現(xiàn),逐漸應(yīng)用于工業(yè)加熱、環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)療設(shè)備等商業(yè)級應(yīng)用以及3D感知等消費級應(yīng)用。
未來,隨著智能化信息世界的不斷發(fā)展,VCSEL將廣泛應(yīng)用在消費電子3D成像、物聯(lián)網(wǎng)、數(shù)據(jù)中心/云計算、自動駕駛等領(lǐng)域。其中,VCSEL在消費電子領(lǐng)域發(fā)揮越來越重要的作用,VCSEL可用來進行智能手機人臉識別、無人機避障、VR/AR、掃地機器人、家用攝像頭等。
(1)消費電子3D成像:VCSEL是消費電子視覺成像、三維感應(yīng)的基礎(chǔ)元器件,預(yù)計2020年,僅智能手機為VCSEL市場貢獻超過20億美元的收入。
(2)物聯(lián)網(wǎng):VCSEL是物聯(lián)網(wǎng)的重要傳感器件,預(yù)計2025年,全球?qū)⒂袛?shù)十億設(shè)備接入物聯(lián)網(wǎng),全球物聯(lián)網(wǎng)市場有望超過30萬億美元。
(3)數(shù)據(jù)中心/云計算:VCSEL用于數(shù)據(jù)中心,預(yù)計2020年,全球VCSEL數(shù)據(jù)通訊的市場規(guī)模將達到100億美元。
(4)自動駕駛:VCSEL應(yīng)用于自動駕駛中的車身通訊、傳感器等,預(yù)計到2030年,激光雷達的使用數(shù)量將超過3億枚。
VCSEL在手機AR功能與投影領(lǐng)域的應(yīng)用
AR即增強現(xiàn)實技術(shù),它是一種將真實世界信息和虛擬世界信息“無縫”集成的新技術(shù),是把原本在現(xiàn)實世界的一定時間空間范圍內(nèi)很難體驗到的實體信息(視覺信息,聲音,味道,觸覺等),通過電腦等科學(xué)技術(shù),模擬仿真后再疊加,將虛擬的信息應(yīng)用到真實世界,被人類感官所感知,從而達到超越現(xiàn)實的感官體驗。而AR最核心技術(shù)在于光學(xué),尤其是激光技術(shù),無論是手勢識別、三維重構(gòu)還是成像,光學(xué)技術(shù)都是決定性基礎(chǔ)。除了3D攝像模塊,最關(guān)鍵的就是光學(xué)成像模塊。例如微軟公司的HoloLens 配備兩塊光導(dǎo)透明全息透鏡,虛擬內(nèi)容采用 LCoS(硅基液晶)投影技術(shù),從前方微型投影儀投射至光導(dǎo)透鏡后進入人眼。
Hololens AR眼鏡的LCoS微型投影儀
LCOS(液晶覆硅技術(shù))是小型化 AR 頭顯的關(guān)鍵技術(shù)之一。三片式的 LCOS 成像系統(tǒng),首先將投影光源發(fā)出的白色光線,通過分光系統(tǒng)系統(tǒng)分成紅綠藍三原色的光線,然后,每一個原色光線照射到一塊反射式的LCOS芯片上,系統(tǒng)通過控制 LCOS 面板上液晶分子的狀態(tài)來改變該塊芯片每個像素點反射光線的強弱,最后經(jīng)過LCOS反射的光線通過必要的光學(xué)折射匯聚成一束光線,經(jīng)過投影機鏡頭照射到屏幕上,形成彩色的圖像。目前在投影光源上主要有LED和激光兩種方案,由于激光在光束質(zhì)量、亮度、功耗和使用壽命上無可比擬的優(yōu)越性,將是未來的發(fā)展方向。
以色列Lumus的AR眼鏡也采用了微型投影技術(shù),成像關(guān)鍵部件由微型投影儀、光導(dǎo)元件(LOE)和反射波導(dǎo)組成。植入眼鏡的微型投影儀(例如激光投影)將圖像畫面進行投放,通過光導(dǎo)元件、反射波導(dǎo)形成全反射。
Lumus AR眼鏡也采用了微型投影技術(shù)
綜上,微投成像和3D攝像將是未來AR產(chǎn)業(yè)兩大核心技術(shù),以VCSEL為代表的半導(dǎo)體激光器件將成為AR光學(xué)技術(shù)的最基礎(chǔ)部件,引領(lǐng)消費電子光學(xué)時代。而隨著投影顯示技術(shù)的發(fā)展,人們對投影系統(tǒng)的亮度、解析度、色彩豐富性的要求將會越來越高,光源作為投影系統(tǒng)的重要部件,其發(fā)光特性將直接決定投影系統(tǒng)質(zhì)量。激光光束色度、照度高度均勻,具有亮度高、單色性好、波長固定等傳統(tǒng)光源無可比擬的優(yōu)勢,未來取代LED成為微型投影模塊、投影儀、投影電視等設(shè)備光源將是大概率事件。
目前,激光顯示技術(shù)主要有三基色純激光、熒光粉+藍光、LED+激光混合光源三種技術(shù),對比來看,三基色純激光優(yōu)勢較為明顯。三基色激光被業(yè)界視為最正統(tǒng)的激光光源,其具有色域廣、光效高、壽命長、功耗低、一致性好、色溫亮度可調(diào)、穩(wěn)定、安全可靠免維護、應(yīng)用靈活等優(yōu)點。
三基色純激光顯示原理示意圖
技術(shù)進展來看,紅光激光二極管技術(shù)(包括VCSEL紅光陣列)發(fā)展已經(jīng)十分成熟,藍光激光二極管價格尚高,綠光激光二極管則還有待發(fā)展。從已披露專利來看,目前已有“紅光VCSEL陣列+藍光VCSEL陣列+綠色全固體激光器”的解決方案,VCSEL單元用于發(fā)出圓化激光光束,經(jīng)過微透鏡陣列準(zhǔn)直化后作為R、B光輸出。此外,采用VCSEL面陣可以減少VCSEL激光器之間的干涉性,弱化激光散斑,從而提高投影顯示質(zhì)量。
VCSEL在激光雷達領(lǐng)域的應(yīng)用
日本汽車電子廠家日本電裝近期公布了對Trilumina公司的戰(zhàn)略投資,該公司主要進行針對雷達設(shè)備的高功率VCSEL陣列開發(fā),而這些雷達設(shè)備主要面向輔助駕駛和無人駕駛應(yīng)用。在CES2017上,Trilumina 公司展示了自己基于 VCSEL陣列的256像素3D激光雷達解決方案,如若進展順利,公司開發(fā)的光源模塊將高清和遠距離傳感器功能整合進小尺寸、穩(wěn)定且具成本效益的包裝中,可取代目前應(yīng)用于自動駕駛汽車示范項目的大尺寸、高成本掃描激光雷達。
激光雷達感應(yīng)周圍車距、三維重建
VCSEL的迅速發(fā)展和固有優(yōu)點已使其成為光電子應(yīng)用中的關(guān)鍵器件,有強大的生命力。近年來,性能優(yōu)異的VCSEL不斷被研發(fā),主要涉及其低閾值電流,高輸出功率,高電光轉(zhuǎn)換效率,低工作電壓,高調(diào)制帶寬和高產(chǎn)額。相信隨著VCSEL的不斷發(fā)展,它將會獲得越來越多的潛在應(yīng)用。(本文來自傳感器技術(shù)、SIMIT戰(zhàn)略研究院)
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