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激光芯片

特種氣體對(duì)光刻機(jī)的激光加工芯片質(zhì)量至關(guān)重要

來源:南方日?qǐng)?bào)2021-01-28 我要評(píng)論(0 )   

“政府部門到企業(yè)授牌,我們非常感動(dòng)。”1月14日,廣東華特氣體股份有限公司副董事長(zhǎng)石思慧從南海區(qū)副區(qū)長(zhǎng)喬吉飛手上接過獎(jiǎng)牌和證書后,高興地說。剛踏入2021年,華特氣...

“政府部門到企業(yè)授牌,我們非常感動(dòng)?!?月14日,廣東華特氣體股份有限公司副董事長(zhǎng)石思慧從南海區(qū)副區(qū)長(zhǎng)喬吉飛手上接過獎(jiǎng)牌和證書后,高興地說。

剛踏入2021年,華特氣體就收獲一份對(duì)其堅(jiān)持創(chuàng)新的嘉獎(jiǎng)。2020年,公司憑借“一種氨氣的純化系統(tǒng)”和“一種三氟甲烷純化裝置及純化方法”兩個(gè)專利,分別摘得了第七屆廣東專利獎(jiǎng)金獎(jiǎng)、第二十一屆中國專利優(yōu)秀獎(jiǎng)。

如今,堅(jiān)持科研創(chuàng)新的華特氣體,已經(jīng)在特種氣體生產(chǎn)關(guān)鍵環(huán)節(jié)形成了自身的核心技術(shù),多個(gè)技術(shù)領(lǐng)域達(dá)到國際先進(jìn)水平,是名副其實(shí)的特種氣體領(lǐng)域的“頂尖玩家”。

華特氣體通過核心技術(shù)攻關(guān),成為特種氣體領(lǐng)域的頂尖企業(yè)。企業(yè)供圖華特氣體通過核心技術(shù)攻關(guān),成為特種氣體領(lǐng)域的頂尖企業(yè)。企業(yè)供圖


打入半導(dǎo)體頂尖供應(yīng)鏈體系

根據(jù)華特氣體2020年第三季度報(bào)告披露,該公司第三季度營(yíng)業(yè)收入比去年同期增加了12.36%。公司總經(jīng)理傅鑄紅認(rèn)為,這與華特氣體在特種氣體產(chǎn)品的深耕有關(guān)。

該公司2020年半年度報(bào)告顯示,目前,華特氣體主營(yíng)業(yè)務(wù)分為三個(gè)板塊,分別是普通工業(yè)氣體、特種氣體,以及與特種氣體相關(guān)的設(shè)備與管路工程,面向全球市場(chǎng)提供氣體應(yīng)用綜合解決方案。

2002年,華特氣體確定了以特種氣體為發(fā)展方向,時(shí)至今日,華特氣體的特種氣體主要用于半導(dǎo)體芯片行業(yè),目前已實(shí)現(xiàn)對(duì)國內(nèi)8寸以上集成電路制造廠商超過80%的客戶覆蓋率。企業(yè)堅(jiān)持自主研發(fā),在氣體純化、氣體混配、氣瓶處理等特種氣體生產(chǎn)關(guān)鍵環(huán)節(jié)形成了自身的核心技術(shù),達(dá)到了國際先進(jìn)水平;在分析檢測(cè)環(huán)節(jié)上達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平。

據(jù)了解,華特氣體已在特種氣體領(lǐng)域生產(chǎn)出高純四氟化碳、高純六氟乙烷、高純二氧化碳、高純一氧化氮、高純八氟環(huán)丁烷、高純?nèi)淄?、稀混光刻氣?0多個(gè)產(chǎn)品并實(shí)現(xiàn)了國內(nèi)同類產(chǎn)品的進(jìn)口替代。

在特種氣體領(lǐng)域?qū)Q?8年后,如今,華特氣體已經(jīng)成為國內(nèi)最大的民營(yíng)特種氣體及相關(guān)設(shè)備供應(yīng)商,同時(shí)產(chǎn)品出口50多個(gè)國家和地區(qū),并獲得海外大型氣體公司的認(rèn)可,是國內(nèi)少數(shù)實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品出口的氣體公司。

打開華特氣體的客戶名單,堪稱星光熠熠:不僅涵蓋了中芯國際、華虹宏力、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、臺(tái)積電、京東方等國內(nèi)一線知名企業(yè),華特還進(jìn)入了英特爾、美光、德州儀器、海力士等全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體企業(yè)供應(yīng)鏈體系。

傅鑄紅說,經(jīng)歷前期嚴(yán)格的認(rèn)證并通過后,一旦進(jìn)入供應(yīng)鏈體系并開始批量供應(yīng)后,華特氣體與客戶的合作關(guān)系也就趨向穩(wěn)定,“我們現(xiàn)在的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手基本都是國外企業(yè)”。

華特氣體已經(jīng)成為國內(nèi)最大的民營(yíng)特種氣體及相關(guān)設(shè)備供應(yīng)商。企業(yè)供圖華特氣體已經(jīng)成為國內(nèi)最大的民營(yíng)特種氣體及相關(guān)設(shè)備供應(yīng)商。企業(yè)供圖


獲全球頂級(jí)光刻機(jī)企業(yè)認(rèn)證

在華特氣體眾多特種氣體產(chǎn)品中,最亮眼的莫過于光刻混合氣。該產(chǎn)品于2017年通過全球最大光刻機(jī)供應(yīng)商阿斯麥產(chǎn)品認(rèn)證。

光刻是芯片制造最關(guān)鍵的工藝之一,光刻需要由光刻機(jī)來完成,而全球最頂級(jí)的光刻機(jī)公司就是荷蘭的阿斯麥。

“光刻機(jī)里有一個(gè)激光腔,激光腔體內(nèi)要通入稀有的混合氣體,利用稀有氣體電離激發(fā)出一種特定波長(zhǎng)和能量的激光。”傅鑄紅說,“光刻機(jī)再使用激光,去除芯片表面的光刻膠涂層,在芯片表面形成線寬為納米級(jí)的特定的電路圖案。”

光刻混合氣是非常復(fù)雜且高精度的產(chǎn)品,一般一種光刻氣中會(huì)含有4—5種組分氣體。傅鑄紅解釋,在光刻機(jī)制造過程中,需要用激光來加工芯片表面,讓激光波長(zhǎng)和能量長(zhǎng)時(shí)間保持穩(wěn)定,如果氣體純度不夠或配比不精準(zhǔn),就會(huì)導(dǎo)致激光能量時(shí)高時(shí)低或不持續(xù),“這必然影響光刻效果?!?br/>

2017年,華特氣體的光刻混合氣通過全球最頂級(jí)光刻機(jī)公司荷蘭阿斯麥的認(rèn)證,在這個(gè)認(rèn)證名單中,全球僅有四家企業(yè),華特氣體是中國唯一一家。而從研發(fā)光刻混合氣,到獲得全球頂級(jí)光刻機(jī)企業(yè)的認(rèn)證,華特氣體用了19年。

這個(gè)認(rèn)證對(duì)華特氣體意義巨大。傅鑄紅說,通過阿斯麥的認(rèn)證,意味著阿斯麥強(qiáng)烈建議它的光刻機(jī)用戶,在使用阿斯麥光刻機(jī)時(shí),要配套使用這四家企業(yè)的光刻氣。華特氣體經(jīng)歷一年多時(shí)間不斷向?qū)Ψ秸故旧a(chǎn)過程、品控手段、精準(zhǔn)檢測(cè)的技術(shù),“阿斯麥最終相信了我們的專業(yè)能力,最終測(cè)試通過并獲得了認(rèn)證?!?/p>


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